一种半导体晶圆片存放设备的制作方法

本技术属于存放设备，特别是涉及一种半导体晶圆片存放设备。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的ic产品。生产制成的晶圆通常需要放置于储存柜中进行储存。

2、公开号为cn216830831u的一篇中国专利申请公开了晶圆储存放置货架，包括储存货架，储存货架内腔由分隔板分隔为一级储存室、二级储存室和三级储存室，一级储存室由多片固定挡板分隔为若干个标准储存分格，二级储存室、三级储存室均由多片可调挡板分隔为若干个可调式储存分格。本实用新型中，储存货架的内腔由多片分隔板分隔为一级储存室、二级储存室和三级储存室，一级储存室由多片固定挡板分隔为若干个标准储存分格，标准储存分格用于放置常用的标准规格晶圆，二级储存室、三级储存室中均设有多片呈垂直设置的可调挡板，二级储存室、三级储存室均由多片可调挡板分隔为若干个可调式储存分格，可调式储存分格可进行改变调节宽度尺寸，用于与制成的晶圆规格配适。

3、但是该专利在拿取高处晶圆的时候需要工作人员进行登高，不仅存在安全隐患，且在拿取的时候还不方便，造成拿取时长的增加。为此，我们提供了一种半导体晶圆片存放设备，用以解决上述中的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种半导体晶圆片存放设备，通过存放组件和拿取组件的配合，解决了现有技术中的存放设备不便于拿取高处晶圆的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的。

3、本实用新型为一种半导体晶圆片存放设备，包括存放组件，所述存放组件的表面固定连接有拿取组件，所述存放组件包括存放柜，所述存放柜的表面通过铰链铰接有柜门，所述存放柜的内腔通过滑轨滑动连接有存放盒，所述拿取组件包括固定连接于存放柜顶部一侧的安装座，安装座的底部固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有丝杆，所述丝杆的表面螺纹连接有移动座，所述移动座的背面贯穿设置有液压伸缩杆一，所述液压伸缩杆一的两侧均固定连接有支撑板，所述支撑板的前端与移动座固定连接，所述支撑板的一侧与存放柜滑动连接，所述液压伸缩杆一的输出端固定连接有连接板，所述连接板的内壁固定连接有液压伸缩杆二，所述液压伸缩杆二的输出端固定连接有夹持座，所述夹持座的顶部通过安装座固定连接有液压伸缩杆三，所述液压伸缩杆三的输出端固定连接有插销。

4、本实用新型进一步设置为，所述存放柜底部的四角均固定连接有垫块，垫块的底部设置有防滑纹，垫块和防滑纹设计，增大了设备与地面的摩擦力，有效防止存放设备在使用过程中发生滑动位移，提升了设备放置的稳定性。

5、本实用新型进一步设置为，所述柜门的内表面固定连接有密封圈，密封圈与存放柜的内壁接触，密封圈与存放柜内壁紧密接触，形成密封结构，能够阻挡外界灰尘、水汽等污染物进入存放柜内部，为晶圆存储提供洁净环境。

6、本实用新型进一步设置为，所述存放盒包括盒体，所述盒体的内腔通过粘合剂粘结有减震泡棉，所述减震泡棉的顶部开设有放置晶圆的凹槽，减震泡棉可吸收振动冲击，避免晶圆在存储或移动过程中因碰撞发生机械损伤，起到缓冲保护作用。

7、本实用新型进一步设置为，所述盒体的内壁开设有滑槽，滑槽的内腔滑动连接有盖板，所述盖板的顶部开设有扣槽，滑槽供盖板滑动开合，盖板可封闭盒体顶部开口，防止外界污染物落入晶圆表面，扣槽设计则便于手动操作盖板的开启与关闭。

8、本实用新型进一步设置为，所述盒体的表面固定连接有把手，把手的内腔开设有配合插销使用的销孔，把手为存放盒的抽拉提供施力点，销孔与插销配合，使拿取组件能稳固夹持存放盒，确保自动化抓取过程的可靠性。

9、本实用新型进一步设置为，所述盒体的表面固定连接有标签袋，所述标签袋的内腔放置有标签，标签袋可放置记录晶圆信息的标签，实现晶圆规格、批次等信息的可视化管理，便于快速识别与取用。

10、本实用新型进一步设置为，所述存放柜一侧的前后两端均开设有限位槽，所述限位槽的内腔滑动连接有限位块，所述限位块的另一侧与支撑板固定连接，限位槽与限位块滑动配合，为支撑板的升降运动提供导向约束，防止其发生偏移晃动，保障拿取组件运行的稳定性。

11、本实用新型具有以下有益效果。

12、1、本实用新型通过集成自动化拿取组件，有效解决了传统晶圆存放设备拿取高处晶圆需人工登高的问题，伺服电机驱动丝杆旋转，将旋转运动转化为移动座沿丝杆直线运动，配合液压伸缩杆一的伸缩调节高度，液压伸缩杆二控制夹持座水平伸缩，实现对不同高度、深度存放盒的精准定位抓取，插销与把手销孔的配合确保抓取稳固，全程无需人工攀爬，消除了登高作业的安全隐患。同时，机械结构的协同动作减少了人工操作的繁琐步骤，显著缩短了拿取时长，提升了晶圆存取的效率与安全性。

13、2、本实用新型通过多重结构优化为晶圆提供了高防护存储环境，柜门内表面的密封圈与存放柜内壁紧密接触，形成有效密封屏障，可阻挡外界灰尘、湿气侵入，存放盒内的减震泡棉开设适配晶圆形状的凹槽，能吸收运输或存取过程中的振动冲击，避免晶圆边缘受损，盖板通过滑槽滑动闭合，进一步隔绝污染物，标签袋则实现了晶圆信息的直观识别与管理。这些设计共同解决了传统存储中晶圆易受污染、损伤及识别困难的问题，保障了晶圆的存储质量。

1.一种半导体晶圆片存放设备，包括存放组件（1），其特征在于：所述存放组件（1）的表面固定连接有拿取组件（2）；

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片存放设备，其特征在于：所述存放柜（11）底部的四角均固定连接有垫块，垫块的底部设置有防滑纹。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片存放设备，其特征在于：所述柜门（12）的内表面固定连接有密封圈，密封圈与存放柜（11）的内壁接触。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片存放设备，其特征在于：所述存放盒（13）包括盒体（131），所述盒体（131）的内腔通过粘合剂粘结有减震泡棉（132），所述减震泡棉（132）的顶部开设有放置晶圆的凹槽。

5.根据权利要求4所述的一种半导体晶圆片存放设备，其特征在于：所述盒体（131）的内壁开设有滑槽，滑槽的内腔滑动连接有盖板（133），所述盖板（133）的顶部开设有扣槽。

6.根据权利要求4所述的一种半导体晶圆片存放设备，其特征在于：所述盒体（131）的表面固定连接有把手，把手的内腔开设有配合插销（210）使用的销孔。

7.根据权利要求4所述的一种半导体晶圆片存放设备，其特征在于：所述盒体（131）的表面固定连接有标签袋（134），所述标签袋（134）的内腔放置有标签。

8.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片存放设备，其特征在于：所述存放柜（11）一侧的前后两端均开设有限位槽（14），所述限位槽（14）的内腔滑动连接有限位块（15），所述限位块（15）的另一侧与支撑板（25）固定连接。