一种上料机的制作方法

本技术涉及电子半导体，具体为一种上料机。

背景技术：

1、在电子半导体制造领域，晶圆作为核心加工基材，其加工精度、表面洁净度直接决定了终端半导体器件的性能与良率，晶圆加工流程中，原料（包括未加工晶圆基材、预处理晶圆片、配套衬底等）的运输与上料是衔接各加工工序（如光刻、蚀刻、沉积、检测）的关键环节，需满足 “高精度定位、低污染接触、高效流转” 的核心要求。

2、但是现有的半导体生产线需实现多批次、连续化加工，由于人工上料需逐片搬运、定位和校准，导致人工操作无法匹配高速连续化加工设备的需求，且长时间重复机械动作易导致操作人员疲劳，进一步降低操作精度与效率，从而制约了生产线产能的提升，因此为解决上述提出的问题，从而提出了改善后的一种上料机。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种上料机，输送架支撑台处的专用机械手可实现电子半导体物料自动化抓取，替代人工以规避疲劳、提升效率并匹配高速加工设备，靠位机构能精准限定物料位置保障定位精度，同时机械手可减少人体污染以维持物料洁净度，保障终端半导体器件性能与良率，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种上料机，包括上料机主体，所述上料机主体包括输送架，所述输送架一端的底部安装有支撑台，所述支撑台背面的一侧通过固定架安装有方便抓取电子半导体物料的机械手；

3、还包括安装在输送架一端的靠位机构，所述靠位机构用于对机械手抓取的电子半导体物料的位置进行限定。

4、优选的，所述靠位机构包括升降组件、位置调节组件一、位置调节组件二和位置调节组件三，所述升降组件安装在支撑台的顶部，且所述升降组件上端位于输送架上相邻的输送辊之间，所述位置调节组件一和位置调节组件二分别分布在升降组件的两端，所述位置调节组件三分布在升降组件的侧面。

5、优选的，所述升降组件包括安装座，所述安装座的一侧与支撑台的平面固定连接，所述支撑台的平面开设有通孔，所述安装座的另一侧安装有升降气缸，所述升降气缸贯穿通孔位于支撑台的内部，所述升降气缸的活塞杆固定连接有连接杆，所述连接杆的表面相等距离固定连接有支撑座，每个所述支撑座均位于输送架上相邻的输送辊之间。

6、优选的，所述支撑座的上表面相等距离开设有凹槽口，且每个凹槽口的边缘处均呈圆角设置。

7、优选的，所述位置调节组件一包括支撑架一，所述支撑架一的下端固定在支撑台的一端，所述支撑架一的顶部安装有电动推杆一，所述电动推杆一的活塞端连接有推板一。

8、优选的，所述位置调节组件二包括支撑架二，所述支撑架二固定在输送架上，所述支撑架二上安装有电动推杆二，所述电动推杆二的活塞端连接有与推板一配合使用的推板二。

9、优选的，所述位置调节组件三包括支撑架三，所述支撑架三固定在支撑台上平面的侧面，所述支撑架三的顶部安装有电动滑台，所述电动滑台的活塞端连接有推板三。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、本实用新型提供一种上料机，通过在输送架支撑台处设置专用机械手，实现电子半导体物料的自动化抓取，替代人工逐片搬运操作，有效规避了人员长时间重复作业引发的疲劳问题，大幅提升上料效率，可匹配高速连续化加工设备的需求，同时，增加的靠位机构能对抓取后的物料进行精准位置限定，保障物料定位精度，解决人工操作精度波动的问题，此外，机械手替代人工接触物料，减少了人体污染物对晶圆等敏感基材的影响，助力维持物料表面洁净度，为终端半导体器件的性能与良率提供保障。

12、本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在说明书以及附图中所指出的结构来实现和获得。

1.一种上料机，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种上料机，其特征在于：所述靠位机构（2）包括升降组件（21）、位置调节组件一（22）、位置调节组件二（23）和位置调节组件三（24），所述升降组件（21）安装在支撑台（102）的顶部，且所述升降组件（21）上端位于输送架（101）上相邻的输送辊之间，所述位置调节组件一（22）和位置调节组件二（23）分别分布在升降组件（21）的两端，所述位置调节组件三（24）分布在升降组件（21）的侧面。

3.根据权利要求2所述的一种上料机，其特征在于：所述升降组件（21）包括安装座（211），所述安装座（211）的一侧与支撑台（102）的平面固定连接，所述支撑台（102）的平面开设有通孔（212），所述安装座（211）的另一侧安装有升降气缸（213），所述升降气缸（213）贯穿通孔（212）位于支撑台（102）的内部，所述升降气缸（213）的活塞杆固定连接有连接杆（214），所述连接杆（214）的表面相等距离固定连接有支撑座（215），每个所述支撑座（215）均位于输送架（101）上相邻的输送辊之间。

4.根据权利要求3所述的一种上料机，其特征在于：所述支撑座（215）的上表面相等距离开设有凹槽口（216），且每个凹槽口（216）的边缘处均呈圆角设置。

5.根据权利要求4所述的一种上料机，其特征在于：所述位置调节组件一（22）包括支撑架一（221），所述支撑架一（221）的下端固定在支撑台（102）的一端，所述支撑架一（221）的顶部安装有电动推杆一（222），所述电动推杆一（222）的活塞端连接有推板一（223）。

6.根据权利要求5所述的一种上料机，其特征在于：所述位置调节组件二（23）包括支撑架二（231），所述支撑架二（231）固定在输送架（101）上，所述支撑架二（231）上安装有电动推杆二（232），所述电动推杆二（232）的活塞端连接有与推板一（223）配合使用的推板二（233）。

7.根据权利要求6所述的一种上料机，其特征在于：所述位置调节组件三（24）包括支撑架三（241），所述支撑架三（241）固定在支撑台（102）上平面的侧面，所述支撑架三（241）的顶部安装有电动滑台（242），所述电动滑台（242）的活塞端连接有推板三（243）。