一种碳化硅芯片测试用可调节支架的制作方法

本技术涉及碳化硅芯片测试领域，特别涉及一种碳化硅芯片测试用可调节支架。

背景技术：

1、碳化硅芯片是一种基于碳化硅材料的半导体芯片，属于第三代半导体器件。它具有禁带宽、漂移速度快、击穿电压高、热导率高、耐高温等优良特性。

2、在对碳化硅芯片进行测试时，有时需要对碳化硅芯片进行翻转，以测试碳化硅芯片正反两面及不同角度性能。当需要检测碳化硅芯片单侧表面（如背面金属层或边缘电路）时，则需使碳化硅芯片该侧完全暴露。以往在对碳化硅芯片进行检测时，要么是对碳化硅芯片进行夹持，此时碳化硅芯片表面被遮挡，导致对碳化硅芯片表面不能进行完全检测。要么是将碳化硅芯片平放，此时不可对碳化硅芯片进行翻转，存在掉落风险。现有支架难以同时满足使碳化硅芯片翻转，以及使碳化硅芯片单侧表面完全暴露两种工况。

3、为此，本实用新型提出一种碳化硅芯片测试用可调节支架。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种碳化硅芯片测试用可调节支架，可以解决现有技术中现有支架难以同时满足使碳化硅芯片翻转，以及使碳化硅芯片单侧表面完全暴露两种工况的问题。

2、一种碳化硅芯片测试用可调节支架，包括：

3、底座、夹持件、移动件以及翻转件。夹持件设置在底座上方，用于对碳化硅芯片进行夹持；夹持件关于底座对称设置有两组；夹持件包括底板；底板上固定设有立板；立板上开设有通槽；通槽内配合设有基板；基板上设有下压件；下压件下端设有压板；通槽可供基板和压板通过。移动件设置在底座上，用于带动两组夹持件相对移动。翻转件设置在移动件和夹持件之间，用于带动夹持件翻转。

4、优选的，下压件包括固定连接在基板上端的套筒；套筒内滑动连接有滑杆；滑杆与套筒顶端之间连接有弹簧；滑杆下端贯穿基板并与压板固定连接。

5、优选的，两侧立板相背的一端均固定设有凸板；凸板上开设有滑槽二；基板的侧壁固定设有滑块二；滑块二滑动连接在滑槽二内。

6、优选的，立板为弧形。

7、优选的，两侧立板相对的一端均匀设有多个吸盘。

8、优选的，底板上端和压板下端均设有防滑垫。

9、优选的，压板的侧壁固定设有连接板。

10、优选的，底座上开设有滑槽一；滑槽一内壁转动连接有双向丝杆；双向丝杆内壁还设有电机一；电机一的驱动端与双向丝杆的一端连接；双向丝杆上设有两个滑块一。

11、优选的，两个滑块一关于双向丝杆对称设置。

12、优选的，翻转件包括固定连接在两个滑块一上端的两个立架；一侧立架上设有电机二；电机二的驱动端连接有主动轮；主动轮的一侧啮合连接有从动轮；主动轮与从动轮均转动连接在立架侧壁处；从动轮通过转轴与对应侧底板固定连接；另一侧立架通过转轴与对应侧底板转动连接。

13、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益的技术效果：

14、该碳化硅芯片测试用可调节支架，包括底板；底板上固定设有立板；立板上开设有通槽；通槽内配合设有基板；基板上设有下压件；下压件下端设有压板；通槽可供基板和压板通过。通过测试时，基板和压板从垂直方向对称施力，形成封闭式固定空间，确保碳化硅芯片在翻转、移动等操作中不会因惯性或外力脱落。当需要检测碳化硅芯片单侧表面（如背面金属层或边缘电路）时，可快速移开基板，使碳化硅芯片该侧完全暴露，实现无遮挡观测，提升了操作灵活性，使该碳化硅芯片测试用可调节支架可适应不同工序检测需求。

1.一种碳化硅芯片测试用可调节支架，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅芯片测试用可调节支架，其特征在于，下压件包括固定连接在基板（46）上端的套筒（47）；套筒（47）内滑动连接有滑杆（48）；滑杆（48）与套筒（47）顶端之间连接有弹簧（49）；滑杆（48）下端贯穿基板（46）并与压板（410）固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅芯片测试用可调节支架，其特征在于，两侧立板（42）相背的一端均固定设有凸板（412）；凸板（412）上开设有滑槽二（413）；基板（46）的侧壁固定设有滑块二（414）；滑块二（414）滑动连接在滑槽二（413）内。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅芯片测试用可调节支架，其特征在于，立板（42）为弧形。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅芯片测试用可调节支架，其特征在于，两侧立板（42）相对的一端均匀设有多个吸盘（45）。

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅芯片测试用可调节支架，其特征在于，底板（41）上端和压板（410）下端均设有防滑垫（44）。

7.根据权利要求6所述的一种碳化硅芯片测试用可调节支架，其特征在于，压板（410）的侧壁固定设有连接板（411）。

8.根据权利要求1所述的一种碳化硅芯片测试用可调节支架，其特征在于，底座（1）上开设有滑槽一（21）；滑槽一（21）内壁转动连接有双向丝杆（22）；双向丝杆（22）内壁还设有电机一（23）；电机一（23）的驱动端与双向丝杆（22）的一端连接；双向丝杆（22）上设有两个滑块一（24）。

9.根据权利要求8所述的一种碳化硅芯片测试用可调节支架，其特征在于，两个滑块一（24）关于双向丝杆（22）对称设置。

10.根据权利要求9所述的一种碳化硅芯片测试用可调节支架，其特征在于，翻转件（3）包括固定连接在两个滑块一（24）上端的两个立架（31）；一侧立架（31）上设有电机二（32）；电机二（32）的驱动端连接有主动轮（33）；主动轮（33）的一侧啮合连接有从动轮（34）；主动轮（33）与从动轮（34）均转动连接在立架（31）侧壁处；从动轮（34）通过转轴与对应侧底板（41）固定连接；另一侧立架（31）通过转轴与对应侧底板（41）转动连接。