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一种残膜回收机防缠绕挑膜装置的制作
一种秧草收获机用电力驱动行走机构的
光致抗蚀剂
组合物、组合物前体的溶液、组合物的制造方法、基板和带有图案的基板的制造方法与流程
本技术涉及为了形成光致抗蚀剂的下层膜而使用的组合物。
标签:
组合
下层
光致抗蚀剂
2022-10-26
用于去除光致抗蚀剂的剥离剂组合物及使用其的光致抗蚀剂的剥离方法与流程
本发明涉及用于去除光致抗蚀剂的剥离剂组合物及使用其的光致抗蚀剂的剥离方法。
标签:
组合
方法
光致抗蚀剂
2022-10-26
光酸产生剂、光致抗蚀剂组合物、及图案形成方法与流程
光酸产生剂、光致抗蚀剂组合物、及图案形成方法
标签:
组合
图案
方法
光致抗蚀剂
2022-07-02
光致抗蚀剂组合物及图案形成方法与流程
光致抗蚀剂组合物及图案形成方法
标签:
组合
图案
方法
光致抗蚀剂
2022-07-02
用于改进光致抗蚀剂涂覆操作的系统、装置和方法与流程
本公开涉及用于改进光致抗蚀剂涂覆操作的系统、装置和方法。
标签:
装置
操作系统
方法
涂覆
光致抗蚀剂
2022-06-11
光酸产生剂的制作方法
本发明涉及光酸产生剂(pag)领域。更具体地说,本发明涉及一种用于euv光刻的化学放大型光致抗蚀剂的新型光酸产生剂。
标签:
光刻
地说
化学
pag
光致抗蚀剂
2022-05-26
一种光致抗蚀剂的剥离液组合物的制作方法
本发明涉及抗蚀剂技术领域,具体为一种光致抗蚀剂的剥离液组合物。
标签:
组合
抗蚀剂
光致抗蚀剂
2022-03-19
光致抗蚀剂组合物及其固化物的制作方法
本发明涉及光致抗蚀剂组合物及其固化物。
标签:
组合
固化
光致抗蚀剂
2021-11-15
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