边框分解装置的制作方法

本技术涉及半导体加工，涉及一种边框分解装置。

背景技术：

1、随着电子产品越来越朝微观方向发展，芯片越来越小也越来越薄，随之而来的是晶圆的厚度越来越薄，把晶圆加工成芯片时，需要将晶圆与其上的边框进行分离，方便后续对晶圆进行裂片加工，在取出晶圆时需要过量的顶出力，极易出现应力不均匀，容易导致晶圆弯曲变形，也容易造成晶圆的倾斜，影响边框分解，同时将晶圆顶出分离后，其边框容易出现卡料堆积的情况，影响后续晶圆边框的分解加工。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是提供一种可以快速对产品与边框进行分解，边框实现二次分解导料，提高分解下料的效率的边框分解装置。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种边框分解装置，包括：

4、定位治具，其上设置有用于定位产品的定位平面；

5、导料组件，设置于所述定位治具上，所述导料组件包导料框，所述导料框上设置有导料通道，所述导料通道上设置有挡料板，所述定位治具设置在所述挡料板的中部，所述定位治具两侧设置有锥形导板，所述锥形导板设置在挡料板形上并与其形成对分解后的边框导向的导向斜面；

6、搬运组件，与所述定位治具相对设置，所述搬运组件包括驱动部件和搬运抓手，所述搬运抓手与驱动部件驱动连接，所述驱动部件用于带动搬运抓手对产品吸取后进行移载搬运；

7、分解组件，设置于搬运抓手上，所述分解组件包括多个分解部件，多个分解部件围设在搬运抓手上，且所述分解部件与产品的边框相对设置，所述分解部件用于对定位治具上的产品边框进行同步或者异步压料使其与产品分解。

8、在本实用新型的一个实施例中，所述定位平面上设置有吸气孔，所述吸气孔产生负压对产品进行吸附定位，所述定位治具四周围设有导向板，所述导向板上设置有延伸向上的固定斜面。

9、在本实用新型的一个实施例中，所述导料框设置有在移动板上，所述移动板滑设有固定板上的导轨上，所述移动板与固定板上均设置有与所述导料通道相匹配的避让开槽，所述固定板上设置有调整架，转设在所述调整架上的螺杆与移动板上的螺孔连接，通过转动螺杆使其与螺孔旋合连接以此调整移动板上的导料框的位置。

10、在本实用新型的一个实施例中，所述移动板上设置有腰型槽，所述腰型槽与所述导轨平行设置，所述固定板上设置有与所述腰型槽相匹配的固定块，所述腰型槽上设置有移动螺钉，所述移动螺钉穿设过所述腰型槽与所述固定块连接。

11、在本实用新型的一个实施例中，所述移动板上设置有治具板，所述治具板上设置有治具槽，所述导料框设置在所述治具槽上，所述挡料板设置在所述治具槽上，所述治具板将所述治具槽分隔成与导料通道相连通的下料通道，所述治具板上设置有条形槽，所述条形槽上设置有治具螺钉，所述治具螺钉穿设过所述条形槽与移动板上的螺纹孔连接。

12、在本实用新型的一个实施例中，所述驱动部件包括驱动架，所述驱动架上设置有横移直线模组，所述横移直线模组与横移架驱动连接，所述横移架上设置有升降直线模组，所述升降直线模组与升降架驱动连接，所述搬运抓手设置在升降架上，所述横移直线模组与升降直线模组用于带动驱动架上的搬运抓手运动。

13、在本实用新型的一个实施例中，所述搬运抓手包括取料块，所述取料块上设置有取料平面，所述取料平面上设置有吸附孔，所述吸附孔产生负压对产品进行吸附抓取。

14、在本实用新型的一个实施例中，所述产品在定位平面的投影面积大于等于所述定位平面的面积，所述产品与边框的连接处处于悬空状态。

15、在本实用新型的一个实施例中，所述产品在取料平面上的投影面积大于等于所述取料平面的面积，使得所述产品边缘与取料平面之间具有间隙。

16、在本实用新型的一个实施例中，所述分解部件包括连接架，所述连接架设置在搬运抓手上，所述连接架上设置有推料气缸，所述推料气缸与推料板驱动连接，所述推料板与搬运抓手相对设置。

17、本实用新型的有益效果：

18、本实用新型的驱动部件带动搬运抓手对带有边框的产品吸取后搬运至定位平面上进行定位，围设在搬运抓手上的分解部件再对产品边框进行同步或者异步压料使其与产品分解，分解后的边框落料至锥形导板上，其上的导向斜面对分解后的边框进行导向和二次分解使得边框经由导料通道排出，可以快速对产品与边框进行分解，避免晶圆发生弯曲变形、倾斜、无法正常移载以及碎裂，锥形导板的设置可以实现二次分解导料，提高分解下料的效率，本实用新型简化了晶圆边框分解，有效降低成本，提高晶圆分离的有效性。

1.一种边框分解装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的边框分解装置，其特征在于，所述定位平面上设置有吸气孔，所述吸气孔产生负压对产品进行吸附定位，所述定位治具四周围设有导向板，所述导向板上设置有延伸向上的固定斜面。

3.如权利要求1所述的边框分解装置，其特征在于，所述导料框设置有在移动板上，所述移动板滑设有固定板上的导轨上，所述移动板与固定板上均设置有与所述导料通道相匹配的避让开槽，所述固定板上设置有调整架，转设在所述调整架上的螺杆与移动板上的螺孔连接，通过转动螺杆使其与螺孔旋合连接以此调整移动板上的导料框的位置。

4.如权利要求3所述的边框分解装置，其特征在于，所述移动板上设置有腰型槽，所述腰型槽与所述导轨平行设置，所述固定板上设置有与所述腰型槽相匹配的固定块，所述腰型槽上设置有移动螺钉，所述移动螺钉穿设过所述腰型槽与所述固定块连接。

5.如权利要求3所述的边框分解装置，其特征在于，所述移动板上设置有治具板，所述治具板上设置有治具槽，所述导料框设置在所述治具槽上，所述挡料板设置在所述治具槽上，所述治具板将所述治具槽分隔成与导料通道相连通的下料通道，所述治具板上设置有条形槽，所述条形槽上设置有治具螺钉，所述治具螺钉穿设过所述条形槽与移动板上的螺纹孔连接。

6.如权利要求1所述的边框分解装置，其特征在于，所述驱动部件包括驱动架，所述驱动架上设置有横移直线模组，所述横移直线模组与横移架驱动连接，所述横移架上设置有升降直线模组，所述升降直线模组与升降架驱动连接，所述搬运抓手设置在升降架上，所述横移直线模组与升降直线模组用于带动驱动架上的搬运抓手运动。

7.如权利要求1所述的边框分解装置，其特征在于，所述搬运抓手包括取料块，所述取料块上设置有取料平面，所述取料平面上设置有吸附孔，所述吸附孔产生负压对产品进行吸附抓取。

8.如权利要求1所述的边框分解装置，其特征在于，所述产品在定位平面的投影面积大于等于所述定位平面的面积，所述产品与边框的连接处处于悬空状态。

9.如权利要求7所述的边框分解装置，其特征在于，所述产品在取料平面上的投影面积大于等于所述取料平面的面积，使得所述产品边缘与取料平面之间具有间隙。

10.如权利要求1所述的边框分解装置，其特征在于，所述分解部件包括连接架，所述连接架设置在搬运抓手上，所述连接架上设置有推料气缸，所述推料气缸与推料板驱动连接，所述推料板与搬运抓手相对设置。