一种蚀刻液组分的在线监测装置的制作方法

本技术涉及蚀刻，具体涉及一种蚀刻液组分的在线监测装置。

背景技术：

1、蚀刻是使用化学反应或物理撞击作用将材料移除的技术，蚀刻技术可以分为湿法蚀刻和干法蚀刻两类。

2、湿法蚀刻中不同蚀刻液的选择对蚀刻速率、蚀刻后材料的表面性质(主要是表面粗糙度)、晶面取向、择优溶解等有很大影响。针对需达到的不同目标，蚀刻液存在无机酸体系、有机酸体系、无机-有机混酸体系及其它体系，同时为保证蚀刻效果的优异性还会在具体工艺中调整蚀刻液中不同成分的比例。

3、在循环反应多次后，随着有效关键组分的损耗，反应速率直线下降，无法满足产品规格，在达到一定循环次数后只能将其作为废液排放。这直接导致该蚀刻工艺的原料消耗增加，废液处理成本增高，严重降低该产业线的利润。

4、目前，现有技术采用补加关键组分的方式进行延长蚀刻的寿命，然而补加多为定时定量的补加，而非实时调控。因此，对蚀刻液中重要组分含量进行在线检测，并通过智能优化计算，定期对蚀刻液关键组分进行补充，实现其再生与循环，可大大提高蚀刻液的利用率。

技术实现思路

1、鉴于现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种蚀刻液组分的在线监测装置，以实现对蚀刻液组成的实时监控，从而实现蚀刻液组成的动态调整，保证最终的蚀刻效果。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、本实用新型提供了一种蚀刻液组分的在线监测装置，所述在线监测装置包括：

4、通过样品管路依次连接的ph值测量端、电位滴定端和uv测量端；

5、所述ph值测量端配置有样品液进入口和样品液回流口；

6、所述ph值测量端、电位滴定端和uv测量端与蚀刻液调配端通过控制中心相连接。

7、本实用新型提供的在线监测装置能够实现对蚀刻液组分的在线监测，通过对蚀刻液的组分进行实时调控，以保证蚀刻过程的稳定进行。

8、作为本实用新型优选的技术方案，所述电位滴定端配置有至少2个滴定试剂端。

9、作为本实用新型优选的技术方案，所述电位滴定端配置有清洗端。

10、作为本实用新型优选的技术方案，所述电位滴定端配置有废液排放口。

11、作为本实用新型优选的技术方案，所述uv测量端配置有废液排放口。

12、作为本实用新型优选的技术方案，所述蚀刻液调配端包括：蚀刻液补充单元。

13、作为本实用新型优选的技术方案，所述在线监测装置还包括：报警设备。

14、作为本实用新型优选的技术方案，所述报警设备包括：剂量报警设备、漏液报警设备和温度报警设备。

15、作为本实用新型优选的技术方案，所述剂量报警设备包括：用于检测液位的液位检测设备和声光报警设备；

16、所述漏液报警设备包括：用于检测漏液的漏液检测设备和声光报警设备；

17、所述温度报警设备包括：用于检测温度的温度检测设备和声光报警设备。

18、作为本实用新型优选的技术方案，所述控制中心配置有报警显示端。

19、与现有技术方案相比，本实用新型具有以下有益效果：

20、本实用新型提供的在线监测装置通过利用紫外可见分光光度计、ph计、自动电位滴定仪等几种设备的组合，利用通讯信号线与wet机台、主设备或dcs控制系统连接，实现铜酸蚀刻液中各组分的浓度的实时监测，便于补充包的添加、药液寿命的监控、数据的记录统计，减少人工成本。

1.一种蚀刻液组分的在线监测装置，其特征在于，所述在线监测装置包括：

2.如权利要求1所述的在线监测装置，其特征在于，所述电位滴定端配置有至少2个滴定试剂端。

3.如权利要求1所述的在线监测装置，其特征在于，所述电位滴定端配置有清洗端。

4.如权利要求1所述的在线监测装置，其特征在于，所述电位滴定端配置有废液排放口。

5.如权利要求1所述的在线监测装置，其特征在于，所述uv测量端配置有废液排放口。

6.如权利要求1所述的在线监测装置，其特征在于，所述蚀刻液调配端包括：蚀刻液补充单元。

7.如权利要求1所述的在线监测装置，其特征在于，所述在线监测装置还包括：报警设备。

8.如权利要求7所述的在线监测装置，其特征在于，所述报警设备包括：剂量报警设备、漏液报警设备和温度报警设备。

9.如权利要求8所述的在线监测装置，其特征在于，所述剂量报警设备包括：用于检测液位的液位检测设备和声光报警设备；

10.如权利要求1所述的在线监测装置，其特征在于，所述控制中心配置有报警显示端。