图像感测装置以及制造图像感测装置的方法与流程

所公开技术的实施方式涉及一种图像感测装置以及制造图像感测装置的方法。

背景技术：

1、随着信息和通信技术的发展以及电子设备的数字化，高性能图像传感器越来越多地用于各种应用，例如数码相机、摄像机、移动电话、个人通信系统（pcs）、游戏设备、安全相机和医疗微型相机。

2、通常，图像传感器包括像素区域和外围电路区域，像素区域包括诸如光电二极管的光电检测器。单位像素包括光电二极管和晶体管。晶体管放置在光电二极管与浮置扩散区域之间以将由光电二极管产生的电荷传输到浮置扩散区域。

技术实现思路

1、所公开技术的实施方式提供了一种图像感测装置，其可以减少光入射损失并提高光反射效率。所公开技术的实施方式还提供了一种制造图像感测装置的方法。

2、所公开技术的实施方式提供了一种可以实现入射光的更顺畅收集的图像感测装置。所公开技术的实施方式还提供了一种制造图像感测装置的方法。

3、所公开技术的实施方式提供了一种具有减少的相邻像素之间的串扰的图像感测装置。所公开技术的实施方式还提供了一种制造图像感测装置的方法。

4、所公开技术的实施方式提供了一种图像感测装置，能够提高图像传感器的检测性能，从而提高信号质量并且提高图像质量。所公开技术的实施方式还提供了一种制造图像感测装置的方法。

5、所公开技术的技术效果和优点不限于上面提到的那些，并且附加益处从以下实施方式中可以显而易见。

6、在所公开技术的实施方式中，基于实施方式的图像感测装置可以包括：多个绝缘层，其包括第一绝缘层、设置在第一绝缘层上方的第二绝缘层和设置在反射图案上方的第三绝缘层；基板部分，其设置在第三绝缘层上方；光电检测器，其设置在基板部分内并且配置成将入射光转换成电信号；反射图案，其设置在第二绝缘层和第三绝缘层之间并且配置成朝向光电检测器反射光；以及隔离层，其设置在基板部分与相邻基板部分之间，其中，反射图案可以与隔离层直接接触。

7、基于所公开技术的另一实施方式的图像感测装置可以包括：基板部分；光电检测器，其设置在基板部分内并且配置成将入射光转换成电信号；隔离层，其与基板部分相邻设置；以及反射图案，其设置在基板部分下方并且配置成朝向光电检测器反射光，其中，基板部分设置在像素区域中，并且隔离层设置在与像素区域相邻设置的非像素区域中，其中，反射图案包围像素区域。

8、基于所公开技术的实施方式的制造图像感测装置的方法可以包括以下步骤：通过使包括光电检测器的基板部分在基板部分的厚度方向上凹陷来形成隔离层；使设置在基板部分上方的第三绝缘层图案化；使设置在第三绝缘层上方的反射图案图案化；以及使设置在反射图案上方的第二绝缘层图案化，其中，反射图案可以与设置在基板部分与相邻基板部分之间的隔离层直接接触。

9、在一些实施方式中，图像感测装置和制造图像感测装置的方法可以减少入射光的损失并且更有效地反射光。

10、此外，图像感测装置和制造图像感测装置的方法可以增强光收集，从而提高整体光学性能。

11、此外，可以减少相邻像素之间的串扰。

12、因此，可以提高图像传感器的检测性能，从而提高信号质量和整体图像质量。

13、然而，应当理解，提供详细描述和具体示例仅用于说明。可以基于具体示例进行各种修改和改变。

1.一种图像感测装置，所述图像感测装置包括：

2.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，

3.根据权利要求2所述的图像感测装置，其中，所述反射图案的至少一端与所述隔离层的与所述第二绝缘层相对的下表面直接接触。

4.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述反射图案的至少一端与所述隔离层的横向表面直接接触。

5.根据权利要求4所述的图像感测装置，其中，所述反射图案的部分被插入到所述基板部分中，并且所述反射图案的插入到所述基板部分中的所述部分包括所述反射图案的与所述隔离层的所述横向表面直接接触的所述至少一端。

6.根据权利要求1所述的图像感测装置，所述图像感测装置还包括：

7.根据权利要求6所述的图像感测装置，所述图像感测装置还包括：

8.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，

9.根据权利要求8所述的图像感测装置，其中，设置在所述多个像素中的所述反射图案彼此物理分离。

10.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述第三绝缘层设置在所述基板部分与所述反射图案之间。

11.根据权利要求10所述的图像感测装置，其中，所述第三绝缘层被所述基板部分和所述反射图案围绕。

12.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述反射图案设置在所述第二绝缘层与所述第三绝缘层之间，并且

13.根据权利要求12所述的图像感测装置，其中，所述隔离层设置成在厚度方向上穿过所述基板部分，并且

14.一种图像感测装置，所述图像感测装置包括：

15.根据权利要求14所述的图像感测装置，其中，所述反射图案的至少一端与所述隔离层直接接触。

16.根据权利要求14所述的图像感测装置，所述图像感测装置还包括：

17.根据权利要求16所述的图像感测装置，其中，所述第三绝缘层设置在所述基板部分与所述反射图案之间，并且

18.根据权利要求14所述的图像感测装置，所述图像感测装置还包括：

19.根据权利要求18所述的图像感测装置，所述图像感测装置还包括：

20.一种制造图像感测装置的方法，所述制造图像感测装置的方法包括以下步骤：