夹持装置及测试分选机的制作方法

本申请涉及半导体测试，特别是涉及一种夹持装置及测试分选机。

背景技术：

1、在半导体制造及良品管理流程中，经过规定制造工序的半导体器件需通过测试仪进行性能与参数检测，测试分选机用于将待测器件统一移动至测试仪的接口位置以与测试仪电连接。在工作过程中，测试分选机的夹持装置用于在转移料盘时夹持固定料盘，以确保待测器件在移动过程中保持稳定。

2、现有的夹持装置对料盘定位的方式，通常是采用两个驱动组件用于分别驱动两个夹爪分别从料盘的两侧进行夹持定位。然而，这种定位方式需要配备两个驱动组件，物料成本和控制成本较高。

技术实现思路

1、鉴于背景技术中存在的问题，本申请的目的在于提供了一种夹持装置及测试分选机，克服了上述问题或者至少部分地解决了上述问题。

2、根据本申请的第一方面，提供一夹持装置，包括支撑板、第一限位柱、第一抵持件、第一弹性件、第二限位柱、第二抵持件、第二弹性件和驱动机构。支撑板包括沿第一方向相背设置的第一表面和第二表面，第一表面用于承载料盘。第一限位柱和第一抵持件沿第二方向设于支撑板相对两端，第一抵持件沿第二方向滑动设于支撑板，第一抵持件和第一限位柱用于共同夹持料盘。第一弹性件与第一抵持件和支撑板连接，第一弹性件用于产生对抗第一抵持件远离第一限位柱的弹性力。第二限位柱和第二抵持件沿第三方向设于支撑板相对两端，第二抵持件活动设于支撑板，第二抵持件和第二限位柱用于共同夹持料盘。第二弹性件与第二抵持件和支撑板连接，第二弹性件用于产生对抗第二抵持件远离第二限位柱的弹性力。驱动机构包括相连接的驱动组件和传动件，驱动组件用于驱动传动件沿与第二方向平行的方向往复运动，传动件朝向第二抵持件的一侧设有凸起部，第二抵持件与凸起部相抵接；传动件能够在驱动组件的驱动下沿第二方向运动，以推动第一抵持件远离第一限位柱移动，以及通过凸起部推动第二抵持件远离第二限位柱运动。其中，第一方向，第二方向和第三方向之间两两相互垂直。

3、在以上一个或多个可选的实施方式中，支撑板设有安装部，安装部设有安装孔，安装孔沿第二方向延伸设置，第一抵持件包括连接部、伸缩杆和抵接部，伸缩杆的一端与连接部连接，伸缩杆的另一端插装于安装孔，伸缩杆能够相对安装孔沿与第二方向平行的方向往复滑动，抵接部与连接部连接，第一弹性件套设于伸缩杆，第一弹性件的两端分别抵接于安装部和连接部。抵接部用于与第一限位柱共同夹持料盘，连接部能够在传动件的推动下克服第一弹性件的弹力后，带动伸缩杆和抵接部远离第一限位柱移动。

4、在以上一个或多个可选的实施方式中，支撑板设有避让孔，避让孔沿第一方向贯穿支撑板，安装部、连接部和伸缩杆设于背向第一表面的一侧，抵接部穿设于避让孔，抵接部凸出于第一表面的至少部分用于与第一限位柱共同夹持料盘，抵接部能够沿与第二方向平行的方向相对避让孔移动。

5、在以上一个或多个可选的实施方式中，第二抵持件包括第一杆部和第二杆部，第一杆部的一端与第二杆部的一端连接，第一杆部和第二杆部之间呈夹角设置，第一杆部和第二杆部的连接处转动设于支撑板，第一杆部的另一端相较于第二杆部的另一端靠近传动件设置，第二杆部的另一端用于与第二限位柱共同夹持料盘，第二弹性件的一端与支撑板连接，第二弹性件的另一端与第二杆部的另一端连接。传动件沿第二方向运动时，凸起部用于推动第一杆部的另一端，使第二抵持件克服第二弹性件的弹力后绕连接处转动，进而使第二杆部的另一端远离第二限位柱运动。

6、在以上一个或多个可选的实施方式中，第二抵持件、传动件和第二限位柱沿第三方向依次排列设置，凸起部用于与所述第二抵持件抵接的表面包括相连接的平面部和斜面部，沿第二方向，平面部和斜面部依次排列设置，斜面部远离平面部的一端相较于平面部朝第三方向倾斜设置，平面部和斜面部用于在传动件沿第二方向运动时依次抵接于第二抵持件。

7、在以上一个或多个可选的实施方式中，凸起部、第二抵持件和第二弹性件的数量均为两个且一一对应设置，两个第二抵持件沿第一方向依次排列设置。

8、在以上一个或多个可选的实施方式中，第二抵持件设有第一滚轮，第一滚轮用于抵接于凸起部，第一滚轮能够沿着传动件朝向第二抵持件的表面滚动；和/或第二抵持件设有第二滚轮，第二滚轮用于抵接于料盘。

9、在以上一个或多个可选的实施方式中，驱动机构包括滑轨和滑块，滑轨沿第一方向延伸设置于第二表面，滑块滑动设于滑轨，传动件固定于滑块；和/或沿第三方向，驱动组件设于传动件的一侧，驱动组件包括驱动部和推杆，驱动机构包括连接件，推杆的一端与驱动部连接，推杆的另一端与连接件的一端连接，连接件的另一端与传动件连接。

10、在以上一个或多个可选的实施方式中，第一表面的边缘设有光电反射传感器，光电反射传感器用于检测夹持装置是否夹持有料盘。

11、根据本申请的第二方面，提供一种测试分选机，包括上述的夹持装置。

12、本申请实施例的有益效果是：本申请提供的夹持装置，通过第一弹性件的弹性力和第二弹性件的弹性力分别驱动第一抵持件和第二抵持件对料盘进行夹持锁定，并通过一个驱动组件驱动传动件同步推动第一抵持件和第二抵持件克服弹性力后分别远离第一限位柱和第二限位柱以实现解锁，相较于现有技术中采用两个驱动组件分别驱动两个夹爪的方式，在满足稳定夹持料盘的需求的同时，有利于降低夹持装置的物料成本和控制成本。

1.一种夹持装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的夹持装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的夹持装置，其特征在于，

6.根据权利要求4所述的夹持装置，其特征在于，

7.根据权利要求1-6任意一项所述的夹持装置，其特征在于，

8.根据权利要求1-6任意一项所述的夹持装置，其特征在于，

9.根据权利要求1-6任意一项所述的夹持装置，其特征在于，

10.一种测试分选机，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的夹持装置。