一种用于硼扩的排气装置的制作方法

本技术涉及排气装置领域，尤其涉及一种用于硼扩的排气装置。

背景技术：

1、用于硼扩的排气装置通常是用于半导体制造过程中的一种设备，它用于控制和清理硼扩散过程中的有害气体或化学气体，硼扩散是将硼原子引入硅材料中，以形成pn结和调整材料的导电性，在这个过程中，可能会生成一些有毒或有害的气体，需要通过排气装置进行处理。

2、现有技术诸如公告号为cn213150732u的实用新型，该专利公开了 一种硼扩散装置，该专利采用扩散炉、石英舟、进气机构和排气机构。扩散炉的第一端设置炉门，扩散炉的第二端设置进气口和排气口，进气口处设置第一进气管，排气口处设置第一排气管；进气机构包括硼源储存罐、第一合流元件、第二进气管、第三进气管和第一连接管；排气机构包括耐压储水罐、第二合流元件、第二排气管、第四进气管和第二连接管。该实用新型的硼扩散装置，排气机构具有水洗排气管路功能，能够有效解决硼扩散反应生成物堵塞排气管路的问题，炉门内侧设置保温扰流板，缓解反应生成物粘结炉门的问题；硼源储存罐设于源温控制装置内，能够保持bbr3液体温度恒定。

3、现有技术中，在需要对椭圆扁管内壁涂层进行检查的过程中，将会出现连接部件拆卸步骤烦琐、耗时费力，且重新安装时难以保证原有密封性和对中度的情况，进而导致设备维护周期长、生产效率降低，并容易因安装不当引发废气泄漏或工艺不稳定的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是解决现有技术中存在，在需要对椭圆扁管内壁涂层进行检查的过程中，将会出现连接部件拆卸步骤烦琐、耗时费力，且重新安装时难以保证原有密封性和对中度的情况，进而导致设备维护周期长、生产效率降低，并容易因安装不当引发废气泄漏或工艺不稳定的缺点，而提出一种用于硼扩的排气装置。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于硼扩的排气装置，包括：硼扩炉、限位结构和拆卸结构，所述硼扩炉的一侧安装有尾排管，所述尾排管远离硼扩炉的一侧借助拆卸结构安装有衔接管，所述衔接管远离尾排管的一侧安装有椭圆扁管，所述椭圆扁管远离衔接管的一侧安装有旋流装置，所述椭圆扁管的表面固定连接有固定架，所述固定架的内壁安装有三个固定栓，三个所述固定栓的圆弧面安装有衔接环，所述衔接环的内壁安装有超声波振动器，所述尾排管的圆弧面设有拆卸结构，所述拆卸结构包括固定环和定位环，所述固定环与尾排管固定连接，所述定位环与衔接管固定连接，所述固定环靠近定位环的一侧固定连接有四个定位杆，所述定位杆与定位环滑动连接，所述固定环的内壁转动连接有两个转杆，所述转杆的圆弧面固定连接有转板，所述转杆的圆弧面套有两个卷簧，所述卷簧的两端分别与转板和固定环固定连接，所述转板远离定位环的一侧固定连接有连接板，所述连接板的内壁螺纹连接有丝杆，所述连接板的内壁滑动连接有两个连接杆，两个所述连接杆靠近定位环的一端固定连接有挤压板，所述挤压板与丝杆转动连接，所述定位环的内壁开始有两个辅助槽，所述辅助槽的底壁与挤压板相抵接，所述辅助槽与挤压板滑动连接。

3、上述部件所达到的效果为：当人员需要对椭圆扁管内部涂层的脱落情况进行检查时，人员可通过对两个丝杆进行旋转，使挤压板移动至合适的距离后，此时卷簧进行回弹，使两个转板相互远离，然后人员再对衔接管进行移动，直至定位杆完全滑出定位环的内壁，进而可以方便人员对椭圆扁管内部涂层的脱落情况进行检查，进而提升了人员的操作便捷度。

4、优选的，所述卷簧的圆弧面套有波纹管，所述波纹管的两端分别与固定环和转板转动连接。

5、上述部件所达到的效果为：波纹管可以对卷簧进行保护，可以防止其他物质与弹簧直接发生接触，进而提升了卷簧的使用寿命。

6、优选的，所述定位杆远离固定环的一端固定连接导向块。

7、上述部件所达到的效果为：导向块可以对定位杆进行导向，可以方便人员把定位杆滑进定位环的内壁。

8、优选的，所述衔接管靠近尾排管的一侧固定连接有密封垫，所述密封垫与尾排管相抵接。

9、上述部件所达到的效果为：密封垫可以增加衔接管与尾排管之间的密封性，可以防止液体从衔接管与尾排管之间流出。

10、优选的，所述丝杆的内壁开始有若干个防滑槽，若干个所述防滑槽均匀地开始在丝杆的圆弧面上。

11、上述部件所达到的效果为：防滑槽可以增加人员手部与丝杆之间的摩擦力，可以防止人员在对丝杆进行旋转的过程中发生打滑。

12、优选的，所述固定栓的圆弧面设有限位结构，所述限位结构包括两个限位槽和若干个定位孔，两个所述限位槽均开设在固定栓上，若干个所述定位孔均开设在衔接环上，所述限位槽的内壁滑动连接有衔接块，所述衔接块远离衔接环的一侧与限位槽之间设有弹簧，所述弹簧的两端分别与限位槽和衔接块固定连接，两个所述衔接块彼此远离的一侧固定连接有移动环，所述移动环与固定栓滑动连接，所述移动环靠近衔接环的一侧固定连接有若干个插杆，定位孔与插杆滑动连接。

13、上述部件所达到的效果为：当人员通过固定栓来对超声波振动器进行固定后，可通过对若干个插杆和移动环来对固定栓进行限位，可以防止固定栓在短期使用的过程中固定栓发生松动，进而提升了超声波振动器的稳定性。

14、优选的，所述限位槽的内壁固定连接有限位杆，所述限位杆与衔接块滑动连接，所述弹簧套在限位杆的圆弧面上。

15、上述部件所达到的效果为：限位杆可以对衔接块进行限位，可以防止衔接块在限位槽的内壁进行滑动的过程中发生错位。

16、与相关技术相比较，本实用新型提供的一种用于硼扩的排气装置具有如下有益效果：

17、本实用新型提供一种用于硼扩的排气装置，通过设置拆卸结构，当人员需要对椭圆扁管内部涂层的脱落情况进行检查时，可通过拆卸结构来方便人员对椭圆扁管进行拆卸，进而可以方便人员对椭圆扁管内部涂层的脱落情况进行检查，进而提升了人员的操作便捷度。

18、通过设置限位结构，当人员通过固定栓来对超声波振动器进行固定后，可通过限位结构来对固定栓进行限位，可以防止固定栓在短期使用的过程中固定栓发生松动，进而提升了超声波振动器的稳定性。

1.一种用于硼扩的排气装置，其特征在于，包括：硼扩炉（1）、限位结构（4）和拆卸结构（3），所述硼扩炉（1）的一侧安装有尾排管（2），所述尾排管（2）远离硼扩炉（1）的一侧借助拆卸结构（3）安装有衔接管（5），所述衔接管（5）远离尾排管（2）的一侧安装有椭圆扁管（6），所述椭圆扁管（6）远离衔接管（5）的一侧安装有旋流装置（9），所述椭圆扁管（6）的表面固定连接有固定架（7），所述固定架（7）的内壁安装有三个固定栓（10），三个所述固定栓（10）的圆弧面安装有衔接环（11），所述衔接环（11）的内壁安装有超声波振动器（8），所述尾排管（2）的圆弧面设有拆卸结构（3），所述拆卸结构（3）包括固定环（301）和定位环（302），所述固定环（301）与尾排管（2）固定连接，所述定位环（302）与衔接管（5）固定连接，所述固定环（301）靠近定位环（302）的一侧固定连接有四个定位杆（303），所述定位杆（303）与定位环（302）滑动连接，所述固定环（301）的内壁转动连接有两个转杆（305），所述转杆（305）的圆弧面固定连接有转板（308），所述转杆（305）的圆弧面套有两个卷簧（306），所述卷簧（306）的两端分别与转板（308）和固定环（301）固定连接，所述转板（308）远离定位环（302）的一侧固定连接有连接板（309），所述连接板（309）的内壁螺纹连接有丝杆（310），所述连接板（309）的内壁滑动连接有两个连接杆（312），两个所述连接杆（312）靠近定位环（302）的一端固定连接有挤压板（313），所述挤压板（313）与丝杆（310）转动连接，所述定位环（302）的内壁开始有两个辅助槽（314），所述辅助槽（314）的底壁与挤压板（313）相抵接，所述辅助槽（314）与挤压板（313）滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于硼扩的排气装置，其特征在于，所述卷簧（306）的圆弧面套有波纹管（307），所述波纹管（307）的两端分别与固定环（301）和转板（308）转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于硼扩的排气装置，其特征在于，所述定位杆（303）远离固定环（301）的一端固定连接导向块（304）。

4.根据权利要求1所述的一种用于硼扩的排气装置，其特征在于，所述衔接管（5）靠近尾排管（2）的一侧固定连接有密封垫（315），所述密封垫（315）与尾排管（2）相抵接。

5.根据权利要求1所述的一种用于硼扩的排气装置，其特征在于，所述丝杆（310）的内壁开始有若干个防滑槽（311），若干个所述防滑槽（311）均匀地开始在丝杆（310）的圆弧面上。

6.根据权利要求1所述的一种用于硼扩的排气装置，其特征在于，所述固定栓（10）的圆弧面设有限位结构（4），所述限位结构（4）包括两个限位槽（44）和若干个定位孔（42），两个所述限位槽（44）均开设在固定栓（10）上，若干个所述定位孔（42）均开设在衔接环（11）上，所述限位槽（44）的内壁滑动连接有衔接块（47），所述衔接块（47）远离衔接环（11）的一侧与限位槽（44）之间设有弹簧（46），所述弹簧（46）的两端分别与限位槽（44）和衔接块（47）固定连接，两个所述衔接块（47）彼此远离的一侧固定连接有移动环（41），所述移动环（41）与固定栓（10）滑动连接，所述移动环（41）靠近衔接环（11）的一侧固定连接有若干个插杆（43），定位孔（42）与插杆（43）滑动连接。

7.根据权利要求6所述的一种用于硼扩的排气装置，其特征在于，所述限位槽（44）的内壁固定连接有限位杆（45），所述限位杆（45）与衔接块（47）滑动连接，所述弹簧（46）套在限位杆（45）的圆弧面上。