一种装载结构及生产线的制作方法

本技术涉及半导体制造，具体涉及一种装载结构及生产线。

背景技术：

1、在半导体、光电显示等精密制造领域中，机台常通过机械手或夹爪从装载结构（或称片盒、载具）中抓取产品（如玻璃基板、硅片等）进行传输或加工。现有装载结构设计中，产品作业有效面积较大，且紧邻输送承载器具，导致机台夹爪在抓取产品时，因夹取空间不足，容易夹伤产品边缘，造成产品压伤甚至报废。

2、因此，现有技术有待于进一步发展。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服上述技术不足，提供一种装载结构及生产线，以解决相关技术中半导体器件在转运时容易被夹伤的技术问题。

2、为达到上述技术目的，本实用新型采取了以下技术方案：提供了一种装载结构，包括装载主体，所述装载主体上设有用于容纳产品的容纳槽，所述装载主体在夹爪动作区域设有避让槽，所述避让槽用于提供夹爪操作空间，避免夹爪与产品边缘接触；

3、其中，所述装载主体包括相对设置的第一装载板和第二装载板；所述第一装载板和所述第二装载板上均设置有所述容纳槽；所述避让槽设置在所述第一装载板和所述第二装载板的至少一个上；所述避让槽的第一端与所述容纳槽连接；所述避让槽的第二端延伸至所述装载主体的外部。

4、进一步地，所述第一装载板上设置有多个所述容纳槽，多个所述容纳槽相间隔地设置；所述第二装载板上设置有多个所述容纳槽；所述第一装载板上的所述容纳槽与所述第二装载板上的所述容纳槽一一对应地设置；所述避让槽与所述第一装载板上的多个所述容纳槽均连通。

5、进一步地，所述装载主体包括顶板和底板；所述第一装载板的一端与所述顶板连接；所述第一装载板的另一端与所述底板连接；所述第二装载板的一端与所述顶板连接；所述第二装载板的另一端与所述底板连接；所述避让槽凹陷于所述第一装载板的表面设置，所述避让槽的第三端延伸至所述顶板，所述避让槽的第四端延伸至所述底板。

6、进一步地，所述装载结构还包括引导槽；所述引导槽凹陷于所述避让槽的槽底设置；所述引导槽的一端与所述容纳槽连通，所述引导槽的另一端延伸至所述装载主体的外部。

7、进一步地，所述引导槽的槽口朝向夹爪进入方向，所述引导槽的槽口边缘设有导向结构，便于夹爪进入。

8、进一步地，沿所述避让槽远离所述容纳槽的方向，所述引导槽的横截面积逐渐增大。

9、进一步地，所述容纳槽的内壁上设置有卡块；所述卡块凸出于所述容纳槽的内壁设置；所述卡块与所述装载主体的边缘之间的最短距离为l；所述避让槽的第一端与第二端之间的最短距离为l；其中，l＜1.5l。

10、一种生产线，包括装载结构和转运装置，所述转运装置包括夹爪；所述夹爪用于夹取所述装载结构上的产品；所述装载结构为上述的装载结构。

11、有益效果：

12、本实用新型的装载结构，所述避让槽的一端与所述容纳槽连接，其另一端延伸至所述装载主体的外部。此结构为夹爪在进入容纳槽夹取产品前和夹取过程中提供了额外的操作空间。当所述夹爪进行夹持动作时，沿其移动方向，所述避让槽的横截面积大于所述容纳槽的横截面积。通过设置横截面积更大的避让槽，从根本上扩大了夹爪的操作范围，避免了因空间不足导致夹爪与产品边缘发生挤压和碰撞，有效防止了产品边缘的压伤和报废。装载结构解决了相关技术中半导体器件在转运时容易被夹伤的技术问题。

1.一种装载结构，包括装载主体（1），所述装载主体（1）上设有用于容纳产品的容纳槽（2），其特征在于：所述装载主体（1）在夹爪动作区域设有避让槽（10），所述避让槽（10）用于提供夹爪操作空间，避免夹爪与产品边缘接触；

2.根据权利要求1所述的装载结构，其特征在于：所述第一装载板（6）上设置有多个所述容纳槽（2），多个所述容纳槽（2）相间隔地设置；所述第二装载板（7）上设置有多个所述容纳槽（2）；所述第一装载板（6）上的所述容纳槽（2）与所述第二装载板（7）上的所述容纳槽（2）一一对应地设置；所述避让槽（10）与所述第一装载板（6）上的多个所述容纳槽（2）均连通。

3.根据权利要求2所述的装载结构，其特征在于：所述装载主体（1）包括顶板（13）和底板（14）；所述第一装载板（6）的一端与所述顶板（13）连接；所述第一装载板（6）的另一端与所述底板（14）连接；所述第二装载板（7）的一端与所述顶板（13）连接；所述第二装载板（7）的另一端与所述底板（14）连接；所述避让槽（10）凹陷于所述第一装载板（6）的表面设置，所述避让槽（10）的第三端延伸至所述顶板（13），所述避让槽（10）的第四端延伸至所述底板（14）。

4.根据权利要求3所述的装载结构，其特征在于：所述装载结构还包括引导槽（3）；所述引导槽（3）凹陷于所述避让槽（10）的槽底设置；所述引导槽（3）的一端与所述容纳槽（2）连通，所述引导槽（3）的另一端延伸至所述装载主体（1）的外部。

5.根据权利要求4所述的装载结构，其特征在于：所述引导槽（3）的槽口朝向夹爪进入方向，所述引导槽（3）的槽口边缘设有导向结构（4），便于夹爪进入。

6.根据权利要求5所述的装载结构，其特征在于：沿所述避让槽（10）远离所述容纳槽（2）的方向，所述引导槽（3）的横截面积逐渐增大。

7.根据权利要求1所述的装载结构，其特征在于：所述容纳槽（2）的内壁上设置有卡块（5）；所述卡块（5）凸出于所述容纳槽（2）的内壁设置；所述卡块（5）与所述装载主体（1）的边缘之间的最短距离为l；所述避让槽（10）的第一端与第二端之间的最短距离为l；其中，l＜1.5l。

8.一种生产线，包括装载结构和转运装置，所述转运装置包括夹爪；所述夹爪用于夹取所述装载结构上的产品；其特征在于，所述装载结构为权利要求1至7中任一项所述的装载结构。