一种真空腔防爆组件的制作方法

本发明涉及一种真空腔防爆组件。

背景技术：

1、真空镀膜技术是在真空腔内的高真空环境下，通过物理或化学方法将镀膜材料沉积于工件表面形成薄膜的技术，广泛应用于光学、电子、机械、装饰等诸多领域。

2、真空镀膜工艺结束时以及真空腔体内部维护时需要破真空，一般采用充入氮气的方式至整个腔体呈微正压状态，而一般真空腔内没有泄压阀，参见中国专利cn202520385609.9，当充入氮气过多内部超压时会导致腔体内部元器件损坏。

技术实现思路

1、本发明所要解决的技术问题是提供一种真空腔防爆组件，其设置于现有真空腔的抽气管上，由于抽气管与真空腔腔体相连通，本组件可以保证真空腔内气压不高于设定的阈值，而当真空腔内压力超过阈值时，即可快速泄压，保护腔体内部元器件不被损坏。

2、为解决上述技术问题，本发明提供了一种真空腔防爆组件，包括真空腔抽气管，真空腔抽气管水平段上设有竖直向下延伸的支管，支管下侧设有泄压阀，所述的泄压阀包括竖直布置且上下封口的圆筒形外壳，外壳上顶板中心处设有沿竖直向贯穿上顶板的第一通孔，外壳周向侧壁位置上对应其高度方向中部设有若干沿径向贯穿外壳的排气孔，外壳内位置上对应下底板的上侧设有水平布置的且与外壳形状相匹配的调节板，外壳内位置上对应上顶板下侧设有水平布置且与外壳内腔周向侧壁沿竖直向滑动配合的活塞，活塞轴心处设有竖直向下延伸的导向杆，调节板位置上对应导向杆处均设有与导向杆相匹配的第二通孔，外壳下底板位置上对应导向杆处均设有与导向杆相匹配的第三通孔，导向杆下端由上至下依次经过第二通孔、第三通孔穿出外壳下侧，导向杆位置上对应活塞下侧与调节板上侧处周向套设有竖直布置的弹簧，弹簧上侧与活塞下侧相抵靠、弹簧下侧与调节板上侧相抵靠，外壳下底板上还设有若干沿竖直向贯穿外壳下底板的螺纹孔，外壳下底板下侧位置上对应每个螺纹孔处均设有与该螺纹孔相匹配的竖直调节螺栓，调节螺栓螺纹的拧动端位于调节螺栓的下侧，每个调节螺栓的外螺纹均与对应螺纹孔的内螺纹配合，且每个调节螺栓的顶部均与调节板下侧相抵靠，每个调节螺栓的拧动端均位于外壳下底板的下方，支管下方设有储气罐，储气罐上方设有沿竖直向贯穿储气罐的圆形开口，泄压阀外壳直径小于圆形开口直径，泄压阀中下部从开口处伸入储气罐内，泄压阀周向外侧壁位置上靠近其上端处设有沿外壳径向水平向外延伸的环形安装板，环形安装板直径大于圆形开口直径，环形安装板下侧与储气罐上侧相贴合并通过若干连接螺栓固定，储气罐前侧还设有联通储气罐内外的负压接头。

3、为简单说明问题起见，以下对本发明所述的一种真空腔防爆组件均简称为本组件。

4、本组件的工作原理和优点：真空镀膜工艺结束时以及真空腔体内部维护时需要破真空，一般采用充入氮气的方式至整个腔体呈微正压状态，泄压阀设于真空腔的抽气管上，由于抽气管与真空腔腔体相连通，充入的氮气会从经过抽气管进入支管，随着气压升高充入的氮气从第一通孔处进入泄压阀内并推动活塞克服弹簧弹力下行，当活塞高度继续降低至排气孔以下时（即达到预设的泄压阈值），高压氮气会在压差的作用下迅速从排气孔处流入储气罐内完成泄压，压力释放后，活塞在弹簧弹力的作用下上行复位，当活塞高度高于排气孔时，真空腔内部的氮气则不再从排气孔流出，负压接头连接气泵，进入储气罐内的氮气最后被从负压接头处抽出。本组件可以保证真空腔内气压不高于设定的阈值，而当真空腔内压力超过阈值时，即可快速泄压，保护腔体内部元器件不被损坏。另外，通过拧动调节螺栓可以控制调节板的升降，由于活塞的初始位置是恒定的，调节板的高度决定了弹簧的初始压缩量，通过调节弹簧的初始压缩量可以改变活塞运动到排气孔处所需要的压力，此即为泄压阀的预设泄压阈值，这样可以根据设备的耐压程度不同，设定合适的泄压阈值。

1.一种真空腔防爆组件，其特征在于：包括真空腔抽气管，真空腔抽气管水平段上设有竖直向下延伸的支管，支管下侧设有泄压阀，所述的泄压阀包括竖直布置且上下封口的圆筒形外壳，外壳上顶板中心处设有沿竖直向贯穿上顶板的第一通孔，外壳周向侧壁位置上对应其高度方向中部设有若干沿径向贯穿外壳的排气孔，外壳内位置上对应下底板的上侧设有水平布置的且与外壳形状相匹配的调节板，外壳内位置上对应上顶板下侧设有水平布置且与外壳内腔周向侧壁沿竖直向滑动配合的活塞，活塞轴心处设有竖直向下延伸的导向杆，调节板位置上对应导向杆处均设有与导向杆相匹配的第二通孔，外壳下底板位置上对应导向杆处均设有与导向杆相匹配的第三通孔，导向杆下端由上至下依次经过第二通孔、第三通孔穿出外壳下侧，导向杆位置上对应活塞下侧与调节板上侧处周向套设有竖直布置的弹簧，弹簧上侧与活塞下侧相抵靠、弹簧下侧与调节板上侧相抵靠，外壳下底板上还设有若干沿竖直向贯穿外壳下底板的螺纹孔，外壳下底板下侧位置上对应每个螺纹孔处均设有与该螺纹孔相匹配的竖直调节螺栓，调节螺栓螺纹的拧动端位于调节螺栓的下侧，每个调节螺栓的外螺纹均与对应螺纹孔的内螺纹配合，且每个调节螺栓的顶部均与调节板下侧相抵靠，每个调节螺栓的拧动端均位于外壳下底板的下方，支管下方设有储气罐，储气罐上方设有沿竖直向贯穿储气罐的圆形开口，泄压阀外壳直径小于圆形开口直径，泄压阀中下部从开口处伸入储气罐内，泄压阀周向外侧壁位置上靠近其上端处设有沿外壳径向水平向外延伸的环形安装板，环形安装板直径大于圆形开口直径，环形安装板下侧与储气罐上侧相贴合并通过若干连接螺栓固定，储气罐前侧还设有联通储气罐内外的负压接头。