掩膜版及蒸镀用掩膜版、蒸镀设备的制作方法

本技术涉及显示，尤其涉及一种掩膜版及蒸镀用掩膜版、蒸镀设备。

背景技术：

1、oled(organic light-emitting diode，有机发光二极管)是由多层有机层和两侧电极构成的三明治结构的主动发光器件。目前，基于amoled(active-matrix organiclight-emitting diode，有源矩阵有机发光二极体)的显示屏已经在智能手机、手表以及笔记本电脑等领域得到商业化。

2、在oled显示面板的制备过程中，需要通过蒸镀的方式，使用fmm(fine metalmask，也称为精细金属掩膜版)在基板上形成所需的图案。

3、然而，当前的掩膜版存在容易损伤的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本技术的目的在于提出一种掩膜版，提升掩膜版的强度，降低掩膜版损伤风险。

2、基于上述目的，本技术提供了一种掩膜版，其包括：

3、掩膜本体，所述掩膜本体包括多个非图形区域和多个图形区域，所述非图形区域和所述图形区域沿第一方向延伸且沿第二方向交替排布；所述图形区域包括沿所述第一方向排布的多个蒸镀区域，每个所述蒸镀区域对应一个显示面板的显示区域；

4、其中，每个所述蒸镀区域设置有多个第一掩膜开口，每个所述非图形区域设置有多个第二掩膜开口，多个所述第二掩膜开口沿所述第一方向排列，所述第二掩膜开口的尺寸小于所述第一掩膜开口的尺寸；所述第一方向和所述第二方向交叉。

5、在其中一种实施方式中，还包括掩膜框架，所述掩膜框架包括依次连接的第一边框、第二边框、第三边框和第四边框，所述第二边框与所述第四边框沿所述第一方向延伸且沿所述第二方向排布，所述第一边框与所述第三边框沿所述第二方向延伸且沿所述第一方向排布；所述掩膜本体沿第一方向的两端分别与所述第一边框和所述第三边框固定连接；

6、优选地，沿所述第一方向，相邻两个所述第二掩膜开口之间的距离大于相邻两个第一掩膜开口之间的距离。

7、在其中一种实施方式中，所述非图形区域包括与所述第四边框相邻的第一非图形区域，以及与所述第二边框相邻的第二非图形区域；

8、多个所述第二掩膜开口在所述第一非图形区域内同时沿所述第一方向和所述第二方向排列，多个所述第二掩膜开口在所述第二非图形区域内同时沿所述第一方向和所述第二方向排列；

9、优选地，在所述第一非图形区域内，多个所述第二掩膜开口的尺寸从所述第二边框至所述第四边框方向逐渐变小；

10、在所述第二非图形区域内，多个所述第二掩膜开口的尺寸从所述第四边框至所述第二边框方向逐渐变小；

11、优选地，沿所述第二方向，每排所述第二掩膜开口的中心与对应的所述第一掩膜开口的中心位于同一条直线上；

12、优选地，所述第一掩膜开口的形状包括圆形和倒角矩形中的一种或多种；

13、和/或，所述第二掩膜开口的形状包括圆形和倒角矩形中的一种或多种。

14、在其中一种实施方式中，所述非图形区域包括位于相邻两个所述图形区域之间的第三非图形区域，所述第三非图形区域包括第一子区域、第二子区域和第三子区域，所述第一子区域、所述第二子区域和所述第三子区域沿所述第二方向排布，所述第一子区域位于所述第二子区域靠近所述第四边框的一侧，所述第三子区域位于所述第二子区域靠近所述第二边框的一侧；

15、所述第二子区域内的所述第二掩膜开口的尺寸，大于所述第一子区域内的所述第二掩膜开口的尺寸以及所述第三子区域内的所述第二掩膜开口的尺寸。

16、基于同样的发明构思，本技术还公开了一种掩膜版，其包括：

17、掩膜框架；所述掩膜框架包括依次连接的第一边框、第二边框、第三边框和第四边框，所述第二边框与所述第四边框沿第一方向延伸且沿第二方向排布，所述第一边框与所述第三边框沿所述第二方向延伸且沿所述第一方向排布；

18、掩膜本体，所述掩膜本体沿第一方向的两端分别与所述第一边框和所述第三边框连接，所述掩膜本体包括非图形区域和图形区域，所述非图形区域包括与所述第四边框相邻的第一非图形区域，以及与所述第二边框相邻的第二非图形区域，所述图形区域位于所述第一非图形区域和所述第二非图形区域之间；所述图形区域包括沿所述第一方向排布的多个蒸镀区域，每个所述蒸镀区域对应一个显示面板的显示区域；

19、其中，每个所述蒸镀区域设置有多个第一掩膜开口，每个所述非图形区域设置有多个第二掩膜开口，多个所述第二掩膜开口沿所述第一方向排列，所述第二掩膜开口的尺寸小于所述第一掩膜开口的尺寸；所述第一方向和所述第二方向交叉。

20、在其中一种实施方式中，多个所述第二掩膜开口在所述第二非图形区域内同时沿所述第一方向和所述第二方向排列；

21、在所述第一非图形区域内，多个所述第二掩膜开口的尺寸从所述第二边框至所述第四边框方向逐渐变小；

22、在所述第二非图形区域内，多个所述第二掩膜开口的尺寸从所述第四边框至所述第二边框方向逐渐变小。

23、基于同样的发明构思，本技术还公开了一种蒸镀用掩膜版，用于制作显示面板母板，所述显示面板母板包括多个面板组，每个面板组包括沿所述第一方向排布多个的显示面板，多个所述面板组沿第二方向排布，相邻两所述面板组之间形成间隔区，其包括：

24、掩膜本体，所述掩膜本体包括多个非图形区域和多个图形区域，所述非图形区域和所述图形区域沿第一方向延伸且沿第二方向交替排布；每个所述图形区域对应一个面板组，每个所述非图形区域对应一个所述间隔区，所述图形区域包括沿所述第一方向排布的多个蒸镀区域，每个所述蒸镀区域对应一个所述显示面板的显示区域；

25、其中，每个所述蒸镀区域设置有多个第一掩膜开口，每个所述非图形区域设置有多个第二掩膜开口，多个所述第二掩膜开口沿所述第一方向排列，所述第二掩膜开口的尺寸小于所述第一掩膜开口的尺寸；所述第一方向和所述第二方向交叉。

26、在其中一种实施方式中，还包括掩膜框架，所述掩膜框架包括依次连接的第一边框、第二边框、第三边框和第四边框，所述第二边框与所述第四边框沿所述第一方向延伸且沿所述第二方向排布，所述第一边框与所述第三边框沿所述第二方向延伸且沿所述第一方向排布；所述掩膜本体沿第一方向的两端分别与所述第一边框和所述第三边框固定连接；

27、优选地，沿所述第一方向，相邻两个所述第二掩膜开口之间的距离大于相邻两个第一掩膜开口之间的距离；

28、优选地，所述非图形区域包括位于相邻两个所述图形区域之间的第三非图形区域，所述第三非图形区域包括第一子区域、第二子区域和第三子区域，所述第一子区域、所述第二子区域和所述第三子区域沿所述第二方向排布，所述第一子区域位于所述第二子区域靠近所述第四边框的一侧，所述第三子区域位于所述第二子区域靠近所述第二边框的一侧；

29、所述第二子区域内的所述第二掩膜开口的尺寸，大于所述第一子区域内的所述第二掩膜开口的尺寸以及所述第三子区域内的所述第二掩膜开口的尺寸。

30、在其中一种实施方式中，所述非图形区域包括与所述第四边框相邻的第一非图形区域，以及与所述第二边框相邻的第二非图形区域；

31、多个所述第二掩膜开口在所述第一非图形区域内同时沿所述第一方向和所述第二方向排列，多个所述第二掩膜开口在所述第二非图形区域内同时沿所述第一方向和所述第二方向排列；

32、优选地，在所述第一非图形区域内，多个所述第二掩膜开口的尺寸从所述第二边框至所述第四边框方向逐渐变小；

33、在所述第二非图形区域内，多个所述第二掩膜开口的尺寸从所述第四边框至所述第二边框方向逐渐变小；

34、优选地，沿所述第二方向，每排所述第二掩膜开口的中心与对应的所述第一掩膜开口的中心位于同一条直线上；

35、优选地，所述第一掩膜开口的形状包括圆形和倒角矩形中的一种或多种；

36、和/或，所述第二掩膜开口的形状包括圆形和倒角矩形中的一种或多种。

37、基于同样的发明构思，本技术还公开了一种蒸镀设备，其包括上述任意一项所述的掩膜版或者蒸镀用掩膜版。

38、与现有技术相比，本技术提供的掩膜版，其掩膜本体包括多个非图形区域和多个图形区域，非图形区域和图形区域沿第一方向延伸且沿第二方向交替排布，图形区域包括沿第一方向排布的多个蒸镀区域，每个蒸镀区域对应一个显示面板的显示区域，每个蒸镀区域设置有多个第一掩膜开口，每个非图形区域设置有多个第二掩膜开口；其中，在非图形区域设置第二掩膜开口，有利于减少掩膜版褶皱，提升掩膜版的平整度。同时，第二掩膜开口的尺寸小于第一掩膜开口的尺寸，有利于提升掩膜版的强度，降低掩膜版受损风险。