基板作业装置的制作方法

技术特征：
1.一种基板作业装置，具备：头单元，包括对基板进行作业的作业头；及多个拍摄部，以在铅垂方向上配置于多个不同的高度位置的状态设置于所述头单元，并分别从相互不同的倾斜方向对配置有拍摄对象的同一拍摄位置进行拍摄，在所述多个拍摄部中，根据各自进行拍摄的倾斜方向的倾斜角设定了不同的景深。2.根据权利要求1所述的基板作业装置，其中，所述多个拍摄部具备：第一拍摄部，具有倾斜角中的接近铅垂方向的倾斜方向的第一倾斜角；及第二拍摄部，配置于所述第一拍摄部的下侧，并具有比所述第一倾斜角接近水平方向的倾斜方向的第二倾斜角，所述第二拍摄部具有比所述第一拍摄部的第一景深更深的第二景深。3.根据权利要求2所述的基板作业装置，其中，所述第一拍摄部和所述第二拍摄部配置成在沿着铅垂方向的同一平面中上下排列并从倾斜方向对配置有所述拍摄对象的同一所述拍摄位置进行拍摄，所述第二拍摄部配置于所述第一拍摄部的铅垂方向的下方，并且具有比所述第一景深更深的所述第二景深。4.根据权利要求2或3所述的基板作业装置，其中，通过将所述第一拍摄部的光圈设定为恒定，所述第一景深被设定为恒定的景深，通过将所述第二拍摄部的光圈设定为恒定，所述第二景深被设定为比所述第一景深更深的恒定的景深。5.根据权利要求2至4中任一项所述的基板作业装置，其中，所述第一拍摄部和所述第二拍摄部的每一个构成为，对作为所述拍摄对象的元件的安装位置周边和所述元件的吸附位置周边中的至少一方进行拍摄，所述第一景深和所述第二景深各自在沿着所述第一拍摄部与所述第二拍摄部的排列方向的截面中，根据由所述基板的翘曲引起的所述基板的上表面的高度位置的所设想的偏差量或由对所述元件进行收纳的收纳带的种类的不同引起的收纳于所述收纳带的所述元件的上表面的高度位置的所设想的偏差量、所述元件的水平方向的长度和所述倾斜角来设定。6.根据权利要求2至5中任一项所述的基板作业装置，其中，所述基板作业装置还具备：照明部，向所述拍摄对象照射光；及控制部，进行由所述第一拍摄部和所述第二拍摄部的每一个对所述拍摄对象进行拍摄的控制，所述控制部构成为进行如下控制：通过使针对所述第一拍摄部和所述第二拍摄部各自的传感器增益、所述第一拍摄部和所述第二拍摄部各自的曝光时间、及所述照明部的光量中的任一个不同，从而使由所述第一拍摄部和所述第二拍摄部各自拍摄到的图像的亮度相互大致相同。7.根据权利要求6所述的基板作业装置，其中，所述控制部构成为，与所述第一拍摄部的曝光并行地，还进行所述第二拍摄部的曝光。
8.根据权利要求2至7中任一项所述的基板作业装置，其中，所述第一拍摄部和所述第二拍摄部分别包括第一照相机和第二照相机。9.根据权利要求2至7中任一项所述的基板作业装置，其中，所述第一拍摄部和所述第二拍摄部包括：共用的照相机；及将所述共用的照相机的视场分割的光学系统。10.根据权利要求2至9中任一项所述的基板作业装置，其中，所述基板作业装置构成为，基于由所述第一拍摄部拍摄到的第一图像和由所述第二拍摄部拍摄到的第二图像，取得所述拍摄对象的周边的高度位置。

技术总结
该基板作业装置(100、200)具备：头单元(4)；及多个拍摄部(82、83)，以在铅垂方向上配置于多个不同的高度位置的状态设置于头单元(4)，并分别从倾斜方向对配置有拍摄对象(B)的同一拍摄位置(P2、P3)进行拍摄。在多个拍摄部(82、83)中，根据各自的倾斜角(θt、θu)设定了不同的景深(D1、D2)。D2)。D2)。


技术研发人员：高间和志
受保护的技术使用者：雅马哈发动机株式会社
技术研发日：2020.10.05
技术公布日：2023/6/14