一种单晶炉抽真空系统的制作方法

本技术属于太阳能电池制造，尤其涉及一种单晶炉抽真空系统。

背景技术：

1、在单晶硅生产过程中，复投阶段需要对单晶炉副室进行抽真空操作。当前行业内普遍采用"一台干泵对应多台单晶炉"的共用模式，通过抽真空管道将干泵与多个单晶炉副室连接。这种配置方式虽然降低了设备成本，但在实际运行中存在严重的技术缺陷：当某台单晶炉副室压力接近极限真空度时，若其他单晶炉副室突然开启抽真空操作，会导致管道内气体发生逆向流动。这种气体倒流现象不仅会造成已接近极限真空度的炉台压力上升，更严重的是会将管道内残留的杂质颗粒带入副室，直接影响晶棒的产品质量和成品率。

2、为解决这一问题，现有技术主要采用两种方案：第一种是为每台单晶炉单独配置一台干泵，这种方式虽然避免了气体倒流问题，但造成了严重的设备资源浪费，单台干泵的实际利用率不足20％，大幅增加了设备投资成本；第二种是通过人工协调各单晶炉的复投时间，但由于单晶生长工艺受断线、设备故障等多种因素影响，实际操作中难以精确控制各炉台的抽真空时序，不仅增加了生产管理难度，还可能导致干锅变形等设备问题，严重影响生产效率和产品质量。

技术实现思路

1、本实用新型实施例提供的单晶炉抽真空系统，旨在解决现有的单晶炉抽真空系统在抽真空过程中存在气流倒流的情况，容易污染晶棒的技术问题。

2、本实用新型实施例是这样实现的，一种单晶炉抽真空系统，其包括：

3、干泵；

4、至少两个单晶炉，每个所述单晶炉通过抽真空管道与所述干泵连接；

5、单向阀，所述单向阀设置于所述抽真空管道且设置于其出气方向，在所述干泵给所述单晶炉抽真空的情况下，所述单向阀打开，气体在所述抽真空管道内，自所述单晶炉朝向所述干泵的方向流动，在所述干泵关闭工作的情况下，所述单向阀关闭，以阻止气体在所述抽真空管道内，自所述干泵朝向所述单晶炉的方向流动。

6、更进一步地，所述单晶炉抽真空系统还包括球阀，所述球阀设置于所述抽真空管道，所述单向阀设置于所述球阀的出气方向。

7、更进一步地，所述单向阀包括：

8、导气管道，所述导气管道为两端贯通的中空管状结构；

9、密封盖，所述密封盖设置于所述导气管道的出气端；和

10、铰链，所述密封盖包括活动端以及连接端，所述连接端通过所述铰链与所述导气管道铰接，以使所述密封盖的活动端能够相对所述导气管道转动以打开或关闭所述导气管道。

11、更进一步地，在安装所述单向阀的情况下，所述铰链的位置朝上；

12、在所述密封盖两侧的压力平衡的情况下，所述密封盖在重力的作用下关闭所述导气管道。

13、更进一步地，所述导气管道内环绕设置有承接台，所述承接台的尺寸与所述密封盖的尺寸相适配。

14、更进一步地，所述密封盖的材质为不锈钢，其厚度小于1mm。

15、更进一步地，所述单向阀还包括密封圈，所述承接台上设置有嵌合槽，所述嵌合槽环形设置，所述密封圈设置于所述嵌合槽。

16、更进一步地，所述密封圈至少部分露出于所述承接台的表面，所述密封盖靠近所述密封圈的一侧设置有向内凹陷的环形槽，所述环形槽与所述密封圈相适配，在所述密封盖关闭所述导气管道的情况下，所述密封圈至少部分位于所述环形槽内。

17、更进一步地，所述密封圈采用耐高温的氟橡胶制成。

18、更进一步地，所述密封圈的截面为o型。

19、本实用新型所达到的有益效果，由于干泵和至少两个单晶炉(多个)通过抽真空管道连接，所以一台干泵可以对应多台单晶炉，经济效应更高；由于在抽真空管道的出气方向(单晶炉朝向干泵的气流方向)设置有单向阀，在干泵关闭时自动关闭抽真空管道，有效阻止气体逆向流动，避免杂质颗粒倒流至单晶炉，具有防止气体倒流、提高晶棒质量、降低设备成本的优点。

1.一种单晶炉抽真空系统，其特征在于，其包括：

2.如权利要求1所述的单晶炉抽真空系统，其特征在于，所述单晶炉抽真空系统还包括球阀，所述球阀设置于所述抽真空管道，所述单向阀设置于所述球阀的出气方向。

3.如权利要求2所述的单晶炉抽真空系统，其特征在于，所述单向阀包括：

4.如权利要求3所述的单晶炉抽真空系统，其特征在于，在安装所述单向阀的情况下，所述铰链的位置朝上；

5.如权利要求4所述的单晶炉抽真空系统，其特征在于，所述导气管道内环绕设置有承接台，所述承接台的尺寸与所述密封盖的尺寸相适配。

6.如权利要求5所述的单晶炉抽真空系统，其特征在于，所述密封盖的材质为不锈钢，其厚度小于1mm。

7.如权利要求5所述的单晶炉抽真空系统，其特征在于，所述单向阀还包括密封圈，所述承接台上设置有嵌合槽，所述嵌合槽环形设置，所述密封圈设置于所述嵌合槽。

8.如权利要求7所述的单晶炉抽真空系统，其特征在于，所述密封圈至少部分露出于所述承接台的表面，所述密封盖靠近所述密封圈的一侧设置有向内凹陷的环形槽，所述环形槽与所述密封圈相适配，在所述密封盖关闭所述导气管道的情况下，所述密封圈至少部分位于所述环形槽内。

9.如权利要求8所述的单晶炉抽真空系统，其特征在于，所述密封圈采用耐高温的氟橡胶制成。

10.如权利要求9所述的单晶炉抽真空系统，其特征在于，所述密封圈的截面为o型。