一种载具舟压紧结构、载具舟转运设备及光伏生产系统的制作方法

本技术涉及光伏，特别涉及一种载具舟压紧结构、载具舟转运设备及光伏生产系统。

背景技术：

1、在光伏/太阳能技术领域，载具舟（如石墨舟）是在工艺设备之间输送电池片（硅片或晶圆）的一种常用输送设备，电池片通过载具舟进入各种工艺设备内部进行一系列工艺加工。随着光伏/太阳能产业的不断发展，载具舟已大量应用于光伏行业的扩散、氧化、退火、掺杂、pecvd（等离子体增强化学气相沉积）、lpcvd（低压力化学气相沉积）等等工艺。

2、在pecvd镀膜工艺过程中，随着加工设备的产能需求不断增加，往往需要通过转运装置驱动载具舟在净化台和反应炉之间来回移动，以将载具舟送入至反应炉的反应室内进行电池片镀膜或送入净化台净化完成镀膜后的载具舟，并在完成镀膜或净化后将载具舟输送至另一设备，以满足pecvd镀膜工艺的需求。然而，传统的转运装置取送和搬运载具舟的运行稳定性不足，载具舟在移动过程中容易晃动，影响转运装置在净化台和反应炉之间取送载具舟的位置精度，从而降低了镀膜效率。

技术实现思路

1、本实用新型提出一种载具舟压紧结构、载具舟转运设备及光伏生产系统,以解决传统的转运装置搬运载具舟的稳定性不足，影响载具舟的取送精度的技术问题。

2、为解决以上问题，本实用新型采用的技术方案是：

3、本实用新型提供一种载具舟压紧结构，包括：

4、安装支架、第一驱动装置、活动支架、第二驱动装置和压紧组件；

5、安装支架用于对接转运平台，第一驱动装置设于安装支架上，用于驱动活动支架靠近或远离转运平台升降运动；第二驱动装置设于活动支架上，用于驱动运动件靠近或远离转运平台平移或翻转运动；压紧组件安装于运动件上，压紧组件在活动支架和运动件均靠近转运平台运动时将载具舟压紧于转运平台，压紧组件在活动支架和运动件均远离转运平台运动时为载具舟取放于转运平台让位。

6、优选地，第一驱动装置包括：

7、第一线性驱动机构，安装于安装支架上，用于驱动活动支架升降运动；

8、第一线性导向结构，安装于安装支架上，活动支架活动安装于第一线性导向结构上，第一线性导向结构用于引导活动支架升降运动。

9、优选地，活动支架为升降平台，第二驱动装置包括：

10、第二线性驱动机构，安装于升降平台上，运动件为第二线性驱动机构的线性输出件，第二线性驱动机构用于驱动线性输出件带动压紧组件靠近或远离转运平台平移运动；

11、第二线性导向结构，安装于升降平台上，压紧组件活动安装于第二线性导向结构上，第二线性导向结构用于引导压紧组件平移运动。

12、优选地，第二线性驱动机构为丝杠螺母驱动机构，线性输出件为丝杠螺母驱动机构的活动螺母，第二线性导向结构为平移导轨，压紧组件安装于活动螺母上，且压紧组件通过平移滑块活动安装于平移导轨上，丝杠螺母驱动机构用于驱动活动螺母水平往复运动，以带动压紧组件通过平移滑块沿平移导轨靠近或远离转运平台水平平移运动。

13、优选地，压紧组件包括：

14、连接横板，同时安装于活动螺母和平移滑块上；

15、连接立板，安装于连接横板上；

16、平移压板，安装于连接立板上，平移压板在升降平台和活动螺母均靠近转运平台运动时将载具舟压紧于转运平台，平移压板在升降平台和活动螺母均远离转运平台运动时为载具舟取放于转运平台让位。

17、优选地，活动支架为升降立板，第二驱动装置包括：

18、翻转驱动机构，安装于升降立板上，运动件为翻转驱动机构的翻转输出件，翻转驱动机构用于驱动翻转输出件带动压紧组件靠近或远离转运平台翻转运动。

19、优选地，翻转驱动机构为翻转驱动气缸，压紧组件包括：

20、连接摆臂，安装于翻转驱动气缸的翻转输出件上；

21、翻转压板，安装于连接摆臂上，翻转压板在升降立板和翻转输出件均靠近转运平台运动时将载具舟压紧于转运平台，翻转压板在升降立板和翻转压板均远离转运平台运动时为载具舟取放于转运平台让位。

22、优选地，安装支架包括支撑组件，用于与转运平台对接；以及安装立板，安装于支撑组件上；

23、第一线性驱动机构为气缸驱动机构，安装于支撑组件或安装立板上，活动支架安装于气缸驱动机构的伸缩输出件上；第一线性导向结构安装于安装立板上，活动支架通过升降导向件活动安装于第一线性导向结构上，气缸驱动机构用于驱动伸缩输出件竖直升降运动，以带动活动支架通过升降导向件沿第一线性导向结构靠近或远离转运平台竖直升降运动。

24、本实用新型还提供一种载具舟转运设备，包括转运驱动装置，用于驱动转运平台在目标设备之间转移，以及上述的载具舟压紧结构，安装支架对接于转运平台，转运平台设有若干用于取放载具舟的载舟位置。

25、本实用新型还提供一种光伏生产系统，包括反应炉和净化台，还包括上述的载具舟转运设备，转运驱动装置用于驱动转运平台在反应炉和净化台之间转移。

26、与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

27、本实用新型提供的载具舟压紧结构可通过安装支架对接于转运平台，并通过第一驱动装置、活动支架和第二驱动装置联动配合，驱动压紧组件在高度方向上相对转运平台升降运动，同时驱动压紧组件在水平方向上相对转运平台平移运动，或相对转运平台翻转运动。由此，在第一驱动装置驱动的活动支架和第二驱动装置驱动的运动件均远离转运平台平移或翻转运动时，可带动压紧组件为载具舟取放于转运平台让位出足够的空间，以避免在取放舟装置将载具舟取放于转运平台时压紧组件与载具舟之间发生干涉；在活动支架和运动件均靠近转运平台平移或翻转运动时，可带动压紧组件将放置于转运平台的载具舟压紧，避免移动过程中载具舟晃动，提高转运装置在目标设备之间取送载具舟的位置精度，从而保证pecvd镀膜效率。此外，该载具舟压紧结构将多个运动机构高度集成，在同一结构上实现载具舟多个自由度的运动，优化了镀膜加工设备的空间利用率，提高了其自动化程度并精简了设备的整体结构，实现降本增效以满足更大的镀膜产能需求。

1.一种载具舟压紧结构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的载具舟压紧结构，其特征在于，所述第一驱动装置(2)包括：

3.如权利要求2所述的载具舟压紧结构，其特征在于，所述活动支架(3)为升降平台(31)，所述第二驱动装置(4)包括：

4.如权利要求3所述的载具舟压紧结构，其特征在于，所述第二线性驱动机构(41)为丝杠螺母驱动机构，所述线性输出件为所述丝杠螺母驱动机构的活动螺母，所述第二线性导向结构(42)为平移导轨，所述压紧组件(5)安装于所述活动螺母上，且所述压紧组件(5)通过平移滑块(421)活动安装于所述平移导轨上，所述丝杠螺母驱动机构用于驱动所述活动螺母水平往复运动，以带动所述压紧组件(5)通过所述平移滑块(421)沿所述平移导轨靠近或远离所述转运平台(6)水平平移运动。

5.如权利要求4所述的载具舟压紧结构，其特征在于，所述压紧组件(5)包括：

6.如权利要求2所述的载具舟压紧结构，其特征在于，所述活动支架(3)为升降立板(32)，所述第二驱动装置(4)包括：

7.如权利要求6所述的载具舟压紧结构，其特征在于，所述翻转驱动机构(43)为翻转驱动气缸，所述压紧组件(5)包括：

8.如权利要求2-6任一项所述的载具舟压紧结构，其特征在于，所述安装支架(1)包括支撑组件(11)，用于与所述转运平台(6)对接；以及安装立板(12)，安装于所述支撑组件(11)上；

9.一种载具舟转运设备，其特征在于，包括转运驱动装置(7)，用于驱动转运平台(6)在目标设备之间转移，以及如权利要求1-8任一项所述的载具舟压紧结构，所述安装支架(1)对接于所述转运平台(6)，所述转运平台(6)设有若干用于取放所述载具舟(30)的载舟位置(a)。

10.一种光伏生产系统，包括反应炉(8)和净化台(9)，其特征在于，还包括如权利要求9所述的载具舟转运设备，所述转运驱动装置(7)用于驱动转运平台(6)在所述反应炉(8)和所述净化台(9)之间转移。