一种设备前端模块及其控制方法与流程

本申请涉及半导体设备，具体而言，涉及一种设备前端模块及其控制方法。

背景技术：

1、设备前端模块（equipment front end module，简称efem）是半导体制造中连接晶圆盒与工艺设备的关键自动化模块。efem通过构建局部高洁净度微环境，实现晶圆从晶圆盒到工艺设备之间的高效、自动传送，是半导体晶圆加工产线中不可或缺的物流中转与对位环节。

2、然而，现有efem中的寻边器仅能适配单一类型的晶圆，比如，仅能处理常规晶圆或铁环晶圆中的一种，当生产线需要同时处理常规晶圆和铁环晶圆两种不同类型的工件时，必须配备多台efem或频繁更换寻边器模块，这显著增加了设备投入成本和生产线复杂度，降低了生产效率。

3、随着半导体产业对产能利用率和设备通用性的要求不断提高，亟需一种能够兼容多种类型工件的设备前端模块，使单台efem即可处理常规晶圆和铁环晶圆两种不同类型的工件，从而降低设备投入成本，提高生产线的灵活性和效率。

技术实现思路

1、基于此，本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中设备前端模块仅能适配单一类型晶圆、无法兼容不同类型工件的缺陷。

2、为解决上述技术问题，本发明采用技术方案的基本构思是：

3、本发明的第一方面，提供了一种设备前端模块，包括：

4、壳体，设有处理腔室；

5、寻边对齐装置，设置于所述处理腔室内，所述寻边对齐装置包括第一寻边机构和第二寻边机构，所述第一寻边机构被配置为对第一类工件执行寻边对位，所述第二寻边机构被配置为对第二类工件执行寻边对位。

6、在其中一个实施例中，所述第一寻边机构设有第一承载件，所述第二寻边机构设有第二承载件，所述第一承载件和所述第二承载件中的至少一者设有夹持组件，所述夹持组件包括夹持块和驱动件，所述夹持块滑动设置在第一承载件和/或所述第二承载件上，所述驱动件与所述夹持块传动连接。

7、在其中一个实施例中，所述第一承载件连接有旋转驱动件和对中驱动模组，所述夹持块被配置为在所述第二承载件上沿其径向方向滑动。

8、在其中一个实施例中，还包括：

9、放置盒，设置于所述壳体，所述放置盒与所述处理腔室连通；

10、设备接口，设置于所述壳体，用于连接外部工艺设备；

11、机械手，设置于所述处理腔室内；

12、控制器，被配置为控制所述机械手在所述放置盒、所述寻边对齐装置及所述设备接口之间传送工件；

13、所述控制器设有第一控制输出端和第二控制输出端，所述第一控制输出端连接至所述第一寻边机构，所述第二控制输出端连接至所述第二寻边机构，所述控制器被配置为根据工件的类型选择性地通过所述第一控制输出端或所述第二控制输出端控制对应的所述寻边机构执行寻边对位。

14、在其中一个实施例中，所述控制器还设有第三控制输出端，所述第三控制输出端连接至所述机械手，所述控制器被配置为：根据所述第一控制输出端或所述第二控制输出端的导通状态，控制所述机械手从所述第一寻边机构或所述第二寻边机构取送工件。

15、在其中一个实施例中，所述第一寻边机构和所述第二寻边机构在竖直方向上叠层布置，所述机械手的末端执行器在竖直方向上设有第一操作高度和第二操作高度，所述第一操作高度对应于所述第一寻边机构的第一承载件，所述第二操作高度对应于所述第二寻边机构的第二承载件。

16、在其中一个实施例中，所述设备前端模块还包括翻转机构，设置于所述处理腔室内，所述翻转机构位于所述寻边对齐装置与所述设备接口之间。

17、在其中一个实施例中，所述设备前端模块还包括检测组件，设置于所述处理腔室内，所述检测组件位于所述放置盒与所述寻边对齐装置之间，所述检测组件的检测端朝向所述机械手的传送路径。

18、在其中一个实施例中，所述设备前端模块还包括空气净化单元和操作面板；

19、所述空气净化单元设置于所述壳体，与所述处理腔室连通，并与所述控制器电性连接；

20、所述操作面板设置于所述壳体的外壁，与所述控制器电性连接。

21、本发明的第一方面，提供一种设备前端模块的控制方法，应用于上述的设备前端模块，所述控制方法包括：

22、所述控制器接收工件类型信号；

23、所述控制器根据所述工件类型信号选择所述第一寻边机构或所述第二寻边机构导通；

24、所述控制器控制所述机械手将工件传送至被选择的所述寻边机构，并使被选择的所述第一寻边机构或所述第二寻边机构对工件执行寻边对位；

25、所述控制器控制所述机械手将经寻边对位后的工件传送至设备接口。

26、采用上述技术方案后，本发明与现有技术相比设有以下有益效果。

27、本发明通过将包含第一寻边机构和第二寻边机构的寻边对齐装置集成于设备前端模块的处理腔室内，使单台设备前端模块能够根据工件类型选择对应的寻边机构执行寻边对位，设备前端模块无需配备多台寻边器或频繁更换寻边器模块，即可同时兼容第一类工件和第二类工件两种不同类型的工件，显著降低了设备投入成本，提升了生产线的通用性和灵活性。

1.一种设备前端模块，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的设备前端模块，其特征在于，所述第一寻边机构设有第一承载件，所述第二寻边机构设有第二承载件，所述第一承载件和所述第二承载件中的至少一者设有夹持组件，所述夹持组件包括夹持块和驱动件，所述夹持块滑动设置在第一承载件和/或所述第二承载件上，所述驱动件与所述夹持块传动连接。

3.根据权利要求2所述的设备前端模块，其特征在于，所述第一承载件连接有旋转驱动件和对中驱动模组，所述夹持块被配置为在所述第二承载件上沿其径向方向滑动。

4.根据权利要求1至3任一项所述的设备前端模块，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求4所述的设备前端模块，其特征在于，所述控制器还设有第三控制输出端，所述第三控制输出端连接至所述机械手，所述控制器被配置为：根据所述第一控制输出端或所述第二控制输出端的导通状态，控制所述机械手从所述第一寻边机构或所述第二寻边机构取送工件。

6.根据权利要求5所述的设备前端模块，其特征在于，所述第一寻边机构和所述第二寻边机构在竖直方向上叠层布置，所述机械手的末端执行器在竖直方向上设有第一操作高度和第二操作高度，所述第一操作高度对应于所述第一寻边机构的第一承载件，所述第二操作高度对应于所述第二寻边机构的第二承载件。

7.根据权利要求6所述的设备前端模块，其特征在于，还包括翻转机构，设置于所述处理腔室内，所述翻转机构位于所述寻边对齐装置与所述设备接口之间。

8.根据权利要求7所述的设备前端模块，其特征在于，还包括检测组件，设置于所述处理腔室内，所述检测组件位于所述放置盒与所述寻边对齐装置之间，所述检测组件的检测端朝向所述机械手的传送路径。

9.根据权利要求8所述的设备前端模块，其特征在于，还包括空气净化单元和操作面板；

10.一种设备前端模块的控制方法，应用于权利要求4至9中任一项所述的设备前端模块，所述控制方法包括：