铸锭炉的导气装置和铸锭炉的制作方法

本技术涉及铸锭炉，尤其是涉及一种铸锭炉的导气装置和铸锭炉。

背景技术：

1、现有铸锭炉在导气环节，氩气易在坩埚顶部及炉腔内壁形成大范围紊乱涡流，导致硅料加热过程中挥发的sio等有害气体被涡流裹挟、滞留，无法快速通过排气系统排出。这些滞留的sio气体长时间与炉内石墨盖板接触，会进一步反应生成co气体，不仅增加co气体的生成量，还会因涡流扰动使co气体更易渗透、溶入高温硅液，最终造成硅液碳浓度升高，直接影响提纯后硅料的纯度，难以满足高纯度硅料的生产需求。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型在于提出一种铸锭炉的导气装置，所述铸锭炉的导气装置可实现氩气横向环形吹扫，提升炉内有害气体排出效率，减少co气体生成及溶入硅液的风险，降低硅液碳浓度，保障硅料纯度。

2、本实用新型还提出一种具有铸锭炉的导气装置的铸锭炉。

3、根据本实用新型第一方面的铸锭炉的导气装置，所述铸锭炉包括坩埚和封盖于所述坩埚顶部的盖板，所述导气装置包括：导气筒，所述导气筒沿上下方向延伸，所述导气筒的至少部分位于所述盖板的下侧以伸入所述坩埚内，所述导气筒的位于所述坩埚内的部分的周壁上形成有贯通所述导气筒的第一开孔。

4、根据本实用新型的铸锭炉的导气装置，通过将导气筒伸入盖板下侧的坩埚内，并在导气筒周壁设置第一开孔，可实现氩气横向吹扫，相较纵向垂直吹入方式，横向气流能减小坩埚内气流的涡流范围，提升坩埚内有害气体排出效率，减少co气体生成及溶入硅液的风险，降低硅液碳浓度，保障硅料纯度。

5、在一些实施例中，所述第一开孔的数量为多个，多个所述第一开孔在所述导气筒的周向上间隔分布。

6、在一些实施例中，多个所述第一开孔在所述导气筒上构成多个孔组，多个所述孔组在上下方向上间隔排布，每个所述孔组包括在所述导气筒的周向间隔排布的多个所述第一开孔。

7、在一些实施例中，在上下方向上相邻的两个所述孔组的多个所述第一开孔，在所述导气筒的周向上完全错开设置。

8、在一些实施例中，位于最上侧的所述第一开孔的上端沿被配置为与所述盖板的下侧表面平齐；和/或，所述第一开孔沿所述导气筒的周向延伸为长条形孔。

9、在一些实施例中，所述导气筒的下端的端面上形成有沿上下方向贯通所述导气筒的第二开孔，所述第二开孔为一个或间隔设置的多个。

10、在一些实施例中，所述导气筒的周壁上的多个第一开孔的总面积大于所述导气筒的端面上的所述第二开孔的总面积；和/或，所述导气筒包括第一筒段和第二筒段，在上下方向上所述第一筒段的截面尺寸相同，所述第一开孔形成于所述第一筒段上，所述第二筒段连接在所述第一筒段的下端并向下延伸，在从上往下的方向上，所述第二筒段的截面尺寸逐渐减小，所述第二筒段的下端敞开以限定出所述第二开孔。

11、在一些实施例中，所述导气筒在上下方向上的长度为100mm-200mm，所述导气装置还包括：导流管，所述导流管适于布置在所述盖板的上方，并沿上下方向延伸，所述导气筒的上端与所述导流管的下端相连，所述导气筒的下端穿过所述盖板伸入到所述坩埚内。

12、在一些实施例中，所述导流管与所述导气筒可拆卸连接。

13、根据本实用新型第二方面的铸锭炉，包括：坩埚和盖板，所述盖板封盖在所述坩埚的顶部；根据本实用新型第一方面的导气装置，所述导气筒的至少部分穿过所述盖板伸入到所述坩埚内。

14、根据本实用新型的铸锭炉，通过将导气筒伸入盖板下侧坩埚内，并在导气筒周壁设置第一开孔，可实现氩气横向吹扫，相较纵向垂直吹入方式，横向气流能减小坩埚内气流的涡流范围，提升坩埚内有害气体排出效率，减少co气体生成及溶入硅液的风险，降低硅液碳浓度，保障硅料纯度。

15、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

1.一种铸锭炉的导气装置，所述铸锭炉包括坩埚和封盖于所述坩埚顶部的盖板，其特征在于，所述导气装置包括：

2.根据权利要求1所述的铸锭炉的导气装置，其特征在于，所述第一开孔(10)的数量为多个，多个所述第一开孔(10)在所述导气筒(100)的周向上间隔分布。

3.根据权利要求2所述的铸锭炉的导气装置，其特征在于，多个所述第一开孔(10)在所述导气筒(100)上构成多个孔组，多个所述孔组在上下方向上间隔排布，每个所述孔组包括在所述导气筒(100)的周向间隔排布的多个所述第一开孔(10)。

4.根据权利要求3所述的铸锭炉的导气装置，其特征在于，在上下方向上相邻的两个所述孔组的多个所述第一开孔(10)，在所述导气筒(100)的周向上完全错开设置。

5.根据权利要求2所述的铸锭炉的导气装置，其特征在于，位于最上侧的所述第一开孔(10)的上端沿被配置为与所述盖板的下侧表面平齐；和/或，所述第一开孔(10)沿所述导气筒(100)的周向延伸为长条形孔。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的铸锭炉的导气装置，其特征在于，所述导气筒(100)的下端的端面上形成有沿上下方向贯通所述导气筒(100)的第二开孔(20)，所述第二开孔(20)为一个或间隔设置的多个。

7.根据权利要求6所述的铸锭炉的导气装置，其特征在于，所述导气筒(100)的周壁上的多个第一开孔(10)的总面积大于所述导气筒(100)的端面上的所述第二开孔(20)的总面积；和/或，

8.根据权利要求1-5中任一项所述的铸锭炉的导气装置，其特征在于，所述导气筒(100)在上下方向上的长度为100mm-200mm，

9.根据权利要求8所述的铸锭炉的导气装置，其特征在于，所述导流管与所述导气筒(100)可拆卸连接。

10.一种铸锭炉，其特征在于，包括：