超声波马达的制作方法

1.本发明涉及超声波马达。


背景技术：

2.以往，提出了各种通过压电元件使定子振动的超声波马达。在下述的专利文献1中，公开了超声波马达的一例。在该超声波马达中，通过在振动体产生的驻波，使移动体旋转。在振动体的一个主面侧配置有移动体，在另一个主面侧配置有振动体固定件。在振动体设置有用于使移动体的旋转轴插通的小孔。振动体固定件在小孔的周围以及振动体的振动的节点固定振动体的上述主面。
3.在先技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开平10-248273号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的问题
7.振动体在为了使移动体、即转子旋转而作用力时，从转子侧受到反作用力。因此，为了防止振动体由于反作用力而旋转，需要牢固地固定振动体。在专利文献1所记载的超声波马达中，在小孔的周围也固定了振动体。因为振动体中的小孔的周围的部分进行振动，所以若将这样的部分牢固地固定，则会阻碍振动体的振动。因此，有时超声波马达的特性降低。
8.本发明的目的在于提供一种超声波马达，能够有效地固定振动体，并且不易阻碍振动体的振动。
9.用于解决问题的手段
10.本发明涉及的超声波马达具备：定子，其具有板状的振动体和压电元件，所述振动体包括相互对置的第1主面和第2主面以及在所述第1主面和所述第2主面相互对置的方向上贯通的贯通孔，所述压电元件设置在所述振动体的所述第1主面上；转子，其与所述振动体的所述第2主面接触；以及定子固定构件，其具有配置在所述振动体的所述第1主面侧的主体部以及从所述主体部向所述振动体侧延伸的止转部，所述定子固定构件的所述止转部以及所述定子的所述贯通孔在俯视下具有多边形状，所述止转部以及所述贯通孔的顶点的个数相同，所述止转部和所述贯通孔嵌合。
11.发明效果
12.根据本发明涉及的超声波马达，能够有效地固定振动体，并且不易阻碍振动体的振动。
附图说明
13.图1是本发明的第1实施方式涉及的超声波马达的主视剖视图。
14.图2是本发明的第1实施方式涉及的超声波马达的分解立体图。
15.图3是示出本发明的第1实施方式中的定子固定构件的止转部以及第1突出部附近的俯视图。
16.图4是示出本发明的第1实施方式中的振动体的贯通孔以及定子固定构件的止转部附近的俯视图。
17.图5是本发明的第1实施方式中的定子的仰视图。
18.图6是本发明的第1实施方式中的第1压电元件的主视剖视图。
19.图7是用于说明各振动模式的示意图。
20.图8的(a)～图8的(c)是用于说明第1实施方式中所激励的行波的、定子的示意性仰视图。
21.图9是用于说明本发明的第1实施方式的定子中的、贯通孔的形状与压电元件的位置的关系的仰视图。
22.图10是用于说明本发明的第2实施方式的定子中的、贯通孔的形状与压电元件的位置的关系的仰视图。
具体实施方式
23.以下，参照附图来说明本发明的具体的实施方式，由此使本发明变得清楚。
24.另外，预先指出，本说明书所记载的各实施方式是例示性的，在不同的实施方式间能够进行结构的部分置换或组合。
25.图1是本发明的第1实施方式涉及的超声波马达的主视剖视图。图2是第1实施方式涉及的超声波马达的分解立体图。
26.如图1所示，超声波马达1具有定子2、转子4、壳体5和轴构件10。壳体5收纳定子2以及转子4。另外，壳体5由作为第1壳体构件的定子固定构件6、以及作为第2壳体构件的帽构件18构成。定子2和转子4接触。通过在定子2产生的行波，转子4旋转。另一方面，轴构件10插通定子2以及转子4，到达壳体5的外侧。伴随转子4的旋转，轴构件10旋转。不过，转子4也可以包括轴构件10。以下，说明超声波马达1的具体结构。
27.如图2所示，定子2具有振动体3。振动体3为圆板状。振动体3具有第1主面3a以及第2主面3b。第1主面3a以及第2主面3b相互对置。在本说明书中，轴方向z是指连结第1主面3a以及第2主面3b并且沿着旋转中心轴的方向。轴构件10与轴方向z平行地延伸。在本说明书中，有时将从轴方向z观察的方向记载为俯视或仰视。另外，俯视是从图1中的上方观察的方向，仰视是从下方观察的方向。例如，从振动体3的第2主面3b侧向第1主面3a侧观察的方向是俯视，从第1主面3a侧向第2主面3b侧观察的方向是仰视。
28.在振动体3的中央部设置有贯通孔3c。振动体3具有面向贯通孔3c的内侧面3d。在俯视下，贯通孔3c为正五边形状。即，贯通孔3c的俯视下的形状是正五边形。不过，贯通孔3c的位置以及形状不限于上述。贯通孔3c只要位于包括轴方向中心的区域即可。俯视下的贯通孔3c的形状，例如也可以是五边形以外的多边形。贯通孔3c优选在俯视下为正多边形状。而且，振动体3的形状不限于圆板状。俯视下的振动体3的形状，例如也可以是正六边形、正八边形或者正十边形等的正多边形。振动体3包括适当的金属。另外，振动体3也可以未必包括金属。例如，振动体3也可以由陶瓷、硅材料或者合成树脂等的其他弹性体构成。
29.如图1所示，在振动体3的第1主面3a设置有多个压电元件。通过由多个压电元件使振动体3振动，从而产生行波。
30.转子4与振动体3的第2主面3b接触。转子4为圆板状。在转子4的中央部设置有贯通孔4c。不过，贯通孔4c的位置不限于上述。贯通孔4c只要位于包括轴方向中心的区域即可。而且，转子4的形状不限于上述。例如，在俯视下，转子4的形状也可以是正六边形、正八边形或者正十边形等的正多边形。
31.如图2所示，定子固定构件6在本实施方式中是凸缘。定子固定构件6具有主体部7和止转部8。在俯视下，主体部7具有圆状的形状。主体部7配置在振动体3的第1主面3a侧。在主体部7的中央部设置有第1突出部7a。第1突出部7a在与主体部7的主面正交的方向上延伸。更具体而言，第1突出部7a突出到壳体5的内侧。另外，也可以未必设置第1突出部7a。
32.止转部8与第1突出部7a连接。止转部8从第1突出部7a向振动体3侧延伸。在本实施方式中，止转部8与第1突出部7a一体地设置。止转部8插通振动体3的贯通孔3c。另外，止转部8是对定子2的振动体3进行固定并且抑制振动体3的旋转的部分。
33.图3是示出第1实施方式中的定子固定构件的止转部以及第1突出部附近的俯视图。图4是示出第1实施方式中的振动体的贯通孔以及定子固定构件的止转部附近的俯视图。另外，在图4中，通过单点划线示出止转部8。
34.如图3所示，第1突出部7a在俯视下具有圆状的形状。更具体而言，第1突出部7a具有圆筒状的形状。第1突出部7a在俯视下包围止转部8。不过，第1突出部7a的形状不限于上述。
35.如图4所示，止转部8在俯视下为正五边形状。因此，止转部8以及定子2的贯通孔3c的俯视下的多边形状的顶点的个数相同。俯视下的止转部8的形状也可以与贯通孔3c的形状相应地为五边形以外的多边形。止转部8优选在俯视下为正多边形状。止转部8包括外侧面8a。外侧面8a与定子2中的振动体3的内侧面3d抵接。更具体而言，止转部8和贯通孔3c嵌合。
36.在止转部8设置有贯通孔8c。在俯视下，贯通孔8c具有圆状的形状。如图1所示，在止转部8以及第1突出部7a设置有连续的一个贯通孔。贯通孔8c是该贯通孔的一部分。轴构件10插通上述连续的一个贯通孔、定子2的贯通孔3c以及转子4的贯通孔4c。另外，在从与轴方向z正交的方向观察时，定子2的贯通孔3c与止转部8的贯通孔8c重叠。
37.作为定子固定构件6的材料，例如，能够使用树脂、金属或者陶瓷。定子固定构件6以及定子2相互电绝缘为宜。
38.本实施方式的特征在于，止转部8以及定子2的贯通孔3c在俯视下具有多边形状，止转部8以及贯通孔3c的顶点的个数相同，止转部8和贯通孔3c嵌合。由此，能够有效地对定子2的振动体3进行固定。而且，在定子固定构件6中，在止转部8以外的部分没有牢固地固定振动体3，所以不易阻碍振动体3的振动。
39.以下，进一步详细说明本实施方式的结构。
40.如图1所示，定子固定构件6具有第2突出部7b。第2突出部7b从主体部7向壳体5的外侧突出。第2突出部7b具有圆筒状的形状。在第2突出部7b、第1突出部7a以及止转部8设置有连续的一个贯通孔。第2突出部7b的内径大于第1突出部7a的内径以及止转部8的内径。在第2突出部7b内设置有第1轴承部19a。轴构件10插通第1轴承部19a。轴构件10通过第1轴承
部19a并突出到壳体5的外侧。另外，第2突出部7b不限于圆筒状，只要是筒状即可。或者，在定子固定构件6也可以未必设置第2突出部7b。例如，定子固定构件6也可以不是第1壳体构件，也可以设置有与定子固定构件6不同的第1壳体构件。不过，通过定子固定构件6是壳体5的一部分，能够推进超声波马达1的小型化。
41.帽构件18具有突出部18a。突出部18a突出到壳体5的外侧。突出部18a为圆筒状。对于帽构件18，例如，能够使用金属、陶瓷或者树脂等。在本实施方式中，壳体5的第2壳体构件是帽构件18。不过，第2壳体构件不限于帽构件18。只要构成了收纳定子2以及转子4等的壳体即可。
42.在突出部18a内设置有第2轴承部19b。轴构件10插通第2轴承部19b。轴构件10通过第2轴承部19b并突出到壳体5的外侧。
43.在轴构件10设置有止动环17。止动环17具有圆环状的形状。在俯视下，止动环17包围轴构件10。更详细而言，止动环17的内周端缘部位于轴构件10内。止动环17从轴方向z上的外侧抵接于第1轴承部19a。由此，能够抑制轴构件10的位置偏移。作为轴构件10以及止动环17的材料，例如，能够使用金属或者树脂等。对于第1轴承部19a以及第2轴承部19b，例如，也可以使用滑动轴承、环状轴承(bearing)等。
44.转子4具有凹部4a和侧壁部4b。凹部4a在俯视下为圆形。侧壁部4b是包围凹部4a的部分。转子4在侧壁部4b的端面4d与定子2接触。不过，也可以不设置凹部4a以及侧壁部4b。作为转子4的材料，例如，能够使用金属或者陶瓷等。在本实施方式中，转子4和轴构件10构成为分体。不过，转子4以及轴构件10也可以构成为一体。即，转子4也可以包括轴构件10。
45.在转子4上设置有弹性构件12。弹性构件12在轴方向z上与定子2一起夹着转子4。弹性构件12具有圆环状的形状。另外，弹性构件12的形状不限于上述。作为弹性构件12的材料，例如，能够使用橡胶或者树脂等。不过，也可以不设置弹性构件12。
46.在转子4的第2轴承部19b侧，配置有弹簧构件16。更具体而言，本实施方式的弹簧构件16是包括金属的板簧。在弹簧构件16的中央部设置有开口部16c。轴构件10插通开口部16c。轴构件10具有宽幅部10a。轴构件10的宽幅部10a处的宽度，比轴构件10中的其他部分的宽度宽。另外，轴构件10的宽度是轴构件10的沿着与轴方向z正交的方向的尺寸。弹簧构件16的内周端缘部与宽幅部10a抵接。由此，能够抑制弹簧构件16和轴构件10之间的位置偏移。不过，弹簧构件16的材料以及结构不限于上述。轴构件10的结构也不限于上述。
47.从弹簧构件16经由弹性构件12向转子4赋予弹性力。由此，转子4被推碰到定子2。在该情况下，能够提高定子2和转子4之间的摩擦力。因此，能够有效地使行波从定子2向转子4传播，能够有效地使转子4旋转。因此，能够有效地使超声波马达1旋转驱动。
48.在转子4中的定子2侧的面，也可以固定有摩擦件。由此，能够使施加在定子2的振动体3和转子4之间的摩擦力稳定化。在该情况下，能够有效地使转子4旋转，能够有效地使超声波马达1旋转驱动。
49.在振动体3的第2主面3b上，设置有多个突起部3e。多个突起部3e是振动体3中的与转子4接触的部分。各突起部3e从振动体3的第2主面3b在轴方向z上突出。在俯视下，多个突起部3e排列为圆环状。因为多个突起部3e从第2主面3b在轴方向z上突出，所以当在振动体3产生了行波时，多个突起部3e的前端更大地发生位移。因此，通过在定子2产生的行波，能够有效地使转子4旋转。另外，也可以未必设置多个突起部3e。
50.图5是第1实施方式中的定子的仰视图。
51.在振动体3的第1主面3a设置有多个压电元件。更具体而言，多个压电元件是第1压电元件13a、第2压电元件13b、第3压电元件13c以及第4压电元件13d。多个压电元件沿着行波的环绕方向而分散配置，使得产生以与轴方向z平行的轴为中心而环绕的该行波。在从轴方向z观察时，第1压电元件13a以及第3压电元件13c夹着轴相互对置。第2压电元件13b以及第4压电元件13d夹着轴相互对置。
52.图6是第1实施方式中的第1压电元件的主视剖视图。
53.第1压电元件13a具有压电体14。压电体14具有第3主面14a以及第4主面14b。第3主面14a以及第4主面14b相互对置。第1压电元件13a具有第1电极15a以及第2电极15b。在压电体14的第3主面14a上设置有第i电极15a，在第4主面14b上设置有第2电极15b。第1电极15a以及第2电极15b是第1压电元件13a的激励用的电极。第2压电元件13b、第3压电元件13c以及第4压电元件13d也与第1压电元件13a同样地构成。上述各压电元件的俯视下的形状为矩形。另外，各压电元件的俯视下的形状不限于上述，也可以是例如圆形或者椭圆形等。
54.这里，第1电极15a通过粘接剂粘贴在振动体3的第1主面3a。该粘接剂的厚度非常薄。因此，第1电极15a与振动体3电连接。
55.另外，为了产生行波，定子2至少具有第1压电元件13a以及第2压电元件13b即可。或者，也可以具有被分割为多个区域的1个压电元件。在该情况下，例如，压电元件的各区域也可以在相互不同的方向上被极化。在本说明书中，有时将按每个区域具有不同的极化方向的1个压电元件以及多个压电元件记载为被极化为多个的压电元件。在本实施方式中，被极化为多个的压电元件通过包括在环绕方向以及径向上延伸的节线的振动模式，使振动体3振动。
56.图7是用于说明各振动模式的示意图。具体而言，图7示出俯视时的振动体3中的各区域的振动的相位。带 标记的区域和带-标记的区域表示振动的相位彼此相反。
57.在将在环绕方向上延伸的节线的根数设为m、将在径向上延伸的节线的根数设为n时，振动模式能够用b(m，n)模式表示。在本实施方式中，利用b(m，n)模式。即，只要在环绕方向上延伸的节线的根数m、以及在径向上延伸的节线的根数n是0或任意自然数即可。
58.例如，在wo2010/061508a1中公开了如下构造，即，通过在定子2中在环绕方向上分散配置多个压电元件，且进行驱动，从而产生行波。另外，关于产生该行波的构造，不仅是以下的说明，还通过在本说明书中援引wo2010/061508a1中记载的结构，从而省略详细的说明。
59.图8的(a)～图8的(c)是用于说明第1实施方式中所激励的行波的定子的示意性仰视图。另外，在图8的(a)～图8的(c)中，在灰色标度中，越接近黑色，表示一个方向的应力越大，越接近白色，表示另一个方向的应力越大。
60.在图8的(a)中示出了三波的驻波x，在图8的(b)中示出了三波的驻波y。设为第1～第4压电元件13a～13d隔开中心角90
°
的角度进行配置。在该情况下，因为激励三波的驻波x、y，所以对于行波的波长的中心角成为120
°
。中心角由对一波的角度120
°
乘以3/4所得的角度90
°
来决定。在三波的驻波x的振幅大的给定场所配置第1压电元件13a，以中心角90
°
间隔配置第2～第4压电元件13b～13d。在该情况下，振动的相位相差90
°
的三波的驻波x、y被激励，且二者被合成，从而产生图8的(c)所示的行波。
61.另外，图8的(a)～图8的(c)中的a 、a-、b 、b-示出压电体14的极化方向。 意味着在厚度方向上从第3主面14a朝向第4主面14b被极化。-表示在相反方向上被极化。a表示是第1压电元件13a以及第3压电元件13c，b表示是第2压电元件13b以及第4压电元件13d。
62.另外，虽然示出了三波的例子，但是不限于此，在六波、九波、十二波等的情况下，也同样地激励相位相差90
°
的两个驻波，通过二者的合成从而产生行波。在本发明中，产生行波的结构不限于图8的(a)～图8的(c)所示的结构，能够使用以往公知的各种各样的产生行波的结构。
63.以下，说明本发明的优选方式的例子。返回到图3，如本实施方式这样，定子固定构件6的主体部7优选具有第1突出部7a。由此，能够更可靠地稳定地配置定子2。第1突出部7a优选在俯视下具有圆形的形状。由此，能够更进一步可靠地稳定地配置定子2。另外，在定子固定构件6中，由于在止转部8牢固地固定了定子2，所以不需要在第1突出部7a牢固地固定定子2。因此，即使具有第1突出部7a，也不易阻碍定子2的振动体3的振动。
64.这里，与本实施方式不同，在止转部8在俯视下为圆形的情况下，为了由第1突出部7a支承定子2，需要使第1突出部7a的直径大于止转部8的直径。与此相对，如本实施方式这样，在止转部8在俯视下为多边形的情况下，例如，即使将该多边形的外接圆的直径和第1突出部7a的直径设为相同，也能够由第1突出部7a支承定子2。如此，能够减小第1突出部7a的直径。不过，也可以使第1突出部7a的直径大于上述多边形的外接圆的直径。在该情况下，也相较于止转部8在俯视下为圆形的情况，即使减小第1突出部7a的直径，也能够适当地支承定子2。因此，能够使由第1突出部7a支承定子2的部分的整体的范围接近定子2的贯通孔3c。因此，能够有效地抑制定子2的振动的阻碍，能够有效地抑制超声波马达1的特性的降低。
65.优选在俯视下，定子固定构件6的止转部8以及定子2的贯通孔3c为正多边形状。由此，能够容易地提高超声波马达1的旋转驱动的稳定性。
66.如上所述，在止转部8以及定子2的贯通孔3c中，俯视下的多边形状中的顶点的个数相同。止转部8的顶点的个数以及贯通孔3c的顶点的个数优选为5个或者7个。即，止转部8以及贯通孔3c优选在俯视下为五边形状或者七边形状。由此，能够使超声波马达1变得小型，并且能够有效地固定振动体。其理由如下所述。
67.止转部8的俯视下的内切圆的直径的大小不取决于止转部8的顶点的个数，而基于轴构件10的宽度。另一方面，止转部8的顶点的个数越小，止转部8的俯视下的内切圆和外接圆的距离变得越长。在内切圆的直径固定、内切圆和外接圆的距离长的情况下，外接圆的直径变大。在该情况下，需要增大定子2的贯通孔3c的直径。这里，在止转部8的顶点的个数为5个以上的情况下，能够使内切圆和外接圆的距离充分变短，能够减小外接圆的直径。因此，能够减小贯通孔3c的直径，能够使定子2变得小型。因此，能够使超声波马达1变得小型。
68.另一方面，若止转部8的顶点的个数过多，则止转部8的俯视下的形状变为近似圆形。在止转部8的顶点的个数为7个以下的情况下，能够有效地增大对于定子2的振动体3的旋转的阻力，能够有效地固定振动体3。
69.如上所述，定子2的振动体3通过b(m，n)模式进行振动。在振动体3的振动中，在径向上延伸的节线为n根。在将止转部8以及定子2的贯通孔3c的俯视下的多边形状的顶点的个数设为a时，优选a≠n。由此，能够抑制在行波重叠驻波。因此，能够抑制在行波中产生纹波。因此，能够抑制超声波马达1的性能的降低。不过，个数a以及根数n的关系不限于上述。
70.图9是用于说明第1实施方式的定子中的、贯通孔的形状与压电元件的位置的关系的仰视图。
71.图9中的单点划线表示将定子2中的振动体3的贯通孔3c的顶点和贯通孔3c的中心连结的直线。图9所示的5根直线分别通过贯通孔3c的多个顶点中的一个顶点。各直线不通过俯视下的各压电元件的中心。这里，如图6所示，在本实施方式中，在压电体14的第3主面14a的整个面设置有第1电极15a。同样地，在第4主面14b的整个面设置有第2电极15b。因此，各压电元件的第1电极15a的中心以及第2电极15b的中心没有位于图9所示的各直线上。另外，如上所述，第1电极15a以及第2电极15b是激励用的电极。
72.定子2的贯通孔3c由于在俯视下具有非圆状的形状，所以具有环绕方向上的非对称性。多个压电元件的第1电极15a以及第2电极15b的配置也具有环绕方向上的非对称性。如上所述，优选在俯视下，各压电元件的第1电极15a以及第2电极15b的中心没有位于将贯通孔3c的顶点和贯通孔3c的中心连结的直线上。由此，能够降低贯通孔3c的环绕方向上的非对称性和多个压电元件的第1电极15a以及第2电极15b的非对称性的一致性。由此，能够抑制在行波重叠驻波，能够抑制在行波中产生纹波。因此，能够抑制超声波马达1的性能的降低。不过，各压电元件的第1电极15a以及第2电极15b的配置不限于上述。
73.另外，在压电体14上设置有激励用的电极以及其他电极的情况下，优选激励用的电极的中心没有位于图9所示的各直线上。在使用按每个区域具有不同的极化方向的1个压电元件的情况下，优选激励用的各电极的中心没有位于将定子的贯通孔的中心和该贯通孔的顶点连结的直线上。
74.另外，定子固定构件6的主体部7以及止转部8也可以包括不同的材料。优选至少止转部8包括树脂。由此，止转部8不易对定子2的振动造成影响。因此，能够提高旋转角度的精度。在止转部8包括树脂、并且主体部7包括金属、陶瓷等的情况下，例如，也可以使用嵌件成型(insert molding)等来形成定子固定构件6。或者，也可以在分别形成止转部8以及主体部7后，将止转部8以及主体部7接合。
75.图10是用于说明第2实施方式的定子中的、贯通孔的形状与压电元件的位置的关系的仰视图。
76.本实施方式与第1实施方式的不同点在于，第1压电元件23a、第2压电元件23b、第3压电元件23c以及第4压电元件23d在俯视下具有圆状的形状。而且，定子22中的振动体3的贯通孔3c的形状和多个压电元件的配置之间的关系与第1实施方式不同。除了上述方面以外，本实施方式的超声波马达具有与第1实施方式的超声波马达1同样的结构。
77.图10中的单点划线是将定子22中的振动体3的贯通孔3c的顶点中的一个和贯通孔3c的中心连结的直线c。更具体而言，直线c通过第1压电元件23a和第4压电元件23d之间，并且通过第2压电元件23b和第3压电元件23c之间。除了直线c以外未图示，但是定子22中的各压电元件的激励用的电极的中心没有位于将贯通孔3c的中心和贯通孔3c的顶点连结的直线上。
78.图10中的2根双点划线是将夹着贯通孔3c相互对置的两个压电元件的电极的中心彼此连结的直线d以及直线e。更具体而言，将第1压电元件23a以及第3压电元件23c中的激励用的电极的中心彼此连结的直线是直线d。将第2压电元件23b以及第4压电元件23d中的激励用的电极的中心彼此连结的直线是直线e。在本实施方式中，贯通孔3c的中心位于直线
d上以及直线e上。直线d和直线e正交。
79.直线c和直线d所成的角θ1的角度是45
°
。同样地，直线c和直线e所成的角θ2的角度也是45
°
。在将直线c作为对称轴时，第1压电元件23a和第2压电元件23b、以及第3压电元件23c和第4压电元件23d配置为线对称。由此，行波中的纹波被抵消，所以能够更进一步抑制纹波。因此，能够更进一步抑制超声波马达的性能的降低。
80.在本实施方式中，与图1等所示的第1实施方式同样地，构成了定子固定构件6。因此，与第1实施方式同样地，止转部8以及振动体3的贯通孔3c在俯视下具有多边形状，止转部8以及贯通孔3c的顶点的个数相同，止转部8和贯通孔3c嵌合。由此，能够有效地固定定子2的振动体3，并且不易阻碍振动体3的振动。
81.1...超声波马达
82.2...定子
83.3...振动体
84.3a、3b...第1主面、第2主面
85.3c...贯通孔
86.3d...内侧面
87.3e...突起部
88.4...转子
89.4a...凹部
90.4b...侧壁部
91.4c...贯通孔
92.4d...端面
93.5...壳体
94.6...定子固定构件
95.7...主体部
96.7a、7b...第1突出部、第2突出部
97.8...止转部
98.8a...外侧面
99.8c...贯通孔
100.10...轴构件
101.10a...宽幅部
102.12...弹性构件
103.13a～13d...第1压电元件～第4压电元件
104.14...压电体
105.14a、14b...第3主面、第4主面
106.15a、15b...第1电极、第2电极
107.16...弹簧构件
108.16c...开口部
109.17...止动环
110.18...帽构件
111.18a...突出部
112.19a、19b...第1轴承部、第2轴承部
113.22...定子
114.23a～23d...第1压电元件～第4压电元件。