电容器导电层及其制备方法、电容器结构与流程

本发明属于微纳，具体涉及一种电容器导电层及其制备方法以及包含该导电层的电容器结构。

背景技术：

1、在微纳技术领域，电容器的射频性能（包括插损与反射特性）直接取决于电极结构设计。四端子电容传统方案通常将顶层金属划分为四个均匀正方形，并在一条对角线处采用较细金属线段连接。该设计虽降低了制造成本与工艺难度，但未考虑等效串联电感（esl）对射频特性的影响。

2、现有技术中，尚未出现能够有效降低esl且具备宽频带工作特性的电极结构设计方案。

3、公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本发明的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种电容器导电层及其制备方法、电容器结构，其通过创新的导电层形态设计，能够显著降低esl，提升电容器的射频性能。

2、为了实现上述目的，本发明一具体实施例提供的技术方案如下：

3、一种电容器导电层，所述导电层被至少两条间隔带划分为多个相互绝缘的导电区域，每条所述间隔带均被配置为由所述导电层的中心区域向外周呈螺旋状延伸；其中，

4、所述导电层被所述间隔带完全分割，或者，所述导电层的中心区域形成有未被所述间隔带分割且与所述导电区域绝缘的中心导电区。

5、在本发明的一个或多个实施例中，所述导电层被构建为n×n的二维网格阵列，其中，n为正整数且n≥2；所述间隔带沿所述网格阵列中网格单元的边缘呈螺旋状延伸。

6、在本发明的一个或多个实施例中，当n为奇数时，所述导电层的中心区域形成有未被分割的所述中心导电区；和/或，

7、当n为偶数时，所述导电层被所述间隔带完全分割。

8、在本发明的一个或多个实施例中，多条所述间隔带的长度相等。

9、在本发明的一个或多个实施例中，多个所述导电区域包括多个第一区域和多个第二区域，所述第一区域和所述第二区域围绕所述导电层的中心区域呈周向交替设置；其中，

10、多个所述第一区域的面积相等，多个所述第二区域的面积相等。

11、在本发明的一个或多个实施例中，多个所述第一区域呈旋转对称分布；多个所述第二区域呈旋转对称分布。

12、在本发明的一个或多个实施例中，多个所述导电区域中全部导电区域的面积均相等；或，

13、多个所述导电区域中部分导电区域的面积相等；或，

14、多个所述导电区域中全部导电区域的面积均不相等。

15、在本发明的一个或多个实施例中，多个所述导电区域中全部导电区域的面积均相等，且所有导电区域呈旋转对称分布；或者，

16、多个所述导电区域中部分导电区域的面积相等，且面积相等的导电区域呈旋转对称分布。

17、在本发明的一个或多个实施例中，所述间隔带至少部分呈帕克螺旋线状；和/或，

18、所述间隔带为沟槽结构或绝缘介质形成的填充结构。

19、一种电容器导电层的制备方法，包括：

20、提供导电层；

21、在所述导电层上形成由所述导电层的中心区域向外周呈螺旋状延伸的分割路径；

22、沿所述分割路径在导电层上形成间隔带，将导电层划分为多个相互绝缘的导电区域；

23、其中，

24、所述导电层被所述间隔带完全分割，或者，所述导电层的中心区域形成有未被所述间隔带分割且与所述导电区域绝缘的中心导电区。

25、在本发明的一个或多个实施例中，在所述导电层上生成由所述导电层的中心区域向外周呈螺旋状延伸的分割路径，包括：

26、在所述导电层上构建二维网格阵列；

27、基于所述二维网格阵列，在所述导电层上形成沿所述网格阵列中网格单元的边缘呈螺旋状延伸的分割路径。

28、一种电容器结构，包括上述的导电层。

29、与现有技术相比，本发明的电容器导电层及其制备方法、电容器结构，通过引入呈螺旋状延伸的间隔带，将导电层分割为多个具有特定几何分布的导电区域，从而显著增强后续设置于导电区域的电极之间的互耦效应，同时降低互感影响，有效改善电容器的射频性能（包括插损与反射特性）。

1.一种电容器导电层，其特征在于，所述导电层被至少两条间隔带划分为多个相互绝缘的导电区域，每条所述间隔带均被配置为由所述导电层的中心区域向外周呈螺旋状延伸；其中，

2.根据权利要求1所述的电容器导电层，其特征在于，所述导电层被构建为n×n的二维网格阵列，其中，n为正整数且n≥2；所述间隔带沿所述网格阵列中网格单元的边缘呈螺旋状延伸。

3.根据权利要求2所述的电容器导电层，其特征在于，当n为奇数时，所述导电层的中心区域形成有未被分割的所述中心导电区；和/或，

4.根据权利要求1或2所述的电容器导电层，其特征在于，多条所述间隔带的长度相等。

5.根据权利要求1或2所述的电容器导电层，其特征在于，多个所述导电区域包括多个第一区域和多个第二区域，所述第一区域和所述第二区域围绕所述导电层的中心区域呈周向交替设置；其中，

6.根据权利要求5所述的电容器导电层，其特征在于，多个所述第一区域呈旋转对称分布；多个所述第二区域呈旋转对称分布。

7.根据权利要求1或2所述的电容器导电层，其特征在于，多个所述导电区域中全部导电区域的面积均相等；或，

8.根据权利要求7所述的电容器导电层，其特征在于，多个所述导电区域中全部导电区域的面积均相等，且所有导电区域呈旋转对称分布；或者，

9.根据权利要求1或2所述的电容器导电层，其特征在于，所述间隔带至少部分呈帕克螺旋线状；和/或，

10.一种电容器导电层的制备方法，其特征在于，包括：

11.根据权利要求10所述的导电层，其特征在于，在所述导电层上生成由所述导电层的中心区域向外周呈螺旋状延伸的分割路径，包括：

12.一种电容器结构，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的导电层。