一种表面处理用湿式喷砂机的制作方法

本技术涉及机械工程与表面处理，具体涉及一种表面处理用湿式喷砂机。

背景技术：

1、半导体是一种导电性能介于导体与绝缘体之间、可通过掺杂或外场调控其电学特性的材料，是制造集成电路、晶体管、芯片等现代电子器件的核心基础，在半导体制造过程中，常需通过化学药水蚀刻或机械式研磨等方式对其表面进行处理，以实现清洁、去氧化、粗糙化或活化等工艺目的。

2、中国专利授权公告号：cn223419289u，提供了一种高效多功能湿式喷砂机自动装置，此专利通过两个夹板将玻璃工件夹起，之后使液压伸缩杆将两个夹板之间的玻璃工件提起，再使第一电机带动t形活动板进行移动，将两个夹板之间的玻璃工件送入湿式喷砂机本体的内部进行喷砂加工，可以使两个夹板将玻璃工件夹起后，液压伸缩杆与第一电机配合将玻璃工件送入湿式喷砂机本体的内部，不需要由工作人员将玻璃工件送入湿式喷砂机本体的内部，降低了工作人员的劳动强度，提高了工作人员的工作效率，进而提高了该喷砂机对玻璃工件的加工效率。

3、现有的技术中，由于半导体表面处理采用化学药水蚀刻或干式机械研磨，容易导致表面粗糙度与洁净度难以精准控制，并产生高污染、高废液排放及材料损伤，影响环保合规性和生产成本，基于此，本实用新型设计了一种表面处理用湿式喷砂机以解决上述问题。

技术实现思路

1、针对现有技术所存在的上述缺点，本实用新型提供了一种表面处理用湿式喷砂机。

2、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

3、一种表面处理用湿式喷砂机，包括湿式喷砂机本体，所述湿式喷砂机本体的外表面安装有离心式砂水分离器本体和混合罐，所述湿式喷砂机本体的上表面固定连接有支撑架，所述支撑架的下表面固定连接有电动推杆，所述湿式喷砂机本体的内部安装有回收箱，所述回收箱的内腔侧壁固定连接有连接块，所述连接块的侧面和电动推杆的一端均固定连接有喷洒板，两个所述喷洒板的外表面固定连接有喷盘一和喷盘二，所述喷盘一和喷盘二的内部均连通有多个高压喷头，所述回收箱的内部连通有废液排出管，所述废液排出管的一端与离心式砂水分离器本体的内腔顶部相连接，所述废液排出管的外表面安装有离心式渣浆泵。

4、在其中一个实施例中，所述混合罐的外表面固定连接有支撑板，所述支撑板的下表面固定连接有搅拌电机，所述搅拌电机的输出轴通过联轴器固定连接有搅拌杆，所述搅拌杆的外表面固定连接有多个搅拌棒。

5、在其中一个实施例中，所述混合罐的内部连通有输砂管，所述输砂管的一端安装有两个连接管，两个所述连接管的一端分别与喷盘一和喷盘二的内部相连通，所述输砂管的外表面安装有抽泵一。

6、在其中一个实施例中，所述湿式喷砂机本体、混合罐和离心式砂水分离器本体的外表面均固定连接有多个支撑腿，所述离心式砂水分离器本体的内腔底部连通有排砂管，所述湿式喷砂机本体的外表面通过固定块连接有金刚砂箱。

7、在其中一个实施例中，所述排砂管的一端与金刚砂箱的内部相连通，所述排砂管和混合罐之间连接有固定管，所述固定管的外表面安装有抽泵二。

8、在其中一个实施例中，所述湿式喷砂机本体的外表面固定连接有储水箱，所述储水箱的内部连接有输水管，所述输水管的一端与混合罐的内部相连接。

9、在其中一个实施例中，所述储水箱的内部连接有排水管，所述离心式砂水分离器本体的外表面安装有溢流口，所述排水管的一端与离心式砂水分离器本体内的溢流口相连接，所述输水管和排水管的外表面安装有抽泵三。

10、在其中一个实施例中，所述湿式喷砂机本体的内部安装有输送带以及多个输送滚轮，所述输送带用于驱动多个输送滚轮进行转动，所述输送滚轮的外表面安装有软胶套。

11、有益效果

12、（1）本方案通过输送滚轮、软胶套与输送电机的协同配合，半导体工件在进入喷砂区域前能够被平稳、低应力地输送，避免因金属或硬质接触面在传输过程中对脆性半导体材料造成的划伤、微裂或静电损伤，确保工件在处理全程保持完整性和表面洁净度。

13、（2）通过混合罐、搅拌电机、搅拌杆、搅拌棒、抽泵一、输砂管、连接管和喷盘一、喷盘二与高压喷头的相互配合，水与金刚砂在进入喷射前实现充分均匀混合，并在输送过程中由专用渣浆泵维持稳定压力与浓度，使水砂混合物以高动能、高一致性从喷嘴同步喷洒至工件上下表面，不仅保障了喷砂力度的均匀性和覆盖完整性，更确保了浆料在整个循环过程中始终处于悬浮稳定状态，避免沉降分层。

14、（3）通过离心式砂水分离器本体、废液排出管、排砂管、储水箱和金刚砂箱的相互配合，利用高速旋流产生的离心力将使用后的废液高效分离为澄清水和回收金刚砂，清水回流至储水箱，金刚砂返回金刚砂箱，整个过程无需滤材或化学助剂，实现了磨料与水资源的全自动、高效率循环利用，显著降低耗材消耗与废液排放，契合绿色制造与可持续生产的核心要求。

1.一种表面处理用湿式喷砂机，包括湿式喷砂机本体（1），其特征在于：所述湿式喷砂机本体（1）的外表面安装有离心式砂水分离器本体（21）和混合罐（5），所述湿式喷砂机本体（1）的上表面固定连接有支撑架（3），所述支撑架（3）的下表面固定连接有电动推杆（4），所述湿式喷砂机本体（1）的内部安装有回收箱（26），所述回收箱（26）的内腔侧壁固定连接有连接块（15），所述连接块（15）的侧面和电动推杆（4）的一端均固定连接有喷洒板（27），两个所述喷洒板（27）的外表面固定连接有喷盘一（11）和喷盘二（16），所述喷盘一（11）和喷盘二（16）的内部均连通有多个高压喷头（12），所述回收箱（26）的内部连通有废液排出管（20），所述废液排出管（20）的一端与离心式砂水分离器本体（21）的内腔顶部相连接，所述废液排出管（20）的外表面安装有离心式渣浆泵（24）。

2.根据权利要求1所述的表面处理用湿式喷砂机，其特征在于，所述混合罐（5）的外表面固定连接有支撑板（25），所述支撑板（25）的下表面固定连接有搅拌电机（6），所述搅拌电机（6）的输出轴通过联轴器固定连接有搅拌杆（7），所述搅拌杆（7）的外表面固定连接有多个搅拌棒（8）。

3.根据权利要求1所述的表面处理用湿式喷砂机，其特征在于，所述混合罐（5）的内部连通有输砂管（9），所述输砂管（9）的一端安装有两个连接管（10），两个所述连接管（10）的一端分别与喷盘一（11）和喷盘二（16）的内部相连通，所述输砂管（9）的外表面安装有抽泵一（29）。

4.根据权利要求1所述的表面处理用湿式喷砂机，其特征在于，所述湿式喷砂机本体（1）、混合罐（5）和离心式砂水分离器本体（21）的外表面均固定连接有多个支撑腿（2），所述离心式砂水分离器本体（21）的内腔底部连通有排砂管（23），所述湿式喷砂机本体（1）的外表面通过固定块连接有金刚砂箱（18）。

5.根据权利要求4所述的表面处理用湿式喷砂机，其特征在于，所述排砂管（23）的一端与金刚砂箱（18）的内部相连通，所述排砂管（23）和混合罐（5）之间连接有固定管（28），所述固定管（28）的外表面安装有抽泵二。

6.根据权利要求1所述的表面处理用湿式喷砂机，其特征在于，所述湿式喷砂机本体（1）的外表面固定连接有储水箱（17），所述储水箱（17）的内部连接有输水管（19），所述输水管（19）的一端与混合罐（5）的内部相连接。

7.根据权利要求6所述的表面处理用湿式喷砂机，其特征在于，所述储水箱（17）的内部连接有排水管（22），所述离心式砂水分离器本体（21）的外表面安装有溢流口，所述排水管（22）的一端与离心式砂水分离器本体（21）内的溢流口相连接，所述输水管（19）和排水管（22）的外表面安装有抽泵三。

8.根据权利要求1所述的表面处理用湿式喷砂机，其特征在于，所述湿式喷砂机本体（1）的内部安装有输送带以及多个输送滚轮（13），所述输送带用于驱动多个输送滚轮（13）进行转动，所述输送滚轮（13）的外表面安装有软胶套（14）。