基于无源RFID湿度传感的真空包装密封检测系统及方法与流程

本发明涉及真空包装密封性检测领域，特别涉及一种基于无源rfid湿度传感的真空包装密封检测系统及方法。

背景技术：

1、在cp测试完成后，晶圆（通常为12英寸或8英寸）被收纳于晶舟盒，随后通常采用铝箔真空袋进行包装，最后装入外箱出货，防止晶圆在运输和存储过程中受潮氧化。现有铝箔袋密封性检测方法主要包括以下类型：静置观察法和机械加压测距法。

2、静置观察法是将抽完真空的物料，依据抽完真空的时间，静置30分钟，人工观察是否有漏气，没有漏气进行装纸箱包装，采用该方法时，当抽真空机异常或铝箔袋本身有微小裂痕孔洞时，铝箔袋缓慢漏气，30分钟肉眼观察铝箔袋外观并无明显异常，而且该方法依赖人工操作，效率低、易漏检。

3、机械加压测距法，在密闭包装完成且经过一定时间后，用垫对袋体的至少1个侧面进行加压；使用设置在袋体上端部上方的传感器，在加压状态下测定袋体上端部与传感器的距离变化；基于测定的距离变化判定袋体是否存在针孔或脱气不良。但是需要机械加压装置和位移传感器，设备复杂、成本较高；而且属于逐袋单次检测，无法实现批量自动化读取。

4、综合以上现有技术，目前晶圆铝箔袋包装密封性检测领域存在以下共同的技术缺陷：检测方式均为接触式或破坏性检测：现有技术均需通过物理接触（加压测距、人工目视）来判定密封性，无法实现非接触式批量读取；效率低下，现有方案均为逐袋检测，无法适应大批量生产场景的全检需求。

技术实现思路

1、本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中存在的技术问题之一。

2、本发明的目的在于提供一种真空包装密封性检测方法，实现批量化非接触式检测。

3、为了达到上述目的，本发明一方面提供一种基于无源rfid湿度传感的真空包装密封检测系统，包括：

4、无源rfid湿度模块，设置有湿度传感器，并将该模块设置于真空包装预设位置，用于通过读写装置射频信号供电感知真空包装内湿度；

5、读写装置，用于按时通过射频信号为无源rfid湿度模块供电读取真空包装内湿度值并将其与当前时间戳发给数据处理模块；

6、数据处理模块，用于接收真空包装袋内各时间点湿度值，并根据真空包装内湿度值及其变化判断真空包装密封情况。

7、作为优选，所述无源rfid湿度模块设置有唯一身份信息。

8、作为优选，所述读写装置包括固定式读写器和手持式读写器。

9、作为优选，其特征在于，所述读写装置还用于读取无源rfid湿度模块的身份信息，并将其发给数据处理模块。

10、本发明另一方面提供一种基于无源rfid湿度传感的真空包装密封检测方法，包括如下步骤：

11、s1、将无源rfid湿度模块设置于待抽真空操作包装预定位置，并对包装进行抽真空操作；

12、s2、获取真空包装内初始湿度值，并将其与第二预设湿度值作对比，当时，真空包装确认泄漏，当时，转入步骤s3；

13、s3、以预设时间间隔持续获取真空包装内湿度值，，同时计算湿度变化速率，并将二者分别与第二预设湿度值和第二预设湿度变化速率作对比，当或时，真空包装确认泄漏，否则，转入步骤s4，湿度变化速率的具体计算公式如下：

14、

15、

16、

17、其中，为初始时间到时间的时间间隔，表示时间间隔真空包装内湿度变化量，为时间间隔真空包装内湿度变化速率；

18、s4、获取时刻真空包装内湿度值及对应的湿度变化速率，将二者分别与第一、第二预设湿度值和第一、第二预设湿度变化速率作对比，获取真空包装密封情况，具体为：

19、当或时，真空包装确认泄漏；

20、当< < 或< < 时，真空包装疑似泄漏；

21、当且时，真空包装密封良好；

22、其中，分别为第一预设湿度值和第一预设湿度变化速率，< ，<。

23、作为优选，当真空包装疑似泄漏时，重复步骤s2-s4，直至确认真空包装处于泄漏状态或密封良好状态。

24、作为优选，当真空包装疑似泄漏时，重复步骤s1-s4，直至确认真空包装密封良好。

25、作为优选，当真空包装确认泄漏时，重复步骤s1-s4，直至确认真空包装密封良好。

26、本发明再一方面提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机指令，该计算机指令使计算机执行上述真空包装密封检测方法。

27、本发明最后一方面提供一种电子设备，包括：处理器、通信接口、存储器和通信总线，其中，处理器，通信接口，存储器通过通信总线完成相互间的通信，处理器调用存储器中的逻辑指令，以执行上述真空包装密封检测方法。

28、有益效果：本发明通过无源rfid湿度模块、读写装置和数据处理模块的协同工作，基于对真空包装内湿度值的监控，实现了对批量真空包装密封性的无接触批量化检测；同时引入动静态阈值的双重联动判断算法，基于真空包装内静态湿度值和动态湿度变化速率，提高了真空包装密封性检测的灵敏度和可靠性。

1.一种基于无源rfid湿度传感的真空包装密封检测系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于无源rfid湿度传感的真空包装密封检测系统，其特征在于，所述无源rfid湿度模块设置有唯一身份信息。

3.根据权利要求2所述的基于无源rfid湿度传感的真空包装密封检测系统，其特征在于，所述读写装置包括固定式读写器和手持式读写器。

4.根据权利要求3所述的基于无源rfid湿度传感的真空包装密封检测系统，其特征在于，所述读写装置还用于读取无源rfid湿度模块的身份信息，并将其发给数据处理模块。

5.一种应用权利要求1-4任一项所述系统的基于无源rfid湿度传感的真空包装密封检测方法，其特征在于，包括如下步骤：

6.根据权利要求5所述的基于无源rfid湿度传感的真空包装密封检测方法，其特征在于，当真空包装疑似泄漏时，重复步骤s2-s4，直至确认真空包装处于泄漏状态或密封良好状态。

7.根据权利要求5所述的基于无源rfid湿度传感的真空包装密封检测方法，其特征在于，当真空包装疑似泄漏时，重复步骤s1-s4，直至确认真空包装密封良好。

8.根据权利要求5所述的基于无源rfid湿度传感的真空包装密封检测方法，其特征在于，当真空包装确认泄漏时，重复步骤s1-s4，直至确认真空包装密封良好。

9.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机指令，该计算机指令使计算机执行权利要求5所述的真空包装密封检测方法。

10.一种电子设备，包括：处理器、通信接口、存储器和通信总线，其中，处理器，通信接口，存储器通过通信总线完成相互间的通信，处理器调用存储器中的逻辑指令，以执行权利要求5所述的真空包装密封检测方法。