一种石英制品用退火炉的制作方法

本技术涉及石英制品加工设备领域，尤其涉及一种石英制品用退火炉。

背景技术：

1、石英管作为一种具有优异耐高温性、化学稳定性及透光性的特种玻璃制品，被广泛应用于半导体制造、光伏能源、光学仪器、化工反应容器等多个高新技术领域。在石英管的生产加工过程中，退火处理是至关重要的一道工序，其核心目的在于消除石英管在熔融成型过程中内部产生的内应力以及脱羟处理，降低制品脆性，提升力学性能与尺寸稳定性，提高光学透明度，机械强度和热稳定性。从而保障石英管在后续使用过程中的可靠性与使用寿命。

2、随着下游应用领域对石英管的需求不断向大尺寸、高精度方向发展，与之配套的石英管退火炉也相应朝着大型化方向设计。然而，在实际应用过程中，由于炉体长度尺寸较大，传统退火炉通常采用单一温控系统驱动整体加热组件进行加热，这种加热方式难以兼顾炉体内不同区域的温度需求，极易导致炉内沿长度方向出现明显的温度梯度差异，部分区域温度过高而部分区域温度过低，形成严重的温度不均匀现象，影响石英管的退火效果，导致石英管不同部位的内应力消除程度不一致，进而使制品出现翘曲、变形、力学性能不均衡等质量问题，无法满足高精度应用场景的使用要求。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种石英制品用退火炉，实现对炉内温度的精准调控，确保炉内温度分布一致性。

2、为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、本实用新型提供一种石英制品用退火炉，所述石英制品用退火炉包括底座以及罩设于所述底座上的炉体。

4、所述炉体沿长度方向至少设有三个温控区，每个温控区均设有子控制器、至少两组加热组件和至少一组检测组件，所述子控制器设于对应温控区的炉体外壁，至少两组加热组件、至少一组检测组件分别设于对应温控区的炉体内壁，且至少两组加热组件与至少一组检测组件错开设置，所述子控制器与至少两组加热组件、至少一组检测组件分别电连接。

5、所述加热组件包括安装架和加热丝，所述安装架设于对应温控区的炉体内壁，所述加热丝布设于所述安装架中，所述安装架的朝向炉体中心的一侧设有扩散孔。

6、所述检测组件包括绝缘固定件和温度传感器，所述绝缘固定件设于对应温控区的炉体内壁上，所述温度传感器设于所述绝缘固定件上。

7、优选地，所述石英制品用退火炉还包括主控制器，所述主控制器与各温控区的子控制器分别电连接。

8、优选地，每个温控区的至少两组加热组件中的加热丝并联连接。

9、优选地，所述加热丝呈u形或m形。

10、优选地，相邻的两个加热组件中的安装架相互贴合。

11、优选地，所述安装架为氧化铝陶瓷材质。

12、优选地，所述绝缘固定件为一端开口、一端封闭的中空结构，所述绝缘固定件的开口端连接于对应温控区的炉体内壁，所述绝缘固定件的封闭端设有安装孔，所述温度传感器的非检测端设于所述绝缘固定件的内部，所述温度传感器的检测端从所述安装孔穿出。

13、优选地，所述安装孔处设有隔热缓冲层，所述隔热缓冲层包裹所述温度传感器的对应部位。

14、优选地，所述底座与所述炉体连接处设有相互配合的密封嵌合结构，所述密封嵌合结构包括设于所述底座与所述炉体中一者上的密封槽以及设于所述底座与所述炉体中另一者上的密封圈。

15、优选地，所述炉体包括由外向内依次设置的钢结构防护层、陶瓷支撑层、纳米隔热层、陶瓷纤维层和铝箔反射层。

16、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：本实用新型将退火炉的炉体沿长度方向设至少三个温控区，各温控区配置独立的子控制器、至少两组加热组件及至少一组检测组件，且加热组件与检测组件错开设置并由子控制器分别电连接，实现对炉内不同区域温度的精准、独立调控，有效解决大尺寸炉体温度不均匀问题；加热组件的安装架设扩散孔，能促进热量均匀扩散，确保提升炉内温度分布一致性；检测组件的绝缘固定件可保障温度传感器稳定工作，确保温度监测精准；该退火炉可应用于大尺寸石英管以及其他石英制品的退火工艺，大幅提升退火效果，降低生产成本，同时保障退火炉稳定运行，延长设备使用寿命。

1.一种石英制品用退火炉，其特征在于：所述石英制品用退火炉包括底座以及罩设于所述底座上的炉体；

2.如权利要求1所述的石英制品用退火炉，其特征在于：所述石英制品用退火炉还包括主控制器，所述主控制器与各温控区的子控制器分别电连接。

3.如权利要求1所述的石英制品用退火炉，其特征在于：每个温控区的至少两组加热组件中的加热丝并联连接。

4.如权利要求1所述的石英制品用退火炉，其特征在于：所述加热丝呈u形或m形。

5.如权利要求1所述的石英制品用退火炉，其特征在于：相邻的两个加热组件中的安装架相互贴合。

6.如权利要求1所述的石英制品用退火炉，其特征在于：所述安装架为氧化铝陶瓷材质。

7.如权利要求1所述的石英制品用退火炉，其特征在于：所述绝缘固定件为一端开口、一端封闭的中空结构，所述绝缘固定件的开口端连接于对应温控区的炉体内壁，所述绝缘固定件的封闭端设有安装孔，所述温度传感器的非检测端设于所述绝缘固定件的内部，所述温度传感器的检测端从所述安装孔穿出。

8.如权利要求7所述的石英制品用退火炉，其特征在于：所述安装孔处设有隔热缓冲层，所述隔热缓冲层包裹所述温度传感器的对应部位。

9.如权利要求1所述的石英制品用退火炉，其特征在于：所述底座与所述炉体连接处设有相互配合的密封嵌合结构，所述密封嵌合结构包括设于所述底座与所述炉体中一者上的密封槽以及设于所述底座与所述炉体中另一者上的密封圈。

10.如权利要求1所述的石英制品用退火炉，其特征在于：所述炉体包括由外向内依次设置的钢结构防护层、陶瓷支撑层、纳米隔热层、陶瓷纤维层和铝箔反射层。