光掩膜板清洗装置以及清洗方法与流程

本发明涉及光掩膜板清洗，特别涉及一种光掩膜板清洗装置以及清洗方法。

背景技术：

1、在蒸镀工艺后，光掩膜板的工作区域会积聚沉积物质，因此需要对光掩膜板进行清洗，此外，在长期工作过程中，光掩膜板的工作区域也会积聚灰尘，进而影响曝光质量，同样需要定期对光掩膜板进行清洗。

2、现有技术中，一般是通过喷淋清洗设备喷射清洗液对光掩膜板进行清洗，但是，在清洗过程中发现，由于光掩膜板会开设多个槽口，清洗液难以喷射到槽口的侧面上，进而导致清洗效果较差。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种光掩膜板清洗装置，能够提高光掩膜板的清洗效果。

2、本发明还提出一种光掩膜板清洗方法。

3、根据本发明第一方面实施例的光掩膜板清洗装置，包括机架、夹持组件和喷淋组件，所述夹持组件可转动地设于所述机架，所述夹持组件的转动轴线沿第一水平方向延伸，所述夹持组件用于夹持光掩膜板并使所述光掩膜板的板面垂直于所述第一水平方向，所述喷淋组件设于所述机架，所述喷淋组件包括两组喷淋管，两组所述喷淋管沿所述第一水平方向排布，所述喷淋管沿第二水平方向延伸并设有多个喷嘴，所述第二水平方向垂直于所述第一水平方向，所述喷淋管能绕自身轴心线转动，所述喷淋管能转动至使所述喷嘴的喷射方向沿朝向所述光掩膜板且向下的方向倾斜延伸，所述喷淋管能转动至使所述喷嘴的喷射方向沿朝向所述光掩膜板且向上的方向倾斜延伸，其中，所述夹持组件和所述喷淋组件能在竖向上相对移动，而使两组所述喷淋管分别经过所述光掩膜板的相对两侧。

4、根据本发明实施例的光掩膜板清洗装置，至少具有如下有益效果：

5、本发明中，需要对光掩膜板进行清洗时，将光掩膜板夹持于夹持组件，然后转动夹持组件，使光掩膜板其中一组相对的两个侧面沿竖向排布。清洗过程中，可以将喷淋管转动至使喷嘴的喷射方向沿朝向光掩膜板且向下的方向倾斜延伸，使夹持组件相对于喷淋组件升降，同时喷嘴喷射清洗液，即可对光掩膜板进行清洗，之后将喷淋管转动至使喷嘴的喷射方向沿朝向光掩膜板且向上的方向倾斜延伸，使夹持组件相对于喷淋组件升降，同时喷嘴喷射清洗液，即可对光掩膜板进行清洗。根据本发明实施例的光掩膜板清洗装置，在清洗过程中，夹持组件通过转动能够带动光掩膜板两组相对的侧面依次沿竖向排布，进而能够使光掩膜板上的槽口的不同侧面依次位于槽口的底端或者顶端，而且通过转动喷淋管，能使喷嘴的喷射方向沿朝向光掩膜板且向下的方向倾斜延伸，或者沿朝向光掩膜板且向上的方向倾斜延伸，进而在整个清洗过程中，能够使喷嘴的喷射方向朝向光掩膜板的槽口的不同侧面，进而能够对光掩膜板的槽口进行彻底清洗，从而能够有效提高光掩膜板的清洗效果。

6、根据本发明的一些实施例，所述机架于所述夹持组件的转动轴线所在竖直面的两侧分别形成有第一清洗区和第二清洗区，所述夹持组件能转动至使所述光掩膜板位于所述第一清洗区或所述第二清洗区，所述光掩膜板位于所述第一清洗区时，所述光掩膜板其中一组相对的两个侧面沿竖向排布，所述光掩膜板位于所述第二清洗区时，所述光掩膜板另外一组相对的两个侧面沿竖向排布。

7、根据本发明的一些实施例，所述夹持组件设有若干组，每组所述夹持组件沿所述第一水平方向排布有两个所述夹持组件，所述机架于同一组的两个所述夹持组件的转动轴线所在的竖直面的同一侧形成所述第一清洗区，同一组的两个所述夹持组件能同时转动，且其中一个所述夹持组件转动至使自身所夹持的所述光掩膜板位于所述第一清洗区时，另一个所述夹持组件转动至使自身所夹持的所述光掩膜板位于所述第二清洗区。

8、根据本发明的一些实施例，所述机架对应每组所述夹持组件均设有安装轴，所述安装轴沿所述第一水平方向延伸，所述安装轴套设有两个可转动的第一齿轮，同一组的两个所述夹持组件分别连接于同一个所述安装轴上的两个所述第一齿轮，所述机架设有两个沿所述第一水平方向排布的齿条，同一个所述安装轴上的两个所述第一齿轮分别啮合两个所述齿条，所述齿条能沿自身长度方向滑动调节，以驱动对应的所述第一齿轮转动。

9、根据本发明的一些实施例，所述夹持组件设有多组并沿所述第二水平方向排布，所述齿条沿所述第二水平方向延伸，其中一个所述齿条与所有所述安装轴上的其中一个所述第一齿轮啮合，另一个所述齿条与所有所述安装轴上的另一个所述第一齿轮啮合。

10、根据本发明的一些实施例，每组所述喷淋管均包括两个所述喷淋管，同一组的两个所述喷淋管分别设置为第一喷淋管和第二喷淋管，所述第一喷淋管上的所述喷嘴对应所述第一清洗区设置，所述第二喷淋管上的所述喷嘴对应所述第二清洗区设置。

11、根据本发明的一些实施例，同一组的所述第一喷淋管和所述第二喷淋管沿竖向排布，且两个所述第一喷淋管等高，两个所述第二喷淋管等高。

12、根据本发明的一些实施例，所述第一喷淋管同轴设有第二齿轮，两个所述第二齿轮啮合，其中一个所述第二齿轮传动连接有第一驱动电机；

13、所述第二喷淋管同轴设有第三齿轮，两个所述第三齿轮啮合，其中一个所述第三齿轮传动连接有第二驱动电机。

14、根据本发明的一些实施例，在所述夹持组件相对于所述喷淋组件上升时，所述喷淋管转动至使所述喷嘴的喷射方向沿朝向所述光掩膜板且向下的方向倾斜延伸，在所述夹持组件相对于所述喷淋组件下降时，所述喷淋管转动至使所述喷嘴的喷射方向沿朝向所述光掩膜板且向上的方向倾斜延伸。

15、根据本发明的一些实施例，所述夹持组件包括两个相连接的夹条，两个所述夹条呈直角，所述夹条设有夹槽，两个所述夹槽用于夹持所述光掩膜板相邻的两侧。

16、根据本发明第二方面实施例的光掩膜板清洗方法，基于上述第一方面实施例所述的光掩膜板清洗装置，所述方法包括：

17、s1、将所述光掩膜板夹持于所述夹持组件，转动所述夹持组件，使所述光掩膜板其中一组相对的两个侧面沿竖向排布；

18、s2、将所述喷淋管转动至使所述喷嘴的喷射方向沿朝向所述光掩膜板且向下的方向倾斜延伸，使所述夹持组件相对于所述喷淋组件沿竖向移动，所述喷嘴喷射清洗液，以对所述光掩膜板进行清洗；

19、s3、将所述喷淋管转动至使所述喷嘴的喷射方向沿朝向所述光掩膜板且向上的方向倾斜延伸，使所述夹持组件相对于所述喷淋组件沿竖向移动，所述喷嘴喷射清洗液，以对所述光掩膜板进行清洗；

20、s4、转动所述夹持组件，使所述光掩膜板另外一组相对的两个侧面沿竖向排布；

21、s5、重复步骤s2和步骤s3，直至完成所述光掩膜板的清洗。

22、根据本发明实施例的清洗方法，至少具有如下有益效果：

23、在清洗过程中，夹持组件通过转动能够带动光掩膜板两组相对的侧面依次沿竖向排布，进而能够使光掩膜板上的槽口的不同侧面依次位于槽口的底端或者顶端，而且通过转动喷淋管，能使喷嘴的喷射方向沿朝向光掩膜板且向下的方向倾斜延伸，或者沿朝向光掩膜板且向上的方向倾斜延伸，进而在整个清洗过程中，能够使喷嘴的喷射方向朝向光掩膜板的槽口的不同侧面，进而能够对光掩膜板的槽口进行彻底清洗，从而能够有效提高光掩膜板的清洗效果。

24、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。