用于多晶硅生产的封压系统及其方法与流程

本申请涉及多晶硅生产，尤其涉及一种用于多晶硅生产的封压系统及其方法。

背景技术：

1、在多晶硅生产中，低压氯硅烷储罐通常采用惰性气体封压方式维持罐内微正压，防止空气进入并保障储存安全。

2、然而，现有封压方案多依赖高纯氢气持续补压，并通过持续放空调节罐内压力，不仅使得氢气制备、纯化及输送环节能耗偏高，封压资源消耗大；同时储罐内挥发的氯硅烷气相会随放空气体一并进入后续处理系统，造成气相物料损失。此外，常规供气管网存在压力波动，易导致储罐罐压稳定性不足、阀门调节操作频繁，整体运行稳定性较差。

3、因此，如何在保证低压氯硅烷储罐封压安全与压力稳定的前提下，降低封压过程的资源消耗并减少气相物料损失，成为亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种用于多晶硅生产的封压系统及其方法，能够在保障储存罐封压安全与压力稳定的基础上，降低封压过程的资源消耗。

2、第一方面，本申请实施例提供一种用于多晶硅生产的封压系统，包括：

3、多个储存罐，用于存储气压值为第一气压的存储介质；

4、分离装置，用于输出气压值为第二气压的封压气体，所述第一气压和所述第二气压相等；

5、平衡主管，所述平衡主管的第一进气端可选择地连通于所述分离装置的输出端；

6、多个平衡支管，多个所述储存罐分别通过所述平衡支管可选择地连通于所述平衡主管的第一出气端。

7、在一种可能的实施方式中，所述分离装置包括分离机构、第一冷凝机构和回流机构，所述分离机构用于向所述第一冷凝机构输出气相介质，所述第一冷凝机构的输出端连通于所述回流机构。

8、在一种可能的实施方式中，所述第一冷凝机构的输出端包括第一出液管和第一出气管，所述第一出液管通过所述回流机构能够连通于所述分离机构，所述第一出气管连通于所述回流机构。

9、在一种可能的实施方式中，所述分离装置还包括热交换机构和第二冷凝机构，所述热交换机构的输入端可选择地连通于所述回流机构的第二出气端，所述热交换机构的输出端连通于所述第二冷凝机构，所述第二冷凝机构的第三出气端连通于所述平衡主管的第一进气端，用于输出所述封压气体。

10、在一种可能的实施方式中，还包括废气处理机构，所述第二冷凝机构的第三出气端通过所述热交换机构能够可选择地连通于所述废气处理机构的第二进气端。

11、在一种可能的实施方式中，还包括至少一个调节阀，所述调节阀设置于所述回流机构和热交换机构之间，用于调节所述分离机构内所述气相介质的气压；

12、和/或，所述调节阀设置于所述热交换机构和所述废气处理机构之间，用于调节所述第二冷凝机构内所述封压气体的气压。

13、在一种可能的实施方式中，所述热交换机构的输出端包括第二出液管和第二出气管，所述第二出液管连通于所述第二冷凝机构，所述分离装置还包括第三冷凝机构，所述第二出气管通过所述第三冷凝机构连通于所述第二冷凝机构。

14、在一种可能的实施方式中，所述分离装置还包括出液泵和收纳罐，所述出液泵的输入端连通于所述第二冷凝机构，所述出液泵的输出端连通于所述收纳罐。

15、在一种可能的实施方式中，还包括应急机构，所述应急机构的输出端可选择地连通于所述平衡支管，用于通过所述平衡支管向所述储存罐通入应急气体。

16、第二方面，本申请实施例提供一种用于多晶硅生产的封压方法，使用如上所述的用于多晶硅生产的封压系统，包括：

17、通过分离装置制备封压气体；

18、通过平衡主管和平衡支管向储存罐内通入封压气体，使封压气体的第二气压与储存罐内存储介质的第一气压相等；

19、储存罐内存储介质的挥发介质能够通过平衡支管和平衡主管回流至分离装置。

20、本申请实施例提供的用于多晶硅生产的封压系统及其方法，通过设置分离装置和多个储存罐。储存罐内的存储介质维持第一气压，分离装置输出的封压气体维持第二气压，且二者气压保持相等。通过分离装置稳压输出的封压气体统一为各储存罐供气，气源压力稳定，可缓解管网波动对储存罐压力的影响，减少压力调节的频繁操作，稳定储存罐封压状态，提升设备运行安全性。

21、而且，通过设置平衡主管和平衡支管，分离装置可选择性连通各个储存罐。封压气体的气压与储存罐内部气压保持一致，无需持续通气补压，也不需要频繁放空稳压，因此能够降低持续供气、气体放空带来的能源与资源消耗。储存罐内存储介质的挥发介质可回流至分离装置，重新参与分离回收，避免挥发介质随放空尾气流失，减少资源损耗。

22、通过上述设置，本申请的用于多晶硅生产的封压系统及其方法，在保障储存罐封压安全与压力稳定的基础上，降低封压过程的资源消耗。

1.一种用于多晶硅生产的封压系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产的封压系统，其特征在于，所述分离装置（200）包括分离机构（210）、第一冷凝机构（220）和回流机构（230），所述分离机构（210）用于向所述第一冷凝机构（220）输出气相介质，所述第一冷凝机构（220）的输出端连通于所述回流机构（230）。

3.根据权利要求2所述的用于多晶硅生产的封压系统，其特征在于，所述第一冷凝机构（220）的输出端包括第一出液管（221）和第一出气管（222），所述第一出液管（221）通过所述回流机构（230）能够连通于所述分离机构（210），所述第一出气管（222）连通于所述回流机构（230）。

4.根据权利要求2所述的用于多晶硅生产的封压系统，其特征在于，所述分离装置（200）还包括热交换机构（240）和第二冷凝机构（250），所述热交换机构（240）的输入端可选择地连通于所述回流机构（230）的第二出气端（231），所述热交换机构（240）的输出端连通于所述第二冷凝机构（250），所述第二冷凝机构（250）的第三出气端（251）连通于所述平衡主管（300）的第一进气端（310），用于输出所述封压气体。

5.根据权利要求4所述的用于多晶硅生产的封压系统，其特征在于，还包括废气处理机构（500），所述第二冷凝机构（250）的第三出气端（251）通过所述热交换机构（240）能够可选择地连通于所述废气处理机构（500）的第二进气端（510）。

6.根据权利要求5所述的用于多晶硅生产的封压系统，其特征在于，还包括至少一个调节阀（600），所述调节阀（600）设置于所述回流机构（230）和热交换机构（240）之间，用于调节所述分离机构（210）内所述气相介质的气压；

7.根据权利要求4所述的用于多晶硅生产的封压系统，其特征在于，所述热交换机构（240）的输出端包括第二出液管（241）和第二出气管（242），所述第二出液管（241）连通于所述第二冷凝机构（250），所述分离装置（200）还包括第三冷凝机构（260），所述第二出气管（242）通过所述第三冷凝机构（260）连通于所述第二冷凝机构（250）。

8.根据权利要求7所述的用于多晶硅生产的封压系统，其特征在于，所述分离装置（200）还包括出液泵（700）和收纳罐（800），所述出液泵（700）的输入端连通于所述第二冷凝机构（250），所述出液泵（700）的输出端连通于所述收纳罐（800）。

9.根据权利要求1-8任一项所述的用于多晶硅生产的封压系统，其特征在于，还包括应急机构（900），所述应急机构（900）的输出端可选择地连通于所述平衡支管（400），用于通过所述平衡支管（400）向所述储存罐（100）通入应急气体。

10.一种用于多晶硅生产的封压方法，其特征在于，使用权利要求1-9任一项所述的用于多晶硅生产的封压系统，包括：