一种单晶炉余热回收装置的制作方法
本发明属于单晶炉，具体的说是一种单晶炉余热回收装置。
背景技术：
1、单晶炉是一种核心的半导体设备，其功能是在惰性气体环境中通过加热将多晶硅等原料熔化，并通过直拉法工艺生长出高纯度、无位错的单晶硅棒，传统的单晶炉生产流程中，在晶体生长完成后需要进行停炉冷却阶段，这一阶段通常会产生大量的余热。
2、在传统的单晶炉停炉冷却过程中，热能通常通过传统的自然冷却或冷却水循环来进行处理，自然冷却指的是将热炉内元件的热量直接散发到环境大气中，而冷却水循环则是通过循环流动的循环冷却水对余热进行带走。
3、在半导体工业中，单晶炉的主要任务是生产单晶硅，这是制造集成电路和其他半导体产品的重要步骤，传统为了有效且精确地控制晶体生长过程的温度，炉体通过循环使用冷却水来实现，这种方式不仅能够提高生产效率，还能够在温度控制方面做得更加精准，然而，在单晶炉停炉冷却阶段，冷却水循环会将大量的余热带走，进而容易导致大量能源的浪费。
4、为此，本发明提供一种单晶炉余热回收装置。
技术实现思路
1、为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。
2、本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种单晶炉余热回收装置，包括炉体和石墨锅；所述石墨锅安装在炉体的底端内部；还包括回收箱，且回收箱固接在炉体的外部；所述回收箱与炉体之间固接有通热管；所述通热管上固接有一号电多通阀，且一号电多通阀位于回收箱的内部；所述回收箱的内部固接有蓄热箱，且蓄热箱通过一号短管与一号电多通阀相连通；所述一号电多通阀上固接有一号导热管；所述一号导热管远离一号电多通阀的一端固接有二号电多通阀；所述回收箱的底端内部固接有热料箱，热料箱内开设有预热腔，蓄热箱位于热料箱的上方，且热料箱的预热腔通过二号短管与二号电多通阀相连通；所述热料箱的内壁滑动连接有抽拉盒。
3、优选的，所述二号电多通阀上固接有二号导热管；所述抽拉盒的内部固接有螺纹管，且二号导热管远离二号电多通阀的一端能够与螺纹管的一端相连通；所述抽拉盒的内部靠近螺纹管远离二号导热管的一端开设有送气槽，且送气槽与螺纹管能够相连通。
4、优选的，所述回收箱上靠近热料箱处固接有换热块，且换热块贴合石墨锅的外壁；所述换热块的一侧固接有换热板，且换热板位于预热腔内；所述换热板上固接有多个聚热块，且多个聚热块位于预热腔内。
5、优选的，所述蓄热箱的内壁固接有多个蓄热板，蓄热板的截面形状为s形；所述蓄热板上固接有多个遮流板，多个遮流板分别位于蓄热板的顶面和底面，且多个遮流板的长短不一；所述蓄热板上开设有多个流通孔。
6、优选的，所述炉体上且位于回收箱的上方固接有一号通管；所述一号通管远离炉体的一端固接有预热盒，且预热盒固接在回收箱的顶面；所述预热盒远离一号通管的一端固接有二号通管；所述二号通管远离预热盒的一端固接有三号电多通阀；所述三号电多通阀远离二号通管的一端固接有三号通管；所述预热盒的内壁固接有导热板，导热板由宽板和圆筒所组成，圆筒位于预热盒的内部，宽板位于预热盒、回收箱和蓄热板的内部，且宽板固接在多个蓄热板上。
7、优选的，所述蓄热板和预热盒之间固接有通气管；所述预热盒的内部开设有蓄热腔，且蓄热腔能够通过通气管与蓄热箱相连通。
8、优选的，所述导热板上开设有多个长条槽；所述导热板的宽板上位于顶部位置开设有多个分流槽。
9、优选的，所述回收箱的内部靠近热料箱的上方固接有蓄水箱；所述蓄水箱上分别固接有进水管和出水管，进水管和出水管上均固接有电磁阀；所述蓄热箱与蓄水箱之间固接有四号电多通阀，且蓄热箱能够通过四号电多通阀与蓄水箱相连通；所述蓄热箱的内部靠近四号电多通阀处固接有分隔板。
10、优选的，所述回收箱的内部靠近蓄水箱的上方固接有通气箱；所述通气箱与三号电多通阀之间固接有导气管；所述导气管上位于通气箱的内部固接有一号单向阀；所述通气箱与二号通管之间固接有挤气管；所述挤气管上固接有二号单向阀；所述蓄水箱的顶端开设有通气槽；所述通气箱的内部滑动连接有活塞，且活塞位于通气槽的上方；所述通气箱的内部固接有电缸；所述电缸的输出端固接有连接板，且连接板固接在活塞的一侧。
11、优选的，所述通气箱的内部开设有热流槽；所述四号电多通阀与热流槽之间固接有分气管；所述热流槽的底端与蓄水箱之间固接有回流管，且回流管上固接有三号单向阀。
12、本发明的有益效果如下：
13、1.本发明所述的一种单晶炉余热回收装置，通过在炉体停炉冷却时，开启耐高温的一号电多通阀，炉内余热经通热管、一号短管进入蓄热箱暂存，可供厂区供暖等使用；同时部分余热经一号导热管、二号电多通阀、二号短管送入热料箱的预热腔，对抽拉盒内单晶硅原料进行预热，减少后续加热能耗，实现余热回收，降低能源成本并减少热排放，若无需预热原料，关闭相关阀门，余热全部存入蓄热箱，后续炉体无余热时，可单独开启蓄热箱至热料箱通道，继续利用储存热量预热原料，实现余热跨生产周期利用。
14、2.本发明所述的一种单晶炉余热回收装置，通过在等径阶段需小流量通入氩气，氩气经三号通管、三号电多通阀进入导气管，经一号单向阀存入回收箱内的通气箱，同时，蓄热箱余热经四号电多通阀送入蓄水箱加热水体，水受热膨胀推动浮动活塞上移，压缩氩气腔，将通气箱内的氩气经挤气管、二号单向阀及二号通管压送至炉内，电缸与连接板可辅助推送，但优先利用余热驱动，推送完成后排出热水以及换入冷水，活塞靠自重下落，准备下次接收氩气，该方式无需大功率气泵，利用水体积变化与余热完成小流量氩气增压输送，降低能耗，提升能源利用效率。
1.一种单晶炉余热回收装置，包括炉体和石墨锅；所述石墨锅安装在炉体的底端内部；其特征在于：还包括回收箱，且回收箱固接在炉体的外部；所述回收箱与炉体之间固接有通热管；所述通热管上固接有一号电多通阀，且一号电多通阀位于回收箱的内部；所述回收箱的内部固接有蓄热箱，且蓄热箱通过一号短管与一号电多通阀相连通；所述一号电多通阀上固接有一号导热管；所述一号导热管远离一号电多通阀的一端固接有二号电多通阀；所述回收箱的底端内部固接有热料箱，热料箱内开设有预热腔，蓄热箱位于热料箱的上方，且热料箱的预热腔通过二号短管与二号电多通阀相连通；所述热料箱的内壁滑动连接有抽拉盒。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉余热回收装置，其特征在于：所述二号电多通阀上固接有二号导热管；所述抽拉盒的内部固接有螺纹管，且二号导热管远离二号电多通阀的一端能够与螺纹管的一端相连通；所述抽拉盒的内部靠近螺纹管远离二号导热管的一端开设有送气槽，且送气槽与螺纹管能够相连通。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉余热回收装置，其特征在于：所述回收箱上靠近热料箱处固接有换热块，且换热块贴合石墨锅的外壁；所述换热块的一侧固接有换热板，且换热板位于预热腔内；所述换热板上固接有多个聚热块，且多个聚热块位于预热腔内。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉余热回收装置，其特征在于：所述蓄热箱的内壁固接有多个蓄热板，蓄热板的截面形状为s形；所述蓄热板上固接有多个遮流板，多个遮流板分别位于蓄热板的顶面和底面，且多个遮流板的长短不一；所述蓄热板上开设有多个流通孔。
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉余热回收装置，其特征在于：所述炉体上且位于回收箱的上方固接有一号通管；所述一号通管远离炉体的一端固接有预热盒，且预热盒固接在回收箱的顶面；所述预热盒远离一号通管的一端固接有二号通管；所述二号通管远离预热盒的一端固接有三号电多通阀；所述三号电多通阀远离二号通管的一端固接有三号通管；所述预热盒的内壁固接有导热板，导热板由宽板和圆筒所组成，圆筒位于预热盒的内部，宽板位于预热盒、回收箱和蓄热板的内部，且宽板固接在多个蓄热板上。
6.根据权利要求5所述的一种单晶炉余热回收装置，其特征在于：所述蓄热板和预热盒之间固接有通气管；所述预热盒的内部开设有蓄热腔，且蓄热腔能够通过通气管与蓄热箱相连通。
7.根据权利要求5所述的一种单晶炉余热回收装置，其特征在于：所述导热板上开设有多个长条槽；所述导热板的宽板上位于顶部位置开设有多个分流槽。
8.根据权利要求1所述的一种单晶炉余热回收装置，其特征在于：所述回收箱的内部靠近热料箱的上方固接有蓄水箱；所述蓄水箱上分别固接有进水管和出水管，进水管和出水管上均固接有电磁阀；所述蓄热箱与蓄水箱之间固接有四号电多通阀，且蓄热箱能够通过四号电多通阀与蓄水箱相连通；所述蓄热箱的内部靠近四号电多通阀处固接有分隔板。
9.根据权利要求5所述的一种单晶炉余热回收装置，其特征在于：所述回收箱的内部靠近蓄水箱的上方固接有通气箱；所述通气箱与三号电多通阀之间固接有导气管；所述导气管上位于通气箱的内部固接有一号单向阀；所述通气箱与二号通管之间固接有挤气管；所述挤气管上固接有二号单向阀；所述蓄水箱的顶端开设有通气槽；所述通气箱的内部滑动连接有活塞，且活塞位于通气槽的上方；所述通气箱的内部固接有电缸；所述电缸的输出端固接有连接板，且连接板固接在活塞的一侧。
10.根据权利要求9所述的一种单晶炉余热回收装置，其特征在于：所述通气箱的内部开设有热流槽；所述四号电多通阀与热流槽之间固接有分气管；所述热流槽的底端与蓄水箱之间固接有回流管，且回流管上固接有三号单向阀。