电镀液自动滴定装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体封装技术领域，更具体涉及一种电镀液自动滴定装置。


背景技术：

2.在半导体电镀工艺中需要对电镀液的成分进行取样分析，对电镀液成分的分析需要依赖电位滴定仪进行监测。
3.现有的电位滴定仪是将样品取好并稀释后放入转盘，冲洗管路、加液管路、排液管路、搅拌桨、电极等固定在升降塔上。工作时，先上升升降塔位置至最高处，再转动转盘到指定位置，再下降升降塔至工作位置之后开始滴定工作。
4.升降塔上固定的电极线、管路，在长期升降的过程中，会造成电极和加液管的松动，甚至会有加液管插到样品杯外的情况，和电极线过于绷紧造成损坏。
5.滴定结束后，先通过蠕动泵将样品杯中的废液抽出，再用电泵抽水对样品杯、电极、加液管路、搅拌桨等进线冲洗，重复几次冲洗、排废的操作后再转至下一个样品进行滴定分析。
6.水和废液是装在两个10l的桶中的，需要人工加水和处理废液，当该电位滴定仪分析样品过多时，会消耗大量水清洗，产生大量的废液。如果没有人注意加水和处理废液，会导致废液漫出，水用完后没有水清洗，影响下一个样品的分析结果。


技术实现要素：

7.为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提供了一种冲洗管路、加液管路、排液管路、搅拌桨、电极等固定位置不易损坏，样品托盘模块化、方便清洁，自动补水、排废减少人力消耗的电镀液自动滴定装置。
8.根据本实用新型的一个方面，提供了电镀液自动滴定装置，包括：底座、升降塔、送检组件、滴定组件和自动抽液组件，底座的一侧设有升降塔，底座的另一侧与升降塔并列设置送检组件，升降塔的顶部固定设置滴定组件、加液管路和出液管路，自动抽液组件与加液管路和出液管路连通，升降塔上设有上下移动的升降托盘，升降托盘将所述送检组件上的样品移动至滴定组件、加液管路和出液管路下方。通过样品杯移动而滴定组件、加液管路和出液管路不动，在检测时搅拌桨、电极等固定位置而不易损坏；通过模块化的送检组件便于清洁和移动；通过自动抽液组件实现补水和废液的自动清理降低工作强度。
9.在一些实施方式中，送检组件包括：转盘、样品托盘和样品杯，转盘上设有若干样品托盘，样品杯放置在样品托盘上，转盘驱动样品托盘和样品杯转动。通过转盘将需要检验的样品一侧旋转到升降托盘所在位置，以便进行规模化检验。
10.在一些实施方式中，样品杯的数量与样品托盘的数量一致。
11.在一些实施方式中，升降托盘的尖部为梯形，转盘中间具有若干规则分布的间隙，尖部从间隙处托起样品托盘和样品杯至至滴定组件、加液管路和出液管路下方。通过间隙与梯形尖部的配合保证升降托盘把样品托盘和样品杯移动至检验位置。
12.在一些实施方式中，出液管路位于样品杯内侧底部，加液管路位于样品杯内侧顶部。出液管路和加液管路的位置便于更好的冲洗排出废液。
13.在一些实施方式中，自动抽液组件包括：补水部和废液部，废液部连通出液管路，补水部连通进液管路，出液管路和进液管路中均具有蠕动泵。利用补水部进行样品杯的冲洗，利用出液管路将废液排到废液部。
14.在一些实施方式中，补水部包括：储液罐、加液泵、第一管路、第二管路、第一液位传感器和第二液位传感器，加液泵设置在储液罐内部或者外部，第一管路和第二管路均连接加液泵，第一液位传感器位于储液罐的下部，第二液位传感器位于储液罐的上部。通过第一液位传感器和第二液位传感器限定储液罐内液体的上限和下限，低于下限时从第一管路补液进来，高于上限时从第二管路排出，减少人员参与降低劳动强度。
15.在一些实施方式中，废液部包括：废液罐、出液泵、第三管路和第三液位传感器，出液泵设置在废液罐内部或者外部，第三管路连接加液泵，第三液位传感器位于废液罐的上部。通过第三液位传感器监测废液的最高位置，超过就通过出液泵排出。
16.本实用新型通过样品杯移动而滴定组件、加液管路和出液管路不动，在检测时搅拌桨、电极等固定位置而不易损坏；通过模块化的送检组件便于清洁和移动；通过自动抽液组件实现补水和废液的自动清理降低工作强度；通过转盘将需要检验的样品一侧旋转到升降托盘所在位置，以便进行规模化检验；通过间隙与梯形尖部的配合保证升降托盘把样品托盘和样品杯移动至检验位置；利用补水部进行样品杯的冲洗，利用出液管路将废液排到废液部；通过第一液位传感器和第二液位传感器限定储液罐内液体的上限和下限，低于下限时从第一管路补液进来，高于上限时从第二管路排出，减少人员参与降低劳动强度。
附图说明
17.图1是本实用新型电镀液自动滴定装置的结构示意图；
18.图2是本实用新型电镀液自动滴定装置的送检组件的结构示意图；
19.图3是本实用新型电镀液自动滴定装置的升降托盘的结构示意图；
20.图4是本实用新型电镀液自动滴定装置的补水部的结构示意图；
21.图5是本实用新型电镀液自动滴定装置的废液部的结构示意图。
具体实施方式
22.下面结合附图所示的各实施方式对本实用新型进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本实用新型的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法或者结构上的等效变换或替代，均属于本实用新型的保护范围之内。
23.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解所述术语的具体含义。
24.如图1所示，本实用新型所述的电镀液自动滴定装置，包括：底座1、升降塔2、送检组件3、滴定组件4和自动抽液组件5，底座1的一侧设有升降塔2，底座1的另一侧与升降塔2并列设置送检组件3，升降塔2的顶部固定设置滴定组件4、加液管路6和出液管路7，自动抽
液组件5与加液管路6和出液管路7连通，升降塔2上设有上下移动的升降托盘8，升降托盘8将所述送检组件3上的样品移动至滴定组件4、加液管路6和出液管路7下方。通过样品杯33移动而滴定组件4、加液管路6和出液管路7不动，在检测时搅拌桨、电极等固定位置而不易损坏；通过模块化的送检组件3便于清洁和移动；通过自动抽液组件5实现补水和废液的自动清理降低工作强度。
25.如图2所示，送检组件3包括：转盘31、样品托盘32和样品杯33，转盘31上设有若干样品托盘32，样品杯33放置在样品托盘32上，转盘31驱动样品托盘32和样品杯33转动。通过转盘31将需要检验的样品一侧旋转到升降托盘8所在位置，以便进行规模化检验。在具体实施过程中转盘31通过伺服电机驱动，通过主轴准停控制样品托盘32所在的位置，便于升降托盘8提取移动。
26.样品杯33的数量与样品托盘32的数量一致。
27.如图3所示，升降托盘8的尖部为梯形，转盘31中间具有若干规则分布的间隙，尖部从间隙处托起样品托盘32和样品杯33至至滴定组件4、加液管路6和出液管路7下方。通过间隙与梯形尖部的配合保证升降托盘8把样品托盘32和样品杯33移动至检验位置。由于转盘31为圆形，因此规则分布的间隙为外扩的喇叭状，同样尖部的形状为了最大的与样品托盘32保持接触面积，因此最优为等腰梯形，且较长的下底靠近升降塔2一侧，较短的上底靠近转盘31一侧。
28.出液管路7位于样品杯33内侧底部，加液管路6位于样品杯33内侧顶部。出液管路7和加液管路6的位置便于更好的冲洗排出废液。
29.自动抽液组件5包括：补水部51和废液部52，废液部52连通出液管路7，补水部51连通进液管路，出液管路7和进液管路中均具有蠕动泵。利用补水部51进行样品杯33的冲洗，利用出液管路7将废液排到废液部52。
30.如图4所示，补水部51包括：储液罐511、加液泵512、第一管路513、第二管路514、第一液位传感器515和第二液位传感器516，加液泵512设置在储液罐511内部或者外部，通常为了安装维护便利设置在储液罐511的外部，第一管路513和第二管路514均连接加液泵512，第一液位传感器515位于储液罐511的下部，第二液位传感器516位于储液罐511的上部。通过第一液位传感器515和第二液位传感器516限定储液罐511内液体的下限和上限，低于下限时从第一管路513补液进来，高于上限时从第二管路514排出，减少人员参与降低劳动强度。
31.如图5所示，废液部52包括：废液罐521、出液泵522、第三管路523和第三液位传感器524，出液泵522设置在废液罐521内部或者外部，第三管路523连接加液泵522，第三液位传感器524位于废液罐521内壁的上部。通过第三液位传感器524监测废液的最高位置，超过就通过出液泵522排出。
32.以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型的创造构思的前提下，还可以做出其它变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。