传感器安装装置、传感器模块和沉积设备的制作方法

本公开的实施方式涉及传感器安装装置、传感器模块和沉积设备，并且更具体地，例如但不限于，涉及其中减少用于更换多个传感器的周期的传感器模块、传感器安装装置和沉积设备。

背景技术：

1、随着先进信息技术的时代的到来，视觉上表示电信息信号的显示技术领域正在变得越来越薄、越来越轻和越来越高性能的方向上发展。

2、这种显示装置通过以矩阵形式排列多个像素来显示图像。这里，每个像素包括发光元件和由用于独立地驱动发光元件的多个晶体管组成的像素驱动电路。

3、近来，已经积极地进行了对更薄和更轻的显示面板的研究。还正在进行使用有机发光显示器使显示面板弯折、折叠或展开的显示装置的开发。

4、在相关技术部分的讨论中提供的描述不应因为它在该部分中被提及或与该部分相关联而被认为是现有技术。相关技术部分的讨论可以包括描述主题技术的一个或更多个方面的信息，并且该部分中的描述不限制本公开。

技术实现思路

1、为了制造这种有机发光显示器，执行沉积有机材料的沉积工艺。随着有机材料长时间暴露于内部压力和热能，有机材料变形，并且相应地引起了关于面板性能差异的问题。

2、在沉积工艺期间，可以根据有机材料的蒸发量来确定沉积是否正常执行。用于确定沉积是否正常执行的传感器可以包括在沉积设备中。

3、然而，在沉积工艺期间由于诸如传感器的寿命终止之类的原因，可能需要更换传感器。此外，操作者可能必须手动安装传感器。

4、本公开的示例实施方式可以提供其中减少了用于更换多个传感器的周期的传感器模块、传感器安装装置和沉积设备。

5、本公开的示例实施方式可以提供其中操作者不手动安装多个传感器的传感器模块、传感器安装装置和沉积设备。

6、根据本公开的示例性实施方式的传感器安装装置可以包括：多个传感器，所述多个传感器被配置为识别被沉积的材料的质量变化；第一保持器，所述第一保持器包括与所述多个传感器交叠的多个第一开口；第二保持器，所述第二保持器包括与所述多个传感器交叠的多个第二开口；以及盘，多个传感器位于所述盘上，所述盘包括多个第三开口并且位于所述第一保持器与所述第二保持器之间，所述多个第三开口对应于所述多个传感器的相应形状。所述多个第三开口可以分别与所述多个第一开口和所述多个第二开口交叠，并且可以设置在所述盘中具有第一环形形状的第一区域中。

7、根据本公开的示例实施方式的传感器模块可以包括：转盘，所述转盘包括盘和安装在所述盘上的多个传感器；第一轴，所述转盘联接到所述第一轴；马达，所述马达被配置为使所述第一轴旋转；以及壳体，所述壳体设置在所述转盘上并且包括与所述多个传感器当中的至少一个传感器交叠的开口。

8、根据本公开的示例实施方式的沉积设备可以包括：腔室；传感器模块，所述传感器模块设置在所述腔室内并且包括转盘和壳体，所述转盘包括盘和安装在所述盘上的多个传感器，所述壳体设置在所述转盘上并且包括与所述多个传感器中的至少一个传感器交叠的开口；以及坩埚，所述坩埚设置在所述腔室内并且包含将在所述腔室内沉积在基板上的沉积材料。

9、根据本公开的示例实施方式的传感器模块、传感器安装装置和沉积设备可以减少用于更换多个传感器的周期。

10、根据本公开的示例实施方式的传感器模块、传感器安装装置和沉积设备可以不手动安装多个传感器。

11、根据本公开的示例实施方式，通过提供具有减少的传感器更换周期的传感器安装装置，可以提供能够最小化预防性维护（preventive maintenance，pm）的次数并且以环保方式增加连续的批量生产周期的传感器安装装置。

12、应当理解，本公开的前述一般描述和以下详细描述都是示例性和说明性的，并且旨在提供对所要求保护的本公开的进一步解释。

1.一种传感器安装装置，所述传感器安装装置包括：

2.根据权利要求1所述的传感器安装装置，其中，所述第一保持器还包括第一中心孔，所述第二保持器还包括与所述第一中心孔交叠的第二中心孔，并且所述盘还包括与所述第二中心孔交叠的第三中心孔，并且

3.根据权利要求2所述的传感器安装装置，其中，所述多个第三开口被另外设置在所述盘的第二区域中，其中，所述第二区域具有第二环形形状并且位于所述第一区域与所述第三中心孔之间。

4.根据权利要求3所述的传感器安装装置，其中，所述多个第三开口被另外设置在所述盘的第三区域中，其中，所述第三区域具有第三环形形状并且位于所述第二区域与所述第三中心孔之间。

5.根据权利要求4所述的传感器安装装置，

6.根据权利要求3所述的传感器安装装置，

7.根据权利要求3所述的传感器安装装置，

8.根据权利要求7所述的传感器安装装置，其中，所述第二保持器还包括：

9.根据权利要求8所述的传感器安装装置，其中，所述弹性电极包括：

10.根据权利要求7所述的传感器安装装置，所述传感器安装装置还包括紧固部，

11.根据权利要求7所述的传感器安装装置，其中，所述盘由铜、不锈钢和铁当中的至少一种形成。

12.根据权利要求7所述的传感器安装装置，其中，所述多个传感器中的每一者包括：

13.根据权利要求1所述的传感器安装装置，其中，所述盘由具有弹性的金属或合金形成。

14.一种传感器模块，所述传感器模块包括：

15.根据权利要求14所述的传感器模块，其中，所述转盘还包括：

16.根据权利要求15所述的传感器模块，其中，

17.根据权利要求15所述的传感器模块，其中，

18.根据权利要求15所述的传感器模块，其中，所述第二保持器还包括：

19.根据权利要求14所述的传感器模块，其中，所述多个传感器被分别设置在所述盘的具有第一环形形状的第一区域和所述盘的具有位于所述第一环形形状内的第二环形形状的第二区域上。

20.根据权利要求19所述的传感器模块，其中，所述壳体的所述开口包括一个开口和另一开口，所述一个开口与具有所述第一环形形状的所述第一区域中的所述多个传感器中的至少一个传感器交叠，并且所述另一开口与具有所述第二环形形状的所述第二区域中的所述多个传感器中的至少一个传感器交叠。

21.一种沉积设备，所述沉积设备包括：