一种抛光机液压阻尼缓冲机构的制作方法

本技术属于晶圆抛光机，尤其涉及一种抛光机液压阻尼缓冲机构。

背景技术：

1、双面研磨抛光设备在加工产品过程中，依靠上下盘加压旋转，齿圈与中心齿定位游心轮做行星轮旋转运动，借助磨料的机械研磨作用于各类化学试剂的化学作用之间的高度有机结合，进行表面研磨抛光，抛光效果与材料硬度，研磨颗粒，抛光液，机器盘面平坦度，上抛光盘面与下盘平行度等各种不同的因素有关，上盘抬起时其实际重心不一定与形心重合，因调心机构的灵活性有可能会导致加工完成的工件被抬起的上盘向一侧偏移形成压伤或破碎，现有的机器结构存在一定的局限性。

2、在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：

3、cn207696316u-抛光机工作台缓冲仿形装置，公开了一种抛光机工作台缓冲仿形装置，巧妙地运用了弹簧压缩及铰链连杆机构原理，从而对抛光机构起到缓冲保护的作用；同时也对抛光机构起到了支撑保护作用，也无法解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是提供一种抛光机液压阻尼缓冲机构，防止在升降的瞬间被抬起的上盘向一侧偏移形成压伤或破碎，减少了工件损坏的风险。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种抛光机液压阻尼缓冲机构，具有：

3、转轴；

4、安装板，固定安装在所述转轴上；

5、固定板，固定安装所述转轴上，所述固定板位于安装板下方；

6、调心机构，其上端安装在所述固定板上；

7、连接法兰，所述调心机构的外周固定设有连接法兰；

8、液压阻尼机构，所述连接法兰上均匀设有一系列的液压阻尼机构；

9、缓冲板，安装在所述调心机构的第二端上；所述液压阻尼机构与缓冲板连接；

10、上盘，固定安装在所述缓冲板上。

11、所述液压阻尼机构为液压阻尼器；所述液压阻尼器的固定端安装在连接法兰上，液压阻尼器的活动端与缓冲板连接。

12、所述上盘通过连接柱与缓冲板连接。

13、所述安装板上设有上防护板，所述上防护板环绕所述转轴。

14、所述上盘上设有下防护板，所述下防护板环绕所述转轴。

15、所述安装板上设有内外两层的上防护板，所述下防护板位于两层上防护板之间。

16、上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果，在大载荷的上盘调心机构工作产生了调心旋转时，带动缓冲板首先撞击到缓冲机构上，以液压阻尼分散其冲击力，根据液压阻尼器特性，位移量越大，阻尼越大，以此延缓调心机构连接的上盘的调心旋转，使其完成升降时下盘面同时脱离工件，防止其在升降的瞬间被抬起的上盘向一侧偏移形成压伤或破碎，减少了工件损坏的风险。

1.一种抛光机液压阻尼缓冲机构，其特征在于，具有：

2.如权利要求1所述的抛光机液压阻尼缓冲机构，其特征在于，所述液压阻尼机构为液压阻尼器；所述液压阻尼器的固定端安装在连接法兰上，液压阻尼器的活动端与缓冲板连接。

3.如权利要求2所述的抛光机液压阻尼缓冲机构，其特征在于，所述上盘通过连接柱与缓冲板连接。

4.如权利要求3所述的抛光机液压阻尼缓冲机构，其特征在于，所述安装板上设有上防护板，所述上防护板环绕所述转轴。

5.如权利要求4所述的抛光机液压阻尼缓冲机构，其特征在于，所述上盘上设有下防护板，所述下防护板环绕所述转轴。

6.如权利要求5所述的抛光机液压阻尼缓冲机构，其特征在于，所述安装板上设有内外两层的上防护板，所述下防护板位于两层上防护板之间。