铸锭炉的制作方法

本技术涉及晶硅制造设备领域，尤其是涉及一种铸锭炉。

背景技术：

1、铸锭炉主要用于晶硅铸锭，将硅料高温熔融后再使其冷凝长晶得到硅锭。硅料在高温熔融的状态下，硅液中的杂质一般漂浮在硅液的表面。然而，在硅料铸锭长晶过程中，铸锭炉炉壁与内部热场温度不同，导致坩埚内硅液的热场温度不均匀，使得硅料长晶时的长晶界面不均匀，例如长晶界面中间凹四周凸，硅液中的杂质不易上浮至硅液的表面，导致杂质在硅料长晶的过程中混入硅锭中，使硅锭的纯度降低、品质降低。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种铸锭炉，该铸锭炉容易保持坩埚内硅液的温度均匀，铸锭长晶过程中的长晶界面平整，制备出的硅锭品质较高。

2、根据本实用新型实施例的铸锭炉，包括：炉体；坩埚，所述坩埚设于所述炉体内；保温组件，所述保温组件设于所述炉体内且覆盖于所述坩埚的外部，所述保温组件包括底部保温层，所述底部保温层设于所述坩埚的底面且包括中部保温层和外周保温层，所述外周保温层环绕在所述中部保温层的外周侧；第一调节驱动组件，所述第一调节驱动组件与所述中部保温层连接，以用于驱动所述中部保温层沿上下方向运动；第二调节驱动组件，所述第二调节驱动组件与所述外周保温层连接，以用于驱动所述外周保温层沿上下方向运动。

3、根据本实用新型实施例的铸锭炉，通过将底部保温层分为中部保温层和外周保温层，并使第一调节驱动组件驱动中部保温层沿上下方向运动，第二调节驱动组件驱动外周保温层沿上下方向运动，使中部保温层和外周保温层相对可以独立运动，从而可以根据炉内的热场温度分布情况，打开中部保温层或外周保温层对坩埚底部的中心部位或周向部位进行散热，即散发温度较高位置的热场热量，使坩埚内硅液的热场温度更均匀，铸锭长晶过程中的长晶界面平整，硅液中的杂质更容易上浮至硅液的表面，从而便于硅锭与杂质之间的分离，使制备出的硅锭的纯度较高、品质较高。

4、根据本实用新型的一些实施例，所述中部保温层包括第一中部保温板和第二中部保温板，所述第一中部保温板叠置于所述第二中部保温板的上方，所述第一调节驱动组件包括第一调节驱动机构和第二调节驱动机构；所述第一调节驱动机构包括沿上下方向延伸的第一伸缩杆，所述第一伸缩杆的顶部与所述第一中部保温板连接，以用于驱动所述第一中部保温板沿上下方向运动；所述第二调节驱动机构包括沿上下方向延伸的第二伸缩杆，所述第二伸缩杆的顶部与所述第二中部保温板连接，以用于驱动所述第二中部保温板沿上下方向运动，所述第二中部保温板上设有用于避让所述第一伸缩杆的第一避让孔。

5、根据本实用新型的一些实施例，所述第一中部保温板包括第一中部保温本体和第一中部支撑板，所述第一中部支撑板为金属件且设于所述第一中部保温本体的底面；所述第二中部保温板包括第二中部保温本体和第二中部支撑板，所述第二中部支撑板为金属件且设于所述第二中部保温本体的底面。

6、根据本实用新型的一些实施例，所述第一中部支撑板的厚度与所述第一中部保温本体的厚度比值范围为0.1～0.2，所述第二中部支撑板的厚度与所述第二中部保温本体的厚度比值范围为0.1～0.2；和/或，所述第一中部支撑板与所述第一中部保温本体通过紧固件连接，所述第二中部支撑板与所述第二中部保温本体通过紧固件连接。

7、根据本实用新型的一些实施例，所述第一调节驱动机构为直线气缸，所述第一调节驱动机构的缸体为第一缸体，所述第一缸体位于所述炉体的下方，所述第一伸缩杆穿设于所述炉体的底部，所述第二调节驱动机构为直线气缸，所述第二调节驱动机构的缸体为第二缸体，所述第二缸体位于所述炉体的下方，所述第二伸缩杆穿设于所述炉体的底部；和/或，所述炉体内设有第一导向套筒，所述第一导向套筒位于所述底部保温层的下方且与所述底部保温层在上下方向上间隔开设置，所述第一导向套筒的下端固定于所述炉体的底部，所述第一伸缩杆沿上下方向穿设于所述第一导向套筒，所述炉体内设有第二导向套筒，所述第二导向套筒位于所述底部保温层的下方且与所述底部保温层在上下方向上间隔开设置，所述第二导向套筒的下端固定于所述炉体的底部，所述第二伸缩杆沿上下方向穿设于所述第二导向套筒。

8、根据本实用新型的一些实施例，所述外周保温层包括第一外周保温板和第二外周保温板，所述第一外周保温板叠置于所述第二外周保温板的上方，所述第二调节驱动组件包括第三调节驱动机构和第四调节驱动机构；所述第三调节驱动机构包括沿上下方向延伸的第三伸缩杆，所述第三伸缩杆的顶部与所述第一外周保温板连接，以用于驱动所述第一外周保温板沿上下方向运动；所述第四调节驱动机构包括沿上下方向延伸的第四伸缩杆，所述第四伸缩杆的顶部与所述第二外周保温板连接，以用于驱动所述第二外周保温板沿上下方向运动，所述第二外周保温板上设有用于避让所述第三伸缩杆的第三避让孔。

9、根据本实用新型的一些实施例，所述第一外周保温板包括第一外周保温本体和第一外周支撑板，所述第一外周支撑板为金属件且设于所述第一外周保温本体的底面；所述第二外周保温板包括第二外周保温本体和第二外周支撑板，所述第二外周支撑板为金属件且设于所述第二外周保温本体的底面。

10、根据本实用新型的一些实施例，所述第一外周支撑板的厚度与所述第一外周保温本体的厚度比值范围为0.1～0.2，所述第二外周支撑板的厚度与所述第二外周保温本体的厚度比值范围为0.1～0.2；和/或，所述第一外周支撑板与所述第一外周保温本体通过紧固件连接，所述第二外周支撑板与所述第二外周保温本体通过紧固件连接。

11、根据本实用新型的一些实施例，所述第三调节驱动机构为直线气缸，所述第三调节驱动机构的缸体为第三缸体，所述第三缸体位于所述炉体的下方，所述第三伸缩杆穿设于所述炉体的底部，所述第四调节驱动机构为直线气缸，所述第四调节驱动机构的缸体为第四缸体，所述第四缸体位于所述炉体的下方，所述第四伸缩杆穿设于所述炉体的底部；和/或，所述炉体内设有第三导向套筒，所述第三导向套筒位于所述底部保温层的下方且与所述底部保温层在上下方向上间隔开设置，所述第三导向套筒的下端固定于所述炉体的底部，所述第三伸缩杆沿上下方向穿设于所述第三导向套筒，所述炉体内设有第四导向套筒，所述第四导向套筒位于所述底部保温层的下方且与所述底部保温层在上下方向上间隔开设置，所述第四导向套筒的下端固定于所述炉体的底部，所述第四伸缩杆沿上下方向穿设于所述第四导向套筒。

12、根据本实用新型的一些实施例，所述中部保温层包括第一中部保温板和第二中部保温板，所述第一中部保温板叠置于所述第二中部保温板的上方，所述外周保温层包括第一外周保温板和第二外周保温板，所述第一外周保温板叠置于所述第二外周保温板的上方；其中，所述第一中部保温板与所述第一外周保温板的配合缝隙为第一配合缝隙，所述第二中部保温板与所述第二外周保温板的配合缝隙为第二配合缝隙，所述第二配合缝隙与所述第一配合缝隙错开设置。

13、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。