一种掩膜版的制作方法

本发明涉及显示，尤其涉及一种掩膜版。

背景技术：

1、随着显示技术的发展，有机发光二极管(organic light emitting diode，oled)显示器因其具有自发光、分辨率佳、高亮度等诸多优点，被认为是下一代平面显示器新兴的应用技术。

2、在oled显示器制备具有通用图案的膜层时会用到通用金属掩膜版(common metalmask，cmm)。而在制备膜层过程中，cmm与阵列基板之间易产生静电，导致击伤阵列基板的走线而造成屏幕出现亮线。

技术实现思路

1、本发明提供了一种掩膜版，以解决cmm与阵列基板之间易产生静电而使阵列基板的走线被击伤的问题。

2、根据本发明的一方面，提供了一种掩膜版，所述掩膜版包板体；所述板体包括掩膜图案区和边缘区；其中，所述边缘区围绕所述掩膜图案区设置；

3、所述掩膜图案区包括多个阵列排布的图案开口；所述板体包括相对设置的第一表面和第二表面；所述图案开口贯穿所述第一表面和所述第二表面设置；所述板体的所述第一表面设置有凸起结构，所述凸起结构用于与待蒸镀的阵列基板的表面相接触；

4、所述凸起结构包括多个第一凸起部，所述第一凸起部位于所述边缘区，至少部分所述第一凸起部围绕所述图案开口设置；

5、所述第一凸起部包括顶面和所述顶面相连接的侧面，其中，所述顶面用于与待蒸镀的阵列基板的表面相接触；至少部分所述顶面设置有防静电层，所述防静电层裸露于所述顶面。

6、可选地，所述边缘区设置的所述第一凸起部呈对称排布；

7、优选的，相邻两所述图案开口之间具有预设间隔；

8、所述凸起结构包括第二凸起部，所述第二凸起部设置于所述掩膜图案区中的至少两个所述预设间隔内；其中，至少两个所述预设间隔呈中心对称排布。

9、可选地，位于各所述预设间隔内的所述第二凸起部的数量包括至少一个。

10、可选地，所述预设间隔包括第一预设间隔、第二预设间隔或第三预设间隔；其中，各所述第一预设间隔沿第一方向排布，各所述第二预设间隔沿第二方向排布，各所述第三预设间隔沿第三方向排布；所述第二方向、所述第三方向分别与所述第一方向相交；

11、位于各所述第一预设间隔内的所述第二凸起部的数量相同；

12、和/或，位于各所述第二预设间隔内的所述第二凸起部的数量相同；

13、和/或，位于各所述第三预设间隔内的所述第二凸起部的数量相同。

14、可选地，位于相邻两所述第一预设间隔内的各所述第二凸起部在所述第一方向上一一对应设置；

15、和/或，位于相邻两所述第二预设间隔内的各所述第二凸起部在所述第二方向上一一对应设置；

16、和/或，位于相邻两所述第三预设间隔内的各所述第二凸起部在所述第三方向上一一对应设置。

17、可选地，所述第一凸起部的所述侧面设置有所述防静电层；所述第一凸起部的所述侧面与所述顶面垂直；

18、和/或，所述第二凸起部的顶面以及侧面设置有所述防静电层；其中，所述第二凸起部用于由顶面通过所述防静电层与所述阵列基板相接触；所述第二凸起部的所述侧面与所述顶面垂直。

19、可选地，所述防静电层整面设置于所述板体设置有所述凸起结构的所述第一表面。

20、可选地，所述防静电层包括聚噻吩。

21、可选地，所述凸起结构的形状包括柱体或半球体，所述凸起结构平行于所述板体的表面的截面形状包括圆形。

22、可选地，所述凸起结构沿所述板体的厚度方向上的高度范围包括45～55μm，所述凸起结构与所述阵列基板之间的接触面的直径范围包括45～55μm。

23、本发明实施例提供的掩膜版包括板体，板体包括相对设置的第一表面和第二表面。在板体的第一表面设置凸起结构，以通过凸起结构将掩膜版支撑于阵列基板的表面上。凸起结构包括设置于板体的边缘区中的第一凸起部，至少部分第一凸起部围绕图案开口设置，可稳定支撑掩膜版，保证整个掩膜版的各个位置与阵列基板之间的距离均相等，且可大大减小板体与阵列基板之间的接触面积。在第一凸起部的顶面还设置有防静电层，以使掩膜版通过覆盖在第一凸起部至少部分顶面的防静电层与阵列基板相接触，进一步降低掩膜版和阵列基板的材料表面电阻。如此在板体的第一表面设置第一凸起部，可减小蒸镀过程中掩膜版与阵列基板之间发生的摩擦，有效减少电荷积累，防止产生静电，从而可有效防止静电击伤阵列基板的金属走线，改善显示面板出现的亮线现象，改善显示效果。

24、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

1.一种掩膜版，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述边缘区设置的所述第一凸起部呈对称排布；

3.根据权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，位于各所述预设间隔内的所述第二凸起部的数量包括至少一个。

4.根据权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，所述预设间隔包括第一预设间隔、第二预设间隔或第三预设间隔；其中，各所述第一预设间隔沿第一方向排布，各所述第二预设间隔沿第二方向排布，各所述第三预设间隔沿第三方向排布；所述第二方向、所述第三方向分别与所述第一方向相交；

5.根据权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，

6.根据权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，所述第一凸起部的所述侧面设置有所述防静电层；所述第一凸起部的所述侧面与所述顶面垂直；

7.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，

8.根据权利要求6或7所述的掩膜版，其特征在于，所述防静电层包括聚噻吩。

9.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，

10.根据权利要求9所述的掩膜版，其特征在于，所述凸起结构沿所述板体的厚度方向上的高度范围包括45～55μm，所述凸起结构与所述阵列基板之间的接触面的直径范围包括45～55μm。