一种半导体夹取运输装置的制作方法

本技术涉及半导体运输，具体为一种半导体夹取运输装置。

背景技术：

1、加工车间内半导体夹取运输一般有两种方式实现：一种采用人工搬运，搬运过程存在车间过道狭窄、易产生振动损伤工件以及重复劳动多等缺点，另一种为空中运输的天车导轨形式实现自动化转运，以上述天车导轨运输方式的半导体夹取运输装置为例。

2、部分半导体夹取运输装置，其装置主体多数采用分布式设置的真空吸盘或弹簧夹持组件对半导体加工件进行夹取吸附限位，上述装置内部设置的夹取结构不易于组装拆卸，因此，针对上述问题提出一种半导体夹取运输装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种半导体夹取运输装置，用于解决上述提出的装置主体内部设置的夹取结构不易于组装拆卸的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种半导体夹取运输装置，包括运输结构以及柔性夹取结构，所述运输结构底部设置有柔性夹取结构，所述柔性夹取结构包括电动伸缩杆装置、轴杆、卡块、螺纹块、第一套筒、插块、第一盖板、第一柔性硅胶垫、第二套筒、第二盖板、第二柔性硅胶垫、缓冲弹簧以及条板，所述轴杆顶端固定设置有卡块，所述轴杆底端固定设置有螺纹块，所述第一套筒顶端固定设置有插块，所述第一套筒下方右侧固定设置有第一盖板，所述第一盖板底端固定设置有第一柔性硅胶垫，所述第二套筒上方右侧固定设置有第二盖板，所述第二盖板顶端固定设置有第二柔性硅胶垫，所述第二套筒顶端、第一套筒底端之间安装放置有缓冲弹簧，所述第二套筒上方左侧固定设置有条板。

4、优选的，所述运输结构包括筒架、天车滑台、天车电动导轨、承架以及导向杆，所述筒架顶端内部固定设置有天车滑台，所述天车滑台与天车电动导轨导向滑动设置，所述筒架底端固定设置有承架，所述承架底端固定设置有导向杆。

5、优选的，所述导向杆通过螺柱螺纹装配设置有耳块，所述耳块底端插装放置有插块。

6、优选的，所述卡块安装放置在电动伸缩杆装置底端内部，所述电动伸缩杆装置下方外侧螺纹装配设置有筒盖。

7、优选的，所述条板内部与轴杆安装放置，所述条板底部、轴杆底部安装放置有橡胶圈，所述螺纹块外侧螺纹装配设置有螺母以及锁紧螺纹盖。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、本实用新型中，通过上述设置的运输结构以及柔性夹取结构，电动伸缩杆装置带动轴杆以及第二套筒上升，使得缓冲弹簧处于被压缩状态，第一柔性硅胶垫、第二柔性硅胶垫起到对半导体加工件的柔性夹持作用，导向杆通过螺柱螺纹装配设置有耳块，卡块安装放置在电动伸缩杆装置底端内部，电动伸缩杆装置下方外侧螺纹装配设置有筒盖，条板底部、轴杆底部安装放置有橡胶圈，螺纹块外侧螺纹装配设置有螺母以及锁紧螺纹盖，装置主体方便对半导体加工件进行边缘柔性夹持限位，且装置内部设置的夹取结构易于组装拆卸。

1.一种半导体夹取运输装置，包括运输结构(1)以及柔性夹取结构(2)，其特征在于：所述运输结构(1)底部设置有柔性夹取结构(2)，所述柔性夹取结构(2)包括电动伸缩杆装置(201)、轴杆(202)、卡块(203)、螺纹块(204)、第一套筒(207)、插块(208)、第一盖板(209)、第一柔性硅胶垫(210)、第二套筒(211)、第二盖板(212)、第二柔性硅胶垫(213)、缓冲弹簧(214)以及条板(215)，所述轴杆(202)顶端固定设置有卡块(203)，所述轴杆(202)底端固定设置有螺纹块(204)，所述第一套筒(207)顶端固定设置有插块(208)，所述第一套筒(207)下方右侧固定设置有第一盖板(209)，所述第一盖板(209)底端固定设置有第一柔性硅胶垫(210)，所述第二套筒(211)上方右侧固定设置有第二盖板(212)，所述第二盖板(212)顶端固定设置有第二柔性硅胶垫(213)，所述第二套筒(211)顶端、第一套筒(207)底端之间安装放置有缓冲弹簧(214)，所述第二套筒(211)上方左侧固定设置有条板(215)。

2.根据权利要求1所述一种半导体夹取运输装置，其特征在于：所述运输结构(1)包括筒架(11)、天车滑台(12)、天车电动导轨(13)、承架(14)以及导向杆(15)，所述筒架(11)顶端内部固定设置有天车滑台(12)，所述天车滑台(12)与天车电动导轨(13)导向滑动设置，所述筒架(11)底端固定设置有承架(14)，所述承架(14)底端固定设置有导向杆(15)。

3.根据权利要求2所述一种半导体夹取运输装置，其特征在于：所述导向杆(15)通过螺柱螺纹装配设置有耳块(206)，所述耳块(206)底端插装放置有插块(208)。

4.根据权利要求1所述一种半导体夹取运输装置，其特征在于：所述卡块(203)安装放置在电动伸缩杆装置(201)底端内部，所述电动伸缩杆装置(201)下方外侧螺纹装配设置有筒盖(205)。

5.根据权利要求1所述一种半导体夹取运输装置，其特征在于：所述条板(215)内部与轴杆(202)安装放置，所述条板(215)底部、轴杆(202)底部安装放置有橡胶圈(216)，所述螺纹块(204)外侧螺纹装配设置有螺母(217)以及锁紧螺纹盖(218)。