臭氧水分解装置的制作方法

本发明涉及如下的臭氧水分解装置，通过光分解方式对在半导体制造工序或显示器制造工序中使用之后被废弃的臭氧水进行分解，由此不包含环境有害物质或可作为含量低于基准值的一般水排出。

背景技术：

1、通常，在半导体制造工序或显示器制造工序中使用大量的臭氧水以清洗半导体晶圆或去除光刻胶。

2、但是，臭氧水包含作为环境有害物质的臭氧，因此，在半导体制造工序或显示器制造工序中使用之后被废弃的臭氧水不能直接排出，根据相关法规，需要将臭氧的浓度分解处理成对环境及人体无害的基准值（例如，1ppm）以下之后将其排出。

3、臭氧水分解装置作为对在半导体制造工序或显示器制造工序之后被废弃的臭氧水进行分解处理的装置，其包括气液分离方式、光分解方式、化学方式等臭氧水分解装置。其中，光分解方式的臭氧水分解装置为对臭氧水照射紫外线来将臭氧水分解成水（h2o）和氧（o2）的装置。

4、作为相关技术文献，包括韩国授权专利公报第10-2185110号（发明的名称：臭氧水分解装置，公开日期：2020年12月01日）及韩国专利公报第10-1776024号（发明的名称：臭氧分解单元及包括其的基板处理装置、基板处理方法，公告日期：2017年09月07日）。

技术实现思路

1、本发明的目的在于，提供如下的臭氧水分解装置，可以防止收容紫外线灯的灯保护管被含在臭氧水的氢氟酸（hf）蚀刻，从紫外线灯照射的紫外线可以在尽可能不发生损失的情况下到达在臭氧水流路管流动的臭氧水以有效地分解臭氧水。

2、本发明的目的在于，提供如下的臭氧水分解装置，可通过包括多个分解单元的分解单元组件提高臭氧水分解能力，可以将分解单元组件所占据的空间尽可能最小化以实现紧凑结构。

3、本发明的目的在于，提供如下的臭氧水分解装置，在多个分解单元中，可以通过控制多个分解单元的工作来有效节俭多个分解单元的消耗电力，以防止紫外线灯不必要地运行。

4、本发明的目的在于，提供如下的臭氧水分解装置，即使在所流入的臭氧水的流量或分解水的流量较小的情况下也可以准确地测定该流量。

5、所述目的通过臭氧水分解装置，根据本发明的一实施例，本发明的特征在于，包括：本体壳体；分解单元组件，设置在所述本体壳体的内部，包括通过光分解方式分解臭氧水的多个分解单元；臭氧水流入引导管，提供将从外部流入的臭氧水引向所述分解单元组件的流路；以及分解水排出引导管，提供进行引导的流路，使得通过所述分解单元组件分解臭氧的分解水从所述分解单元组件排向外部，所述分解单元包括：臭氧水流路管，提供使得臭氧水流动的流路；紫外线灯，设置在所述臭氧水流路管的内部，向在所述臭氧水流路管流动的臭氧水照射紫外线；以及灯保护管，在所述臭氧水流路管的内部设置成收容所述紫外线灯，由透射从所述紫外线灯照射的紫外线的材质形成。

6、优选地，所述分解单元还可包括氟基紫外线透射层，形成在与臭氧水相接触的所述灯保护管的外周面，以防止所述灯保护管因含在臭氧水的氢氟酸（hf）而被蚀刻。

7、优选地，所述氟基紫外线透射层可由氟化乙烯丙烯（fep，fluorinated ethylenepropylene）材质形成。

8、优选地，所述紫外线灯的外周面与所述臭氧水流路管的内周面之间的距离可以为10mm以下，使得从所述紫外线灯照射的紫外线有效地分解在所述臭氧水流路管流动的臭氧水。

9、优选地，所述分解单元形成多个，所述多个分解单元可包括：第一分解单元，与所述臭氧水流入引导管相连接；第二分解单元，与所述第一分解单元沿着水平方向并排设置；第三分解单元，设置在与所述第二分解单元沿着垂直方向并排的所述第二分解单元的上侧；以及第四分解单元，与所述第三分解单元沿着水平方向并排设置，设置在所述第一分解单元的上侧，与所述分解水排出引导管相连接。

10、优选地，所述分解单元组件还可包括：第一流路连接管，提供连接所述第一分解单元与所述第二分解单元的流路；第二流路连接管，提供连接所述第二分解单元与所述第三分解单元的流路；以及第三流路连接管，提供连接所述第三分解单元与所述第四分解单元的修路。

11、优选地，通过所述臭氧水流入引导管向所述分解单元组件流入的臭氧水可依次通过所述第一分解单元、所述第二分解单元、所述第三分解单元及所述第四分解单元并分解臭氧水中的臭氧之后，通过所述分解水排出引导管排向外部。

12、优选地，所述臭氧水分解装置还可包括分解单元支撑框架，用于支撑所述分解单元组件，以在所述本体壳体的内部固定所述分解单元组件的位置，所述分解单元支撑框架包括：第一分解单元支撑板，在所述第一分解单元的长度方向上的规定区间收容并支撑所述第一分解单元；第二分解单元支撑板，在所述第二分解单元的长度方向上的规定区间收容并支撑所述第二分解单元；第三分解单元支撑板，在所述第三分解单元的长度方向上的规定区间收容并支撑所述第三分解单元；第四分解单元支撑板，在所述第四分解单元的长度方向上的规定区间收容并支撑所述第四分解单元；第一固定板，与所述第一分解单元支撑板至第四分解单元支撑板的多个一端部相结合并固定在所述本体壳体；以及第二固定板，与所述第一分解单元支撑板至第四分解单元支撑板的多个另一端部相结合并固定在所述本体壳体。

13、优选地，所述臭氧水分解装置还可包括：流量计，设置在所述分解水排出引导管或者设置在与所述分解水排出引导管相连接的流路，以确认在所述分解水排出引导管流动的分解水的流量；以及控制器，基于通过所述流量计测定的流量数据控制所述多个分解单元的工作。

14、优选地，所述控制器可基于通过所述流量计测定的流量数据控制所述多个分解单元中的所述紫外线灯的开（on）闭（off）工作。

15、优选地，本发明的特征在于，当通过所述流量计测定的流量变多时，所述控制器增加在所述多个分解单元中所述紫外线灯处于开启状态的分解单元的数量，当通过所述流量计测定的流量变少时，所述控制器减少在所述多个分解单元中所述紫外线灯处于开启状态的分解单元的数量。

16、优选地，所述流量计可以提供为通过非接触方式测定流量的超声波流量计。

17、优选地，本发明还可包括流量测定用连接管，提供连接所述分解水排出引导管的第一位置与第二位置的流路，从所述分解单元组件流入到所述分解水排出引导管的分解水的一部分在所述第一位置中分支并在所述流量测定用连接管流动之后，在所述第二位置中与在所述分解水排出引导管流动的分解水合流并排向外部，所述流量计设置在所述流量测定用连接管，用于测定在所述流量测定用连接管流动的分解水的流量。

18、优选地，所述流量测定用连接管的内径可小于所述分解水排出引导管的内径。

19、根据本发明一实施例的臭氧水分解装置，可以防止收容紫外线灯的灯保护管被含在臭氧水的氢氟酸（hf）蚀刻，从紫外线灯照射的紫外线可以在尽可能不发生损失的情况下到达在臭氧水流路管流动的臭氧水以有效地分解臭氧水。

20、根据本发明一实施例的臭氧水分解装置，可通过包括多个分解单元的分解单元组件提高臭氧水分解能力，可以将分解单元组件所占据的空间尽可能最小化以实现紧凑结构。

21、根据本发明一实施例的臭氧水分解装置，可根据所流入的臭氧水的流量或所排出的分解水的流量调节多个分解单元中的紫外线灯的使用数量，由此可通过防止紫外线灯不必要地运行以有效地节俭多个分解单元的消耗电力。

22、根据本发明一实施例的臭氧水分解装置，连接分解水排出引导管的第一位置与第二位置，在内径小于分解水排出引导管的流量测定用连接管设计流量计，由此，即使在所流入的臭氧水的流量或分解水的流量较小的情况下也可以准确地测定该流量。