派瑞林气相沉积设备的制作方法

本技术涉及气相沉积，更具体地说，本技术涉及派瑞林气相沉积设备。

背景技术：

1、化学气相沉积是近30年迅速发展起来的材料表面改性技术，它是利用气相之间的反应，在各种材料和制品表面沉积一层薄膜，赋予材料表面一些特殊的性能。如派瑞林膜就是用对二甲苯环二体或者其衍生物为原料，通过气相沉积过程来实现的。气相沉积的过程要通过一定的设备实现。

2、其中，公告号cn219260196u的专利公开了一种多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备，属于化学气相沉积技术领域。该多蒸发和裂解系统的派瑞林膜沉积设备，包括蒸发仓、裂解仓和沉降仓，蒸发仓与裂解仓相对应，裂解仓设置在蒸发仓和沉降仓之间，沉降仓对应多个蒸发仓和裂解仓。

3、该结构在使用时，通过集成多套独立蒸发和裂解装置于一台镀膜机中，沉积仓体积可以数倍于现有常规尺寸镀膜机的沉积仓，膜层质量和膜层性能不变，但是在进行沉积的过程中不易于对将气态的派瑞林二聚体原料进行聚拢，这样造成沉积过程中容易飘散。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供派瑞林气相沉积设备，旨在解决上述背景技术中提出的问题。

2、本实用新型提供如下技术方案：派瑞林气相沉积设备，包括原料加热箱，所述原料加热箱上设置有沉积组件；

3、所述沉积组件包括设置在原料加热箱顶部的沉积箱，所述原料加热箱的外侧设置有泵机，所述泵机的输出端和输入端分别设置有导管，且泵机输出端所属的导管一端设置有喷板，所述泵机输入端所属的泵机延伸至原料加热箱内并与原料加热箱相连通；

4、所述喷板位于沉积箱的中部，所述原料加热箱的顶部铰接有沉积垫板。

5、可选的，在可能的实施方式中，所述沉积垫板的竖截面形状设置为弧形，所述沉积垫板上贯穿开设有若干个工件定位孔，所述原料加热箱的顶部一侧设置有支撑框，所述支撑框上转动连接有转轴，所述支撑框的一侧设置有支撑杆，所述支撑杆上的顶部设置有两个托轮，所述转轴的外侧套设有垃绳，所述垃绳延伸至托轮外侧，且垃绳的一端贯穿沉积箱并延伸至沉积垫板的一端，所述支撑框的一端设置有电机，所述电机的输出端延伸至转轴的一端；

6、本实用新型的技术效果和优点：

7、通过设置弧形结构的沉积垫板，配合喷板的定向喷气设计，有效解决了气态派瑞林二聚体原料易飘散的问题，提升了原料利用率，同时保证了工件表面涂层的均匀性；

8、沉积垫板上的工件定位孔可对工件进行精准固定，避免沉积过程中工件移位，进一步保障涂层质量；

9、通过电机、转轴、拉绳和托轮组成的传动组件，可便捷调节沉积垫板的角度，适应不同尺寸、不同形状工件的沉积需求，增强了设备的通用性。

1.派瑞林气相沉积设备，包括原料加热箱（1），其特征在于：所述原料加热箱（1）上设置有沉积组件；

2.根据权利要求1所述的派瑞林气相沉积设备，其特征在于：所述沉积垫板（6）的竖截面形状设置为弧形，所述沉积垫板（6）上贯穿开设有若干个工件定位孔（7）。

3.根据权利要求1所述的派瑞林气相沉积设备，其特征在于：所述原料加热箱（1）的顶部一侧设置有支撑框（8），所述支撑框（8）上转动连接有转轴（9）。

4.根据权利要求3所述的派瑞林气相沉积设备，其特征在于：所述支撑框（8）的一侧设置有支撑杆（10），所述支撑杆（10）上的顶部设置有两个托轮（11）。

5.根据权利要求4所述的派瑞林气相沉积设备，其特征在于：所述转轴（9）的外侧套设有拉绳（12），所述拉绳（12）延伸至托轮（11）外侧，且拉绳（12）的一端贯穿沉积箱（2）并延伸至沉积垫板（6）的一端。

6.根据权利要求3所述的派瑞林气相沉积设备，其特征在于：所述支撑框（8）的一端设置有电机（13），所述电机（13）的输出端延伸至转轴（9）的一端。