单晶硅炉过滤罐的清灰杆及吸尘器的制作方法

摘要: 本申请涉及吸尘器,具体涉及一种单晶硅炉过滤罐的清灰杆及吸尘器。背景技术:1、单晶硅炉高温还原反应会伴随大量含硅粉尘、一氧化碳、氢气及少量硅氧烷等易燃易爆副产物,...
单晶硅炉过滤罐的清灰杆及吸尘器的制作方法

本申请涉及吸尘器,具体涉及一种单晶硅炉过滤罐的清灰杆及吸尘器。

背景技术:

1、单晶硅炉高温还原反应会伴随大量含硅粉尘、一氧化碳、氢气及少量硅氧烷等易燃易爆副产物,现有技术普遍在炉体与真空泵之间串接一只钢制过滤罐。当运行一段时间后,过滤介质表面和过滤罐壁面沉积的硅粉厚度可达3~5mm,必须停机进行清理。

2、目前业内普遍采用人工手动清理方式:操作人员使用长杆火把伸入罐内,在敞开环境中直接点燃高浓度一氧化碳,依靠瞬间燃爆产生的冲击波使部分粉尘脱落;随后待罐内温度降至常温,操作人员进入罐内,逐层清扫过滤介质,最后将粉尘收集并装袋。

3、然而,该流程存在明显缺陷:燃爆后仍残留大量可燃气体与炽热粉尘,在该环境中作业人员容易受到人身伤害;粉尘粒径细小、比表面积大,人工清扫时易二次扬尘,造成职业健康危害及车间环境污染。

4、需要说明的是,本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解本发明构思的背景技术,因此可以包含不构成现有技术的信息。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足,本申请公开一种单晶硅炉过滤罐的清灰杆及吸尘器,能够解决上述人工清理单晶硅炉过滤罐存在的技术问题。

2、为实现以上目的,本申请通过以下技术方案予以实现:

3、单晶硅炉过滤罐的清灰杆,在所述过滤罐设有罐口,所述清灰杆经罐口延伸进过滤罐,在所述清灰杆位于过滤罐内的一端设置有柔性刷头和吸尘口,所述柔性刷头用于剥离过滤罐的内壁面附着的废渣颗粒,所述吸尘口用于抽吸被剥离的废渣颗粒,在所述清灰杆还设置有振动电机,所述振动电机用于驱动柔性刷头相对过滤罐振动。

4、优选的技术方案,在所述清灰杆位于过滤罐内的一端设置有限位柱,柔性刷头和所述限位柱转动连接,所述柔性刷头沿过滤罐的内壁面转动。

5、进一步优选的技术方案,在所述柔性刷头朝向限位柱的一端设置有螺栓,所述螺栓具有和限位柱分离的第一位置、顶紧限位柱的第二位置,所述螺栓在第一位置相对限位柱转动,所述螺栓在第二位置柔性刷头相对限位柱静止。

6、更进一步优选的技术方案,在所述清灰杆位于过滤罐内的一端设置有刷头电机,所述刷头电机的输出端固定连接限位柱,螺栓在第二位置时所述刷头电机驱动柔性刷头转动。

7、优选的技术方案,在所述清灰杆位于过滤罐外的一端连接有螺纹管,所述螺纹管被设置为能够伸缩和弯曲的柔性管件,所述螺纹管连接有吸尘器。

8、优选的技术方案,在所述清灰杆还设置有对接头,所述对接头的一端连接清灰杆,所述对接头的另一端连接柔性刷头和吸尘口,或者在所述对接头的另一端连接有环形刷头。

9、另外,本申请还公开了吸尘器,包括单晶硅炉过滤罐的清灰杆,所述单晶硅炉过滤罐的清灰杆为上述技术方案任意一项所述的单晶硅炉过滤罐的清灰杆。

10、优选的技术方案,所述吸尘器具有吸入口,所述吸入口连接螺纹管,所述螺纹管设置在所述清灰杆位于过滤罐外的一端。

11、本申请公开一种单晶硅炉过滤罐的清灰杆及吸尘器,具有以下优点:

12、通过柔性刷头、环形刷头配合操作杆实现工人站立在单晶硅炉过滤罐外即可完成清理操作,而且长刷头和环形刷头替换安装清理过滤罐,不留死角,人工清理残余废渣降低劳动量;通过前端的柔性刷头、环形刷头清扫废渣颗粒,再吸取一氧化碳废气和大部分废渣颗粒,实现吸排一氧化碳废气和大部分废渣颗粒,降低工人劳动强度;

13、有效的避免了燃爆后残留的大量可燃气体与炽热粉尘,在该环境中导致作业人员人身伤害的情况,并且降低人工清扫时,二次扬尘造成职业健康危害及车间环境污染的危害。

1.单晶硅炉过滤罐的清灰杆,在所述过滤罐设有罐口,其中,所述清灰杆经罐口延伸进过滤罐,在所述清灰杆位于过滤罐内的一端设置有柔性刷头和吸尘口,所述柔性刷头用于剥离过滤罐的内壁面附着的废渣颗粒,所述吸尘口用于抽吸被剥离的废渣颗粒,在所述清灰杆还设置有振动电机,所述振动电机用于驱动柔性刷头相对过滤罐振动。

2.根据权利要求1所述的单晶硅炉过滤罐的清灰杆,其中,在所述清灰杆位于过滤罐内的一端设置有限位柱,柔性刷头和所述限位柱转动连接,所述柔性刷头沿过滤罐的内壁面转动。

3.根据权利要求2所述的单晶硅炉过滤罐的清灰杆,其中,在所述柔性刷头朝向限位柱的一端设置有螺栓,所述螺栓具有和限位柱分离的第一位置、顶紧限位柱的第二位置,所述螺栓在第一位置相对限位柱转动,所述螺栓在第二位置柔性刷头相对限位柱静止。

4.根据权利要求3所述的单晶硅炉过滤罐的清灰杆,其中,在所述清灰杆位于过滤罐内的一端设置有刷头电机,所述刷头电机的输出端固定连接限位柱,螺栓在第二位置时所述刷头电机驱动柔性刷头转动。

5.根据权利要求1所述的单晶硅炉过滤罐的清灰杆,其中,在所述清灰杆位于过滤罐外的一端连接有螺纹管,所述螺纹管被设置为能够伸缩和弯曲的柔性管件,所述螺纹管连接有吸尘器。

6.根据权利要求1所述的单晶硅炉过滤罐的清灰杆,其中,在所述清灰杆还设置有对接头,所述对接头的一端连接清灰杆,所述对接头的另一端连接柔性刷头和吸尘口,或者在所述对接头的另一端连接有环形刷头。

7.吸尘器,包括单晶硅炉过滤罐的清灰杆,其中,所述单晶硅炉过滤罐的清灰杆为权利要求1至6任意一项所述的单晶硅炉过滤罐的清灰杆。

8.根据权利要求7所述的吸尘器,其中,所述吸尘器具有吸入口,所述吸入口连接螺纹管,所述螺纹管设置在所述清灰杆位于过滤罐外的一端。