技术特征：
1.一种控制装置，为真空泵的控制装置，其特征在于，所述真空泵通过马达来驱动转子旋转以排出气体，所述控制装置包括控制部，所述控制部对所述真空泵中发生的多种异常各自的发生次数进行计数，在多种异常的发生次数分别超过规定阈值的情况下，产生重大警报。2.根据权利要求1所述的控制装置，其中所述控制部在多种异常的发生次数分别超过规定阈值的情况下，使所述真空泵的运行模式转变为运行限制模式，所述运行限制模式是在使所述真空泵停止后重新启动时，比通常时限制所述真空泵的运行。3.根据权利要求2所述的控制装置，其中所述控制部在所述真空泵的运行模式为所述运行限制模式的情况下，使所述真空泵从启动开始运行了规定时间后停止。4.根据权利要求2所述的控制装置，其中，还包括存储部，所述控制部在产生了所述重大警报时，将表示产生了所述重大警报的重大警报产生历史存储至所述存储部，在重新启动所述真空泵时，在所述重大警报产生历史表示所述重大警报的产生的情况下，判断所述真空泵的运行模式为所述运行限制模式。5.根据权利要求2所述的控制装置，其中所述控制部在输入了专用密码时解除所述运行限制模式。6.根据权利要求1至5中任一项所述的控制装置，其中所述规定阈值能够变更。7.根据权利要求1至5中任一项所述的控制装置，其中所述多种异常是从与真空泵的振动相关的异常、与所述转子的转速相关的异常、与真空泵的温度相关的异常中选择的至少两个异常。8.一种控制方法，是真空泵的控制方法，其特征在于，所述真空泵通过马达来驱动转子旋转以排出气体，所述控制方法包括下述步骤：对所述真空泵中发生的多种异常各自的发生次数进行计数；以及在多种异常的发生次数分别超过规定阈值的情况下，产生重大警报。
技术总结
本发明提供一种防止运行模式误转变为运行限制模式的真空泵的控制装置以及控制方法。控制装置(6)包括控制部(62)。控制部(62)对真空泵(1)中发生的多种异常各自的发生次数进行计数，当多种异常的发生次数分别超过规定阈值时，产生重大警报。产生重大警报。产生重大警报。
技术研发人员：广田圣典
受保护的技术使用者：株式会社岛津制作所
技术研发日：2023.02.02
技术公布日：2023/9/7
再多了解一些
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