一种快速加工晶圆片倒角的方法及其装置与流程

技术特征：
1.一种快速加工晶圆片倒角的方法，该倒角方法包括如下步骤：s1:将晶圆片居中放置在真空吸附载台上并进行真空吸附定位；s2:三个盘式砂轮旋转、移动并靠近真空吸附载台上固定的所述晶圆片并同时对所述晶圆片进行倒角操作，两个所述盘式砂轮在所述晶圆片的z轴和x轴上做相对运动，从而形成一定的斜面形状；一个所述盘式砂轮在所述晶圆片的y轴和z轴上做相对运动，从而形成一定的截面形状，且倒角过程中需要冷却水对打磨部进行冷却。2.根据权利要求1所述的一种快速加工晶圆片倒角的方法，其特征在于：在步骤s2）中，在所述晶圆片的z轴和x轴上做相对运动的两个所述盘式砂轮中部与所述晶圆片中心在同一个平面上，该两个所述盘式砂轮中，一个所述盘式砂轮的下部用于研磨所述晶圆片的上斜面，另一个所述盘式砂轮的上部用于研磨所述晶圆片的下斜面；在所述晶圆片在y轴和z轴上做相对运动的一个所述盘式砂轮中部与所述晶圆片中心在同一个平面上，该所述盘式砂轮的中部用于研磨所述晶圆片直径截面。3.根据权利要求1所述的一种快速加工晶圆片倒角的方法，其特征在于：在步骤s2）中，所述冷却水为纯水，并在加工过程中一直处于打开状态。4.根据权利要求1所述的一种快速加工晶圆片倒角的方法，其特征在于：在步骤s2）中，所述盘式砂轮与所述晶圆片磨屑比不低于1：1的磨屑消耗。5.适配于权利要求1所述的一种晶圆片倒角装置，包括带有真空吸附载台的旋转平台（12），其特征在于：还包括带有密封盖（2）的倒角桶（1），所述旋转平台（12）安装在所述倒角桶（1）底部轴心处，所述旋转平台（12）的外围呈三角形设置有三个多轴机械手（5），所述多轴机械手（5）上分别安装有用于对晶圆片上斜面进行研磨的上盘式砂轮（6）、用于对晶圆片下斜面进行研磨的下盘式砂轮（8）以及用于对晶圆片直径截面进行研磨的中盘式砂轮（7），每个所述多轴机械手（5）上均设有出水口对对准研磨点的喷水管（13），多个所述喷水管（13）均与输水管（3）的出液口连接，且所述输水管（3）的进液端通过泵体与纯水储存罐出液口连接，所述倒角桶（1）的底部设置有排液管（4）。6.根据权利要求2所述的一种晶圆片倒角装置，其特征在于：还包括自动清洗单元（9），用于研磨完毕后晶圆片上表面自动冲洗操作。7.根据权利要求6所述的一种晶圆片倒角装置，其特征在于：所述自动清洗单元（9）包括位于所述真空吸附载台上方的蓄水桶（91），所述蓄水桶（91）的内腔设置有金属块（94），且所述金属块（94）的下端固定有伸缩杆（97），且所述伸缩杆（97）上呈上下固定有大气囊（95）和小气囊（96），所述伸缩杆（97）的下端固定有密封塞（98），所述蓄水桶（91）上安装有穿过所述大气囊（95）上贯穿孔的进液管（92），且所述进液管（92）的进液端与所述输水管（3）连接，所述金属块（94）的正上方设有的磁铁（93），所述蓄水桶（91）的出水端斜向下设置有出水管（99），且所述出水管（99）的下端位于所述真空吸附载台的上方。8.根据权利要求7所述的一种晶圆片倒角装置，其特征在于：所述蓄水桶（91）的出水端与所述出水管（99）之间连接有斜向下设置的蛇形管（11）。9.根据权利要求7所述的一种晶圆片倒角装置，其特征在于：所述蓄水桶（91）的外壁上设置有回流管（10），且所述回流管（10）的出液端与所述纯水储存罐进液口连接。

技术总结
本发明公开了一种快速加工晶圆片倒角的方法及其装置，涉及碳化硅材料加工技术领域，包括S1:将晶圆片居中放置在真空吸附载台上并进行真空吸附定位；S2:三个盘式砂轮旋转、移动并靠近真空吸附载台上固定的所述晶圆片并同时对所述晶圆片进行倒角操作，且倒角过程中需要冷却水对打磨部进行冷却。本发明放弃了利用槽式砂轮加工倒角的方式，采用盘式砂轮，避免了槽式砂轮利用率不高，单片成本过高的状态。本发明采用了三体位同时加工的方式，摒弃了原始研磨方式（T1/R研磨模式、T2研磨模式、T3研磨模式）中的先后加工方式，极大的优化了加工工艺，提高了研磨的效率，降低了倒角崩边的概率，也有效的提高了倒角工序的产量，有利于大批量的商业生产。的商业生产。的商业生产。


技术研发人员：曹德坤 钟超 顾雪龙 贺贤汉
受保护的技术使用者：安徽微芯长江半导体材料有限公司
技术研发日：2023.04.20
技术公布日：2023/8/16