一种石英晶圆片热抛光装置的制作方法

1.本实用新型涉及石英片生产领域，特别涉及一种石英晶圆片热抛光装置。


背景技术：

2.石英玻璃晶圆片是广泛使用的透明材料，可以用于晶圆基板、光学窗口，光学元件等应用。
3.目前晶圆片在制成后，都要求进行火焰抛光，一般利用燃气与助燃气体混燃烧产生的高温火焰冲击其白面、利用玻璃导热性弱的特点，局部软化端口部位，在玻璃表面张力的作用下，消除不平整的瑕疵，而在现有技术的火焰抛光多是通过工作人员手持喷枪向晶圆片表面进行喷火，以实现晶圆片抛光的目的。
4.人工手持抛光过程中容易导致晶圆片受热不均匀，进而降低抛光后的效果，且劳动强度比较大，影响抛光的效率的问题，在此特提出一种石英晶圆片热抛光装置，以解决上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的主要目的在于提供一种石英晶圆片热抛光装置，可以有效解决背景技术中人工手持抛光过程中容易导致晶圆片受热不均匀，进而降低抛光后的效果，且劳动强度比较大，影响抛光的效率的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：包括设备台、安装于设备台内的真空发生器和驱动电机、用于喷射氢氧焰的喷头；
7.设备台上转动设置有用于晶圆片放置的放置台，且放置台上开设有若干个吸附孔位，真空发生器的抽气端与放置台相连通，且通过吸附孔位进行抽气；
8.设备台上还固定有连接框架，连接框架上滑动有活动板，活动板与喷头连接，且喷头与放置台的位置相互配合。
9.设备台上设置有与驱动电机的输出端相连接的驱动件，驱动件用于驱动喷头往复移动和放置台的旋转。
10.优选地，连接框架的顶部还设置有电动伸缩杆，电动伸缩杆的输出端与活动板连接，带动活动板移动。
11.优选地，驱动件包括传动杆、传动主件、蜗轮、蜗杆和往复丝杆，往复丝杆转动设置于活动板上，且通过滑动套与喷头连接，往复丝杆的一端与蜗轮传动连接，传动杆与传动主件和蜗杆传动连接，且与驱动电机的输出端相连接，蜗杆可于传动杆上进行上下位移，且与蜗轮相互啮合，传动主件与放置台相互配合，用于联动放置台旋转。
12.优选地，蜗杆的上下两侧均设有与传动杆套设的档件，且档件与活动板相连接，奥正蜗杆上下位移时始终与蜗轮啮合。
13.优选地，传动主件为齿轮，放置台的侧壁开设有与齿轮相互啮合的齿口，提高配合的效果。
14.优选地，活动板上开设有用于收纳蜗轮和往复丝杆的条形孔位，往复丝杆的两端均通过轴套与活动板转动连接，保证往复丝杆转动和滑动套移动的稳定性。
15.优选地，放置台朝向吸附孔位的一侧固定有用于晶圆片定位的定位环，对晶圆片放置的位置进行定位。
16.优选地，喷头通过导管与外部供气点火装置连通，保证持续的喷火。
17.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
18.1.本实用新型中，通过设置的真空发生器和驱动件，能够保证晶圆片热抛光过程中的稳定性，同时使晶圆片和喷头在抛光过程中分别旋转和移动，提高抛光的均匀性和效率。
19.2.本实用新型中，通过设置的驱动件，能够使驱动电机同时驱动放置台和喷头工作，提高了工作效率，且降低了成本。
附图说明
20.图1为本实用新型一种石英晶圆片热抛光装置的立体图；
21.图2为本实用新型一种石英晶圆片热抛光装置的主视剖视结构示意图；
22.图3为本实用新型中蜗轮与蜗杆的连接结构示意图。
23.图中：1、设备台；2、真空发生器；3、驱动电机；4、喷头；5、放置台；6、连接框架；7、活动板；8、电动伸缩杆；9、传动杆；10、传动主件；11、蜗轮；12、蜗杆；13、往复丝杆；14、档件；15、齿口；16、定位环。
具体实施方式
24.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
25.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
26.请参照图1-3所示，本实用新型为一种石英晶圆片热抛光装置，包括设备台1、安装于设备台1内的真空发生器2和驱动电机3、用于喷射氢氧焰的喷头4。
27.其中，喷头4通过导管与外部供气点火装置连通，保证持续喷火的稳定性。
28.其中，设备台1上转动设置有用于晶圆片放置的放置台5，且放置台5上开设有若干个吸附孔位，真空发生器2的抽气端与放置台5相连通，且通过吸附孔位进行抽气，将晶圆片放置在放置台5上，并对吸附孔位进行掩盖，从而通过真空发生器2进行抽气，能够产生负压，进而能够使晶圆片稳定吸附在放置台5上，保证后续抛光的稳定性。
29.其中一个优选的实施方式中，放置台5朝向吸附孔位的一侧固定有用于晶圆片定位的定位环16，保证晶圆片放置的准确性，且后续通过吸附件对其吸附取出。
30.其中，设备台1上还固定有连接框架6，连接框架6上滑动有活动板7，活动板7与喷头4连接，且喷头4与放置台5的位置相互配合，喷头4能够向放置台5上的晶圆片喷出氢氧
焰，进行火焰抛光，以降低表面粗糙度。
31.其中，设备台1上设置有与驱动电机3的输出端相连接的驱动件，驱动件用于驱动喷头4往复移动和放置台5的旋转，通过驱动电机3驱动驱动件能够使得放置台5旋转，并使得喷头4进行来回往复移动，进而提高火焰抛光的均匀性。
32.同时，连接框架6的顶部还设置有电动伸缩杆8，电动伸缩杆8的输出端与活动板7连接，电动伸缩杆8能够驱动活动板7移动，进而根据需要来对喷头4的位置进行调节。
33.在一个具体的实施方式中，驱动件包括传动杆9、传动主件10、蜗轮11、蜗杆12和往复丝杆13，往复丝杆13转动设置于活动板7上，且通过滑动套与喷头4连接，往复丝杆13的一端与蜗轮11传动连接，传动杆9与传动主件10和蜗杆12传动连接，且与驱动电机3的输出端相连接，蜗杆12可于传动杆9上进行上下位移，且与蜗轮11相互啮合，传动主件10与放置台5相互配合，用于联动放置台5旋转，驱动电机3驱动传动杆9旋转，进而带动传动主件10和蜗杆12转动，且传动主件10能够联动放置台5旋转，同时蜗杆12与蜗轮11相互啮合，能够驱动往复丝杆13旋转，且滑动套通过活动板7限制其转动，进而往复丝杆13旋转能够驱动滑动套和喷头4进行往复移动。
34.同时根据图2，传动杆9优选为菱形杆件。
35.其中一个优选的实施方式中，蜗杆12的上下两侧均设有与传动杆9套设的档件14，且档件14与活动板7相连接，能够保证蜗杆12上下移动的稳定性，且保证其与蜗轮11啮合的稳定性。
36.其中一个优选的实施方式中，传动主件10为齿轮，放置台5的侧壁开设有与齿轮相互啮合的齿口15，能够保证传动主件10与放置台5更加稳定地配合，进而保证放置台5转动的稳定性。
37.其中一个优选的实施方式中，活动板7上开设有用于收纳蜗轮11和往复丝杆13的条形孔位，往复丝杆13的两端均通过轴套与活动板7转动连接。
38.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。