一种蒸镀镀膜装置的制作方法

本技术涉及电池片钝化，尤其涉及一种蒸镀镀膜装置。

背景技术：

1、对于整片、半片或者多分片的电池片的钝化工艺中，通过电磁线圈围绕坩埚，在坩埚中放置镀膜物料和感应器，电磁线圈使感应器电磁感应加热，镀膜物料受热熔融蒸发，从而达到对电池片表面镀膜的效果。由于坩埚受热散发的热量会影响电磁线圈的磁场，从而导致感应器的电磁感应加热容易不稳定和较难控制。

2、相关技术中，公开号为cn112501693a的专利公开了电磁感应线圈外围设置围绕设置有石英管，石英管及电磁感应线圈外围围绕设置有水冷罩，通过水冷罩均匀降低辐射温度，然而上述结构复杂，水冷罩仅吸取传递至石英管处的热量，无法直接对电磁感应线圈直接降温，从而导致降温效果不佳。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种蒸镀镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种蒸镀镀膜装置，包括基座、坩埚、导电螺旋件、电源、高频变压器和水冷组件，所述坩埚和所述导电螺旋件沿竖直方向间隔设于所述基座上，所述导电螺旋件和所述高频变压器均与所述电源电连接，所述导电螺旋件与所述高频变压器电连接，所述导电螺旋件沿其自身螺旋方向开设有冷却通道，所述冷却通道与所述水冷组件连通。

3、优选的，还包括隔热罩，所述隔热罩位于所述坩埚和所述导电螺旋件之间，且罩设于所述导电螺旋件之外。

4、优选的，所述导电螺旋件居中的一端设有第一导电管，所述导电螺旋件外缘的另一端设有第二导电管，所述第一导电管和所述第二导电管均与所述冷却通道连通，所述第一导电管和所述第二导电管分别与所述水冷组件的进水口和出水口联通，所述第一导电管和所述第二导电管中一者与所述电源电连接，另一者与所述高频变压器电连接。

5、优选的，所述基座包括基座主体、支架、耐高温支撑板、保温罩和锁紧环，所述支架设于所述基座主体上，所述耐高温支撑板和所述导电螺旋件间隔设于所述支架上，所述锁紧环与所述保温罩螺纹配合，所述锁紧环挤压所述坩埚于所述保温罩中，且所述耐高温支撑板夹持在所述锁紧环与所述保温罩之间。

6、优选的，还包括供氢组件，所述供氢组件的输出端穿过所述基座主体，并朝向所述导电螺旋件。

7、优选的，所述坩埚的中心与所述导电螺旋件的中心沿竖直方向上的投影重合。

8、优选的，所述坩埚的外底壁与所述导电螺旋件的上表面之间的间距在0.5mm~1mm。

9、优选的，沿竖直方向上，所述坩埚的投影面积小于所述导电螺旋件的投影面积

10、优选的，所述坩埚的内底壁开设有至少一个凹槽，所述凹槽用于承载镀膜物料。

11、优选的，所述基座设有升降驱动件，所述升降驱动件的驱动端与所述导电螺旋件连接，所述导电螺旋件设有凹槽，所述凹槽与所述坩埚相对。

12、本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：

13、在本申请公开一种蒸镀镀膜装置中，坩埚和导电螺旋件沿竖直方向间隔设于基座上，电源的正极和负极分别与导电螺旋件和高频变压器电连接，导电螺旋件与高频变压器电连接，导电螺旋件沿其自身螺旋方向开设有冷却通道，冷却通道与水冷组件连通。

14、在蒸镀镀膜装置的使用过程中，高频变压器将电源输出的380v或220v交流电通过整流、滤波转换为直流电，再进行高频逆变，生成10khz~1mhz的高频交流电，导电螺旋件在通入高频电流后，周围形成均匀的强交变磁场，坩埚及其中承载的镀膜物料受电磁感应产生闭合涡流，涡流在坩埚及其承载镀膜物料的电阻作用下将电能转化为热能，实现快速升温，同时，水冷组件输出冷却水在冷却通道中循化流动，冷却水可以直接吸收导电螺旋件受到的热量，保证导电螺旋件不受自身温度影响，稳定地产生可控的强交变磁场。

15、上述结构通过在导电螺旋件上开设冷却通道，能够直接对导电螺旋件冷却处理，也避免额外增设相关技术中的水冷罩等结构，结构简单，也方便安装。

1.一种蒸镀镀膜装置，其特征在于，包括基座(100)、坩埚(200)、导电螺旋件(300)、电源、高频变压器和水冷组件，所述坩埚(200)和所述导电螺旋件(300)沿竖直方向依次设于所述基座(100)上，所述导电螺旋件(300)和所述高频变压器均与所述电源电连接，所述导电螺旋件(300)与所述高频变压器电连接，所述导电螺旋件(300)沿其自身螺旋方向开设有冷却通道，所述冷却通道与所述水冷组件连通。

2.根据权利要求1所述的蒸镀镀膜装置，其特征在于，还包括隔热罩(400)，所述隔热罩(400)位于所述坩埚(200)和所述导电螺旋件(300)之间，且罩设于所述导电螺旋件(300)之外。

3.根据权利要求1所述的蒸镀镀膜装置，其特征在于，所述导电螺旋件(300)居中的一端设有第一导电管(510)，所述导电螺旋件(300)外缘的另一端设有第二导电管(520)，所述第一导电管(510)和所述第二导电管(520)均与所述冷却通道连通，所述第一导电管(510)和所述第二导电管(520)分别与所述水冷组件的进水口和出水口联通，所述第一导电管(510)和所述第二导电管(520)中一者与所述电源电连接，另一者与所述高频变压器电连接。

4.根据权利要求1所述的蒸镀镀膜装置，其特征在于，所述基座(100)包括基座主体(110)、支架(120)、耐高温支撑板(130)、保温罩(140)和锁紧环(150)，所述支架(120)设于所述基座主体(110)上，所述耐高温支撑板(130)和所述导电螺旋件(300)间隔设于所述支架(120)上，所述锁紧环(150)与所述保温罩(140)螺纹配合，所述锁紧环(150)挤压所述坩埚(200)于所述保温罩(140)中，且所述耐高温支撑板(130)夹持在所述锁紧环(150)与所述保温罩(140)之间。

5.根据权利要求4所述的蒸镀镀膜装置，其特征在于，还包括供氢组件(600)，所述供氢组件(600)的输出端穿过所述基座主体(110)，并朝向所述导电螺旋件(300)。

6.根据权利要求1所述的蒸镀镀膜装置，其特征在于，所述坩埚(200)的中心与所述导电螺旋件(300)的中心沿竖直方向上的投影重合。

7.根据权利要求1所述的蒸镀镀膜装置，其特征在于，所述坩埚(200)的外底壁与所述导电螺旋件(300)的上表面之间的间距在0.5mm~1mm。

8.根据权利要求1所述的蒸镀镀膜装置，其特征在于，沿竖直方向上，所述坩埚(200)的投影面积小于所述导电螺旋件(300)的投影面积。

9.根据权利要求1所述的蒸镀镀膜装置，其特征在于，所述坩埚(200)的内底壁开设有至少一个凹槽，所述凹槽用于承载镀膜物料。

10.根据权利要求1所述的蒸镀镀膜装置，其特征在于，所述基座(100)设有升降驱动件，所述升降驱动件的驱动端与所述导电螺旋件(300)连接，所述导电螺旋件(300)设有凹槽，所述凹槽与所述坩埚(200)相对。