一种用于移动选择型光阑的减震补偿装置的制作方法

本发明涉及光阑，尤其是涉及一种用于移动选择型光阑的减震补偿装置。

背景技术：

1、移动选择型光阑在电子束设备中具有广泛应用，例如扫描电子显微镜sem、电子束曝光机ebl、透射电子显微镜tem等。该类光阑通过驱动机构移动光阑板，选择不同孔径的光阑孔切入电子束光路，以控制束流强度和束斑尺寸，满足多样化的工艺需求。现有的移动选择型光阑普遍采用悬臂式结构，即驱动模块直接驱动支撑杆沿x轴、y轴方向移动，支撑杆的一端连接驱动模块，支撑杆的另一端伸入真空腔体内部并托举光阑板。光阑孔选择到位后，驱动模块保持力矩锁紧，光阑与支撑杆呈悬臂状态悬空，而且光阑在工作状态下仍呈悬臂状态悬空。电子束设备工作环境中存在多种振动源，如循环冷却水流动、真空泵运转、环境声波、地基微振等。这些振动极易激发悬臂结构的共振或受迫振动，导致光阑孔相对于电子束光轴的位置发生周期性偏移。而电子束对光阑孔的偏移极其敏感，微米甚至亚微米级的位移即可导致束斑畸变、分辨率下降和束流不稳定，严重影响设备的成像质量和加工精度。

2、上述技术问题如何解决，已经成为了业内亟待解决的技术难题。

技术实现思路

1、为了解决现有技术的缺陷，本发明的目的在于提供一种用于移动选择型光阑的减震补偿装置，抑制了支撑杆的悬臂振动空间，提升了稳定性。

2、为实现上述目的，本申请提供一种用于移动选择型光阑的减震补偿装置，包括：基座，基座固定于工作腔体上；

3、耦合块，耦合块设置于基座上，耦合块上设有与移动选择型光阑的支撑杆耦合的耦合接口；

4、第一预紧力单元，至少一个第一预紧力单元设置于耦合块的侧面；

5、支撑杆与耦合接口耦合时，第一预紧力单元用于限制支撑杆的侧向位移。

6、优选地，第一预紧力单元为多个时，第一预紧力单元对称或非对称的设置在耦合块的两侧。

7、优选地，第一预紧力单元包括弹簧，弹簧连接基座和耦合块。

8、优选地，弹簧包括拉伸弹簧、压缩弹簧或板簧。

9、优选地，耦合块可滑动的设置于基座上；

10、在耦合块背向支撑杆的一侧还设有第二预紧力单元，第二预紧力单元一端连接基座，另一端连接耦合块；

11、第二预紧力单元用于限制耦合块在支撑杆的前进方向上的位移。

12、优选地，支撑杆面向耦合块的一侧设有耦合公头，耦合公头与耦合接口相匹配。

13、优选地，耦合接口为锥形耦合母口；

14、耦合接口与耦合公头配合用于实现多向作用力的传递及支撑杆与耦合块之间的定心。

15、优选地，耦合公头设置于支撑杆的端部。

16、优选地，第二预紧力单元包括弹簧。

17、优选地，弹簧包括拉伸弹簧、压缩弹簧或板簧。

18、上述技术方案，通过第一预紧力单元以及第二预紧力单元的单独或互相配合，抑制了支撑杆的悬臂振动空间，提升了稳定性，进而提升了电子束设备的成像分辨率；结构简单紧凑，没有磁性元件的参与，避免了磁性元件对电子束光路产生干扰，完全可以兼容电子束设备对磁场的严格要求；单纯的机械机构以及被动的弹性元件，即弹簧的采用使得可靠性和寿命更好。

19、本申请的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请而了解。

1.一种用于移动选择型光阑的减震补偿装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于移动选择型光阑的减震补偿装置，其特征在于，所述第一预紧力单元为多个时，所述第一预紧力单元对称或非对称的设置在所述耦合块的两侧。

3.根据权利要求1所述的用于移动选择型光阑的减震补偿装置，其特征在于，所述第一预紧力单元包括弹簧，所述弹簧连接所述基座和所述耦合块。

4.根据权利要求3所述的用于移动选择型光阑的减震补偿装置，其特征在于，所述弹簧包括拉伸弹簧、压缩弹簧或板簧。

5.根据权利要求1所述的用于移动选择型光阑的减震补偿装置，其特征在于，所述耦合块可滑动的设置于所述基座上；

6.根据权利要求1所述的用于移动选择型光阑的减震补偿装置，其特征在于，所述支撑杆面向所述耦合块的一侧设有耦合公头，所述耦合公头与所述耦合接口相匹配。

7.根据权利要求6所述的用于移动选择型光阑的减震补偿装置，其特征在于，所述耦合接口为锥形耦合母口；

8.根据权利要求6所述的用于移动选择型光阑的减震补偿装置，其特征在于，所述耦合公头设置于所述支撑杆的端部。

9.根据权利要求5所述的用于移动选择型光阑的减震补偿装置，其特征在于，所述第二预紧力单元包括弹簧。

10.根据权利要求9所述的用于移动选择型光阑的减震补偿装置，其特征在于，所述弹簧包括拉伸弹簧、压缩弹簧或板簧。