检测系统、检测方法以及存储介质与流程

技术特征：
1.一种检测系统，具备对基板进行处理的基板处理装置，所述检测系统检测所述基板处理装置的处理空间内的构造物的状态，所述检测系统具备：检测用基板，其设置有检测所述构造物的状态的状态检测部；搬送装置，其构成为相对于所述基板处理装置的所述处理空间分别搬入和搬出所述检测用基板及作为处理对象的基板；以及控制装置，其中，所述检测用基板还设置有加速度检测部，所述加速度检测部针对基板表面内的相交的两个方向分别检测加速度，所述控制装置基于在进行相对于所述处理空间的所述检测用基板的搬入和搬出时该检测用基板沿搬入搬出方向移动时的、所述加速度检测部的检测结果，来估计所述处理空间内的所述检测用基板上的所述状态检测部的朝向。2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，沿所述搬入搬出方向移动时的加速度的历史记录所能取的图案被预先进行了分类，所述控制装置针对相交的所述方向分别判定由所述加速度检测部检测出的加速度的历史记录符合所述图案中的哪种图案，并基于判定结果来估计所述朝向。3.根据权利要求2所述的检测系统，其特征在于，所述控制装置基于沿所述搬入搬出方向移动时前半段的加速度与沿所述搬入搬出方向移动时后半段的加速度之间的大小关系，来判定由所述加速度检测部检测出的加速度的历史记录符合所述图案中的哪种图案。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的检测系统，其特征在于，所述检测用基板设置有两个所述加速度检测部，两个所述加速度检测部分别测定互不相同的方向上的加速度，所述控制装置将基于一个所述加速度检测部的检测结果估计出的所述朝向的范围与基于另一个所述加速度检测部的检测结果估计出的所述朝向的范围重叠的范围重新估计为所述朝向的范围。5.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述相交的两个方向是第一方向和第二方向，在将以所述第一方向上的加速度和所述第二方向上的加速度分别为轴的平面设为加速度平面时，所述控制装置基于所述加速度平面中的、由所述移动时前半段的所述第一方向上的加速度和所述移动时前半段的所述第二方向上的加速度表示的点的位置以及由所述移动时后半段的所述第一方向上的加速度和所述移动时后半段的所述第二方向上的加速度表示的点的位置中的至少任一方，来估计所述朝向。6.根据权利要求1～3中的任一项所述的检测系统，其特征在于，还具备使所述检测用基板旋转的旋转机构。7.根据权利要求6所述的检测系统，其特征在于，所述控制装置基于所述朝向的估计结果来使所述检测用基板旋转，校正所述朝向以使该朝向成为与作为所述状态检测部的检测对象的所述构造物对应的朝向。8.根据权利要求6所述的检测系统，其特征在于，所述控制装置在将所述朝向设为与作为所述状态检测部的检测对象的所述构造物对
应的朝向之后，使所述检测用基板阶段性地旋转，直到作为所述检测对象的所述构造物进入所述状态检测部的检测范围内为止，并基于来自作为所述检测对象的所述构造物进入到了所述检测范围内时的所述状态检测部的输出，来检测作为所述检测对象的所述构造物的状态。9.一种检测方法，用于检测基板处理装置的处理空间内的构造物的状态，所述检测方法包括以下工序：相对于所述处理空间内搬入和搬出检测用基板，所述检测用基板设置有检测所述构造物的状态的状态检测部和针对基板表面内的相交的两个方向分别检测加速度的加速度检测部；以及基于在进行所述搬入和搬出的工序时所述检测用基板沿搬入搬出方向移动时的、所述加速度检测部的检测结果，来估计所述处理空间内的所述检测用基板上的所述状态检测部的朝向。10.根据权利要求9所述的检测方法，其特征在于，预先对沿所述搬入搬出方向移动时的加速度的历史记录所能取的图案进行了分类，在估计所述朝向的工序中，针对相交的所述方向分别判定由所述加速度检测部检测出的加速度的历史记录符合所述图案中的哪种图案，并基于判定结果来估计所述朝向。11.根据权利要求10所述的检测方法，其特征在于，在估计所述朝向的工序中，基于沿所述搬入搬出方向移动时前半段的加速度与沿所述搬入搬出方向移动时后半段的加速度之间的大小关系，来判定由所述加速度检测部检测出的加速度的历史记录符合所述图案中的哪种图案。12.根据权利要求9～11中的任一项所述的检测方法，其特征在于，所述检测用基板设置有两个所述加速度检测部，两个所述加速度检测部分别测定互不相同的方向上的加速度，估计所述朝向的工序包括估计所述朝向的范围的工序，在估计所述朝向的范围的工序中，将基于一个所述加速度检测部的检测结果估计出的所述朝向的范围与基于另一个所述加速度检测部的检测结果估计出的所述朝向的范围重叠的范围重新估计为所述朝向的范围。13.根据权利要求9所述的检测方法，其特征在于，所述相交的两个方向是第一方向和第二方向，在将以所述第一方向上的加速度和所述第二方向上的加速度分别为轴的平面设为加速度平面时，在估计所述朝向的工序中，基于所述加速度平面中的、由所述移动时前半段的所述第一方向上的加速度和所述移动时前半段的所述第二方向上的加速度表示的点的位置以及由所述移动时后半段的所述第一方向上的加速度和所述移动时后半段的所述第二方向上的加速度表示的点的位置中的至少任一方，来估计所述朝向。14.根据权利要求9～11中的任一项所述的检测方法，其特征在于，还包括以下工序：基于所述朝向的估计结果来使所述检测用基板旋转，校正所述朝向以使该朝向成为与作为所述状态检测部的检测对象的所述构造物对应的朝向。15.根据权利要求9～11中的任一项所述的检测方法，其特征在于，在将所述朝向设为与作为所述状态检测部的检测对象的所述构造物对应的朝向之后
还包括以下工序：使所述检测用基板阶段性地旋转，直到作为所述检测对象的所述构造物进入所述状态检测部的检测范围内为止，并基于来自作为所述检测对象的所述构造物进入到了所述检测范围内时的状态检测部的输出，来检测作为所述检测对象的所述构造物的状态。16.一种可读取的计算机存储介质，存储有程序，该程序在控制根据权利要求9～15中的任一项所述的检测方法的控制装置的计算机上运行，以使检测系统执行所述检测方法。

技术总结
本发明提供一种检测系统、检测方法以及存储介质，使得能够更有效地活用检测用基板。检测系统检测基板处理装置的处理空间内的构造物的状态，具备对基板进行处理的基板处理装置，并具备：检测用基板，其设置有检测构造物的状态的状态检测部；搬送装置，其构成为相对于基板处理装置的处理空间分别搬入和搬出检测用基板及作为处理对象的基板；以及控制装置，其中，检测用基板还设置有加速度检测部，所述加速度检测部针对基板表面内的相交的两个方向分别检测加速度，控制装置基于在进行相对于处理空间的检测用基板的搬入和搬出时该检测用基板沿搬入搬出方向移动时的、加速度检测部的检测结果，来估计处理空间内的检测用基板上的状态检测部的朝向。的状态检测部的朝向。的状态检测部的朝向。


技术研发人员：牧准之辅
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2022.12.08
技术公布日：2023/6/16