粉尘捕集系统及其捕集方法与流程

本申请涉及半导体制备，尤其涉及一种粉尘捕集系统及其捕集方法。

背景技术：

1、随着科技的进步，智能手机、平板电脑等数字化显示装置得到广泛的应用，其中，显示面板是这些显示装置中不可或缺的人际沟通界面。

2、在显示面板的生产过程中，一般是通过干法刻蚀(dry etching)工艺对显示面板进行加工。干法刻蚀一般是通过等离子体激活的化学反应或者是利用高能离子束轰击去除物质的，以气体为主要媒体的刻蚀方法。

3、而干法刻蚀会产生废气，废气需要经过废气处理机处理才能排放。由于显示面板通常为金属面板，废气中包含经过干法刻蚀后产生的金属粉末，废气处理机以及排气管路在长期工作下会不断聚积金属粉末，从而造成废气处理机以及排气管路堵塞，影响显示面板的生产进程。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的在于提出一种粉尘捕集系统，用于捕集干法刻蚀后产生的废气中的粉尘。

2、基于上述目的，本申请提供了一种基板检测装置，其包括：

3、固定平台；

4、捕集箱，所述捕集箱设置于所述固定平台上，用于捕集排放至所述捕集箱内的废气中的粉尘；

5、第一排气管，所述第一排气管的一端与所述捕集箱连接，相对的另一端用于与废气排放管道连接，使得排放出的废气能够经过所述第一排气管进入所述捕集箱内；

6、第二排气管，所述第二排气管的一端与所述捕集箱连接，相对的另一端用于与废气处理机连接，使得经过所述捕集箱捕集粉尘后的废气能够经过所述第二排气管排放至废气处理机；

7、支撑架，所述支撑架固定于所述固定平台并与所述第一排气管及所述第二排气管连接，用于支撑所述第一排气管及所述第二排气管；

8、称重装置，所述称重装置用于对所述捕集箱进行称重，从而监控所述捕集箱内捕集的粉尘量。

9、在其中一种实施方式中，所述称重装置包括称重平台，所述称重平台设置于所述固定平台上，且位于所述固定平台与所述捕集箱之间。

10、在其中一种实施方式中，还包括第三排气管及插板阀，所述第三排气管的一端用于与废气排放管道连接，相对的另一端用于与废气处理机连接；所述插板阀设置于所述第三排气管内，通过控制所述插板阀打开与关闭从而分别控制所述第三排气管与废气排放管道及废气处理机的连通与断连。

11、在其中一种实施方式中，所述插板阀包括第一插板阀、第二插板阀及第三插板阀；所述第一插板阀设置于所述第一排气管与所述捕集箱之间，所述第二插板阀设置于所述第二排气管与所述捕集箱之间，所述第三插板阀设置于所述第三排气管内。

12、在其中一种实施方式中，还包括控制器，所述控制器分别与所述称重装置、所述第一插板阀、所述第二插板阀及所述第三插板阀电连接，所述称重装置将所述粉尘捕集量传输至所述控制器，当所述控制器检测到所述粉尘捕集量大于设定的第一阈值时，所述控制器控制所述第一插板阀及所述第二插板阀关闭，控制所述第三插板阀打开。

13、在其中一种实施方式中，还包括显示屏，所述显示屏与所述称重装置电连接，用于显示所述粉尘捕集量。

14、在其中一种实施方式中，还包括警示灯，所述警示灯与所述控制器电连接，所述警示灯可发出第一警示信号、第二警示信号及第三警示信号；当所述控制器检测到所述粉尘捕集量超过设定的第一阈值时，所述警示灯发出第一警示信号；当所述控制器检测到所述粉尘捕集量小于设定的第二阈值时，所述警示灯发出第二警示信号；当所述控制器检测到所述粉尘捕集量大于或等于设定的第二阈值且小于或等于设定的第一阈值时，所述警示灯发出第三警示信号。

15、在其中一种实施方式中，所述第一警示信号包括红光信号；所述第二警示信号包括绿光信号；所述第三警示信号包括黄光信号。

16、在其中一种实施方式中，所述捕集箱包括进气口及出气口，所述进气口与所述第一排气管连接，所述出气口与所述第二排气管连接；所述进气口的位置与所述出气口的位置不在同一水平面上。

17、在其中一种实施方式中，所述进气口位于所述捕集箱的下部，所述出气口位于所述捕集箱的上部。

18、在其中一种实施方式中，所述固定平台包括平台部及固定部；所述捕集箱设置于所述平台部上，所述支撑架固定于所述平台部；所述固定部位于所述平台部下方并与所述平台部连接，用于支撑固定所述平台部。

19、在其中一种实施方式中，所述固定部包括固定地脚，所述固定地脚设有四个，分别设置于所述平台部下方的四个底角。

20、在其中一种实施方式中，所述固定部包括一对万向轮及一对定向轮，所述一对万象轮设置于所述平台部下方同一边上，所述一对定向轮设置于所述平台部下方相对的另一边上。

21、基于同样的发明构思，本申请还公开了一种粉尘捕集方法，应用于上述任意一项所述的粉尘捕集系统，其包括：

22、连通所述第一排气管与废气排放管；

23、连通所述第二排气管与废气处理机；

24、将工艺产生的废气经过废气排放管及所述第一排气管排放至所述捕集箱；

25、利用所述捕集箱将废气内的粉尘捕集；

26、将捕集后的废气经所述第二排气管排放至废气处理机，经过处理后排放至外界环境。

27、在其中一种实施方式中，所述粉尘捕集系统包括第三排气管，当所述称重装置监控到所述捕集箱内捕集的粉尘量大于设定的第一阈值时，分别将所述第三排气管与废气排放管连通及所述第三排气管与废气处理机连通，且断开所述第一排气管与废气排放管的连接及断开所述第二排气管与废气处理机的连接，清除所述捕集箱内捕集的粉尘。

28、与现有技术相比，本申请提供的粉尘捕集系统，设置捕集箱，能够捕集经过干法刻蚀工艺后产生的废气中的粉尘，从而防止废气处理机与排气管道堵塞；同时，本申请通过设置称重装置，称重装置用于测量捕集箱捕集的粉尘量，从而在捕集箱内的粉尘量达到捕集上限时，能及时对捕集的粉尘进行清理。

1.一种粉尘捕集系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的粉尘捕集系统，其特征在于，所述称重装置包括称重平台，所述称重平台设置于所述固定平台上，且位于所述固定平台与所述捕集箱之间。

3.根据权利要求1所述的粉尘捕集系统，其特征在于，还包括第三排气管及插板阀，所述第三排气管的一端用于与废气排放管道连接，相对的另一端用于与废气处理机连接；所述插板阀设置于所述第三排气管内，通过控制所述插板阀打开与关闭从而分别控制所述第三排气管与废气排放管道及废气处理机的连通与断连。

4.根据权利要求3所述的粉尘捕集系统，其特征在于，所述插板阀包括第一插板阀、第二插板阀及第三插板阀；所述第一插板阀设置于所述第一排气管与所述捕集箱之间，所述第二插板阀设置于所述第二排气管与所述捕集箱之间，所述第三插板阀设置于所述第三排气管内。

5.根据权利要求4所述的粉尘捕集系统，其特征在于，还包括控制器，所述控制器分别与所述称重装置、所述第一插板阀、所述第二插板阀及所述第三插板阀电连接，所述称重装置将所述粉尘捕集量传输至所述控制器，当所述控制器检测到所述粉尘捕集量大于设定的第一阈值时，所述控制器控制所述第一插板阀及所述第二插板阀关闭，控制所述第三插板阀打开。

6.根据权利要求5所述的粉尘捕集系统，其特征在于，还包括显示屏，所述显示屏与所述称重装置电连接，用于显示所述粉尘捕集量。

7.根据权利要求5所述的粉尘捕集系统，其特征在于，还包括警示灯，所述警示灯与所述控制器电连接，所述警示灯可发出第一警示信号、第二警示信号及第三警示信号；当所述控制器检测到所述粉尘捕集量超过设定的第一阈值时，所述警示灯发出第一警示信号；当所述控制器检测到所述粉尘捕集量小于设定的第二阈值时，所述警示灯发出第二警示信号；当所述控制器检测到所述粉尘捕集量大于或等于设定的第二阈值且小于或等于设定的第一阈值时，所述警示灯发出第三警示信号。

8.根据权利要求7所述的粉尘捕集系统，其特征在于，所述第一警示信号包括红光信号；所述第二警示信号包括绿光信号；所述第三警示信号包括黄光信号。

9.根据权利要求1所述的粉尘捕集系统，其特征在于，所述捕集箱包括进气口及出气口，所述进气口与所述第一排气管连接，所述出气口与所述第二排气管连接；所述进气口的位置与所述出气口的位置不在同一水平面上。

10.根据权利要求9所述的粉尘捕集系统，其特征在于，所述进气口位于所述捕集箱的下部，所述出气口位于所述捕集箱的上部。

11.根据权利要求1所述的粉尘捕集系统，其特征在于，所述固定平台包括平台部及固定部；所述捕集箱设置于所述平台部上，所述支撑架固定于所述平台部；所述固定部位于所述平台部下方并与所述平台部连接，用于支撑固定所述平台部。

12.根据权利要求11所述的粉尘捕集系统，其特征在于，所述固定部包括固定地脚，所述固定地脚设有四个，分别设置于所述平台部下方的四个底角。

13.根据权利要求11所述的粉尘捕集系统，其特征在于，所述固定部包括一对万向轮及一对定向轮，所述一对万象轮设置于所述平台部下方的同一边上，所述一对定向轮设置于所述平台部下方相对的另一边上。

14.一种粉尘捕集方法，应用于如权利要求1-13任意一项所述的粉尘捕集系统，其特征在于，包括：

15.根据权利要求14所述的粉尘捕集方法，其特征在于，所述粉尘捕集系统包括第三排气管，当所述称重装置监控到所述捕集箱内捕集的粉尘量大于设定的第一阈值时，分别将所述第三排气管与废气排放管连通及所述第三排气管与废气处理机连通，且断开所述第一排气管与废气排放管的连接及断开所述第二排气管与废气处理机的连接，清除所述捕集箱内捕集的粉尘。