扫描探针显微镜及其控制方法与流程

本发明涉及扫描探针显微镜，具体而言，涉及扫描探针显微镜中的漂移。

背景技术：

1、关于扫描探针显微镜，在测量期间发生的探针与样品之间的位置关系的偏差被认为是漂移。

2、以往，提出了各种用于减少在使用扫描探针显微镜的测量中漂移的影响的技术。例如，日本特开2007-278896号公报（专利文献1）公开了一种利用样品的表面形状的三维信息和针对温度漂移的校正数据的扫描探针显微镜。该扫描探针显微镜获取样品的三维信息，基于该三维信息和校正数据计算探针扫描轨迹，并按照该探针扫描轨迹移动探针。

3、此外，日本特开2016-032290号公报（专利文献2）公开了一种扫描探针显微镜的漂移校正方法。该方法由第一工序至第四工序构成。在第一工序中，通过使探针沿着样品表面上的扫描线扫描，来实施沿着该扫描线的形状测量，并使探针移动至下一条扫描线，重复这些操作。在第二工序中，在第一工序中的沿着特定的扫描线的形状测量结束后，通过使探针沿着相对于样品表面预先设定的参照形状测量用扫描线扫描，从而测量沿着该扫描线的参照形状。在第三工序中，通过将第二工序的本次的参照形状测量结果与以前的参照形状测量结果进行对比，从而对由于两者之间的时间推移而产生的漂移量进行运算。并且，在第四工序中，基于在第三工序中计算的漂移量，对在第一工序中得到的本次的形状测量结果进行校正。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、【专利文献1】日本特开2007-278896号公报

7、【专利文献2】日本特开2016-032290号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、在上述的现有技术中，根据发生的漂移来生成用于校正的数据。另一方面，如果发生的漂移的量过大，可能会产生仅靠利用用于校正的数据无法避免的问题。例如，如果漂移的量过大而导致探针过于靠近样品，则可能会产生在扫描中探针和/或样品受到损伤的问题。如果漂移过大而导致探针和样品离得过远，则可能会产生测量结果没有意义的问题。

3、本发明是鉴于上述实际情况而构思出的，其目的在于提供一种用于在扫描探针显微镜中更可靠地避免可能因漂移产生的问题的技术。

4、用于解决上述技术问题的方案

5、根据本公开的某一方面所述的扫描探针显微镜具备：包含测量用探针的测量单元；以及控制测量单元的控制器，控制器在获取了用于开始测量的指示的情况下，确定在获取了指示的时机开始测量时测量中的漂移量的总和的预测值，预测值基于规定漂移量的时间变化的参照信息，控制器在预测值小于预先设定的阈值的情况下，开始测量，在预测值在阈值以上的情况下，避免开始测量。

6、根据本公开的某一方面所述的扫描探针显微镜的控制方法是由计算机实施的扫描探针显微镜的控制方法，包括：获取用于开始测量的指示的步骤；计算在获取了指示的时机开始测量时测量中的漂移量的总和的预测值的步骤；以及基于预测值来判断是否开始测量的步骤，预测值基于规定漂移量的时间变化的参照信息，在判断的步骤中，在预测值小于预先设定的阈值的情况下，开始测量，在预测值在阈值以上的情况下，避免开始测量。

7、发明效果

8、根据本公开的某一方面，提供了一种用于在扫描探针显微镜中更可靠地避免可能因漂移产生的问题的技术。

1.一种扫描探针显微镜，具备：

2.如权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中，

3.如权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中，

4.如权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中，

5.如权利要求4所述的扫描探针显微镜，其中，

6.如权利要求5所述的扫描探针显微镜，其中，

7.如权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中，

8.如权利要求7所述的扫描探针显微镜，其中，

9.如权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中，

10.一种扫描探针显微镜的控制方法，是由计算机实施的扫描探针显微镜的控制方法，包括：

11.如权利要求10所述的扫描探针显微镜的控制方法，其中，进一步包括：

12.如权利要求10所述的扫描探针显微镜的控制方法，其中，进一步包括：

13.如权利要求10所述的扫描探针显微镜的控制方法，其中，

14.如权利要求13所述的扫描探针显微镜的控制方法，其中，进一步包括获取所述测量的条件的步骤，

15.如权利要求14所述的扫描探针显微镜的控制方法，其中，

16.如权利要求10所述的扫描探针显微镜的控制方法，其中，进一步包括基于分别对应于多个时机的多个漂移量生成所述参照信息的步骤。

17.如权利要求16所述的扫描探针显微镜的控制方法，其中，

18.如权利要求10所述的扫描探针显微镜的控制方法，其中，进一步包括：