一种转运设备的制作方法

本申请涉及半导体，尤其涉及一种转运设备。

背景技术：

1、通过转运设备将晶圆转运至机台主体，晶圆转运过程中可能产生颗粒物，这些颗粒物需要及时排出转运腔，以使转运设备符合工作需求。然而，对于粒径尺寸较大的颗粒物，排出转运设备的转运腔的难度较大。

技术实现思路

1、有鉴于此，本公开实施例期望提供一种转运设备，以使粒径较大的颗粒物能够尽可能地排出转运设备的转运腔。

2、为达到上述目的，本公开实施例第一方面提供一种转运设备，包括：

3、转运室，具有转运腔；

4、机台主体，安装于所述转运室，所述机台主体位于所述转运腔外；

5、承载装置，用于承载晶圆，所述承载装置在所述转运腔和所述机台主体之间移动，所述机台主体用于对移入所述机台主体的晶圆进行加工；

6、第一排放装置，连接在所述转运室的底部。

7、在一些实施例中，所述承载装置的移动方向为第一方向，所述转运设备还包括安装于所述转运室的风机，所述第一排放装置位于所述转运腔沿第二方向背离所述风机的一侧，所述第二方向与所述第一方向交叉布置，所述风机的出风方向沿所述第二方向指向所述第一排放装置。

8、在一些实施例中，所述转运腔的腔壁内具有位于所述转运腔外的换热风腔，所述转运设备还包括位于所述换热风腔内的换热器，所述换热风腔的进风口位于所述转运腔沿所述第二方向背离所述风机的一侧，所述换热风腔的出风口位于所述转运腔沿所述第二方向朝向所述风机的一侧。

9、在一些实施例中，当所述承载装置位于所述转运腔内，所述承载装置沿所述第二方向位于所述风机和所述第一排放装置之间。

10、在一些实施例中，所述转运设备包括位于所述转运腔内的第一检测器，所述第一检测器用于检测空气中颗粒物的参数，所述第一检测器位于所述转运腔沿所述第二方向朝向所述风机的一侧。

11、在一些实施例中，所述转运设备还包括离子降尘器，所述离子降尘器位于所述转运腔的顶部，沿所述承载装置的移动方向投影，所述离子降尘器的投影区域和所述承载装置的投影区域间隔布置。

12、在一些实施例中，所述转运设备还包括第二排放装置，所述第二排放装置连接在所述转运室的上端。

13、在一些实施例中，所述转运设备还包括汇流装置，所述汇流装置分别与所述第一排放装置和所述第二排放装置连接，所述汇流装置具有排放接口，所述第一排放装置用于连通所述排放接口和所述转运腔的底部，所述第二排放装置用于连通所述排放接口和所述转运腔的顶部。

14、在一些实施例中，在所述转运设备处于工作模式的情况下，所述第一排放装置和所述第二排放装置的其中之一处于打开状态，所述第一排放装置和所述第二排放装置的其中另一处于关闭状态。

15、在一些实施例中，所述转运设备还包括第二检测器，所述第二检测器安装于所述第二排放装置以检测从所述第二排放装置排出的空气中的颗粒物的参数；和/或，所述转运设备还包括位于所述转运腔内的第三检测器，所述第三检测器用于检测空气中颗粒物的参数，所述第三检测器位于所述转运腔沿所述第二方向朝向所述第一排放装置的一侧，第三检测器位于所述转运腔的下方。

1.一种转运设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的转运设备，其特征在于，所述承载装置的移动方向为第一方向，所述转运设备还包括安装于所述转运室的风机，所述第一排放装置位于所述转运腔沿第二方向背离所述风机的一侧，所述第二方向与所述第一方向交叉布置，所述风机的出风方向沿所述第二方向指向所述第一排放装置。

3.根据权利要求2所述的转运设备，其特征在于，所述转运腔的腔壁内具有位于所述转运腔外的换热风腔，所述转运设备还包括位于所述换热风腔内的换热器，所述换热风腔的进风口位于所述转运腔沿所述第二方向背离所述风机的一侧，所述换热风腔的出风口位于所述转运腔沿所述第二方向朝向所述风机的一侧。

4.根据权利要求2所述的转运设备，其特征在于，当所述承载装置位于所述转运腔内，所述承载装置沿所述第二方向位于所述风机和所述第一排放装置之间。

5.根据权利要求2所述的转运设备，其特征在于，所述转运设备包括位于所述转运腔内的第一检测器，所述第一检测器用于检测空气中颗粒物的参数，所述第一检测器位于所述转运腔沿所述第二方向朝向所述风机的一侧。

6.根据权利要求1所述的转运设备，其特征在于，所述转运设备还包括离子降尘器，所述离子降尘器位于所述转运腔的顶部，沿所述承载装置的移动方向投影，所述离子降尘器的投影区域和所述承载装置的投影区域间隔布置。

7.根据权利要求1~6任一项所述的转运设备，其特征在于，所述转运设备还包括第二排放装置，所述第二排放装置连接在所述转运室的上端。

8.根据权利要求7所述的转运设备，其特征在于，所述转运设备还包括汇流装置，所述汇流装置分别与所述第一排放装置和所述第二排放装置连接，所述汇流装置具有排放接口，所述第一排放装置用于连通所述排放接口和所述转运腔的底部，所述第二排放装置用于连通所述排放接口和所述转运腔的顶部。

9.根据权利要求7所述的转运设备，其特征在于，在所述转运设备处于工作模式的情况下，所述第一排放装置和所述第二排放装置的其中之一处于打开状态，所述第一排放装置和所述第二排放装置的其中另一处于关闭状态。

10.根据权利要求7所述的转运设备，其特征在于，所述转运设备还包括第二检测器，所述第二检测器安装于所述第二排放装置以检测从所述第二排放装置排出的空气中的颗粒物的参数；和/或，所述转运设备还包括位于所述转运腔内的第三检测器，所述第三检测器用于检测空气中颗粒物的参数，所述第三检测器位于所述转运腔沿第二方向朝向所述第一排放装置的一侧，第三检测器位于所述转运腔的下方，所述第二方向与所述承载装置的移动方向交叉布置。