低温泵的制作方法

本发明涉及一种低温泵。

背景技术：

1、低温泵为通过冷凝或吸附将气体分子捕获到被冷却至超低温的低温板上并进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等所要求的清洁真空环境。

2、专利文献1：日本特开2022-16630号公报

技术实现思路

1、低温泵是一种所谓的气体积存式真空泵，因此需要将捕获到的气体定期向外部排出而进行再生。再生对低温泵而言会导致停机时间，因此期望以更低的频率进行。低温泵的吸附容量越大，越能够降低低温泵的再生频率。

2、本发明的一种实施方式的例示性目的之一在于提高低温泵的吸附容量。

3、根据本发明的一种实施方式，低温泵具备：低温泵容器，其限定低温泵吸气口，且具有容器底部，并从低温泵吸气口向容器底部沿轴向延伸；制冷机，其设置于低温泵容器内，并具备第1冷却台及可被冷却至低于第1冷却台温度的第2冷却台；辐射屏蔽件，其与第1冷却台热连接，并从低温泵吸气口向低温泵容器内沿轴向延伸，以在与低温泵容器之间形成屏蔽件外侧间隙；以及多个低温板，其与第2冷却台热连接，并在辐射屏蔽件的内侧空间沿轴向排列。多个低温板包括多个低温板中配置为在轴向上最接近容器底部的底部低温板。辐射屏蔽件具备越过底部低温板朝向容器底部沿轴向延伸的屏蔽件下部，屏蔽件下部限定将屏蔽件外侧间隙与辐射屏蔽件的内侧空间连通的屏蔽件底部开口。

4、根据本发明的一种实施方式，低温泵具备：低温泵容器，其限定低温泵吸气口，且具有容器底部，并从低温泵吸气口向容器底部沿轴向延伸；制冷机，其设置于低温泵容器内，并具备第1冷却台及可被冷却至低于第1冷却台温度的第2冷却台；辐射屏蔽件，其与第1冷却台热连接，并从低温泵吸气口向低温泵容器内沿轴向延伸；及多个低温板，其与第2冷却台热连接，并在辐射屏蔽件的内侧沿轴向排列，多个低温板包括多个低温板中配置为在轴向上最接近容器底部的底部低温板。底部低温板具有朝向低温泵吸气口的底部低温板前表面及朝向容器底部的底部低温板背面。辐射屏蔽件构成为，使得从底部低温板背面朝向容器底部的冰生长速度快于从底部低温板前表面朝向低温泵吸气口的冰生长速度。

5、发明效果

6、根据本发明，能够提高低温泵的吸附容量。

1.一种低温泵，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的低温泵，其特征在于，进一步具备附加屏蔽件，该附加屏蔽件与所述第1冷却台热连接，并部分地封闭所述屏蔽件底部开口。

7.一种低温泵，其特征在于，具备：