一种石英晶圆片热抛光装置的制作方法

技术特征：
1.一种石英晶圆片热抛光装置，其特征在于：包括设备台(1)、安装于所述设备台(1)内的真空发生器(2)和驱动电机(3)、用于喷射氢氧焰的喷头(4)；所述设备台(1)上转动设置有用于晶圆片放置的放置台(5)，且所述放置台(5)上开设有若干个吸附孔位，所述真空发生器(2)的抽气端与所述放置台(5)相连通，且通过所述吸附孔位进行抽气；所述设备台(1)上还固定有连接框架(6)，所述连接框架(6)上滑动有活动板(7)，所述活动板(7)与所述喷头(4)连接，且喷头(4)与放置台(5)的位置相互配合；所述设备台(1)上设置有与所述驱动电机(3)的输出端相连接的驱动件，所述驱动件用于驱动所述喷头(4)往复移动和放置台(5)的旋转。2.根据权利要求1所述的一种石英晶圆片热抛光装置，其特征在于：所述连接框架(6)的顶部还设置有电动伸缩杆(8)，所述电动伸缩杆(8)的输出端与所述活动板(7)连接。3.根据权利要求1所述的一种石英晶圆片热抛光装置，其特征在于：所述驱动件包括传动杆(9)、传动主件(10)、蜗轮(11)、蜗杆(12)和往复丝杆(13)，所述往复丝杆(13)转动设置于所述活动板(7)上，且通过滑动套与所述喷头(4)连接，所述往复丝杆(13)的一端与所述蜗轮(11)传动连接，所述传动杆(9)与所述传动主件(10)和蜗杆(12)传动连接，且与所述驱动电机(3)的输出端相连接，所述蜗杆(12)可于所述传动杆(9)上进行上下位移，且与所述蜗轮(11)相互啮合，所述传动主件(10)与所述放置台(5)相互配合，用于联动所述放置台(5)旋转。4.根据权利要求3所述的一种石英晶圆片热抛光装置，其特征在于：所述蜗杆(12)的上下两侧均设有与所述传动杆(9)套设的档件(14)，且所述档件(14)与所述活动板(7)相连接。5.根据权利要求3所述的一种石英晶圆片热抛光装置，其特征在于：所述传动主件(10)为齿轮，所述放置台(5)的侧壁开设有与所述齿轮相互啮合的齿口(15)。6.根据权利要求3所述的一种石英晶圆片热抛光装置，其特征在于：所述活动板(7)上开设有用于收纳所述蜗轮(11)和往复丝杆(13)的条形孔位，所述往复丝杆(13)的两端均通过轴套与所述活动板(7)转动连接。7.根据权利要求1所述的一种石英晶圆片热抛光装置，其特征在于：所述放置台(5)朝向吸附孔位的一侧固定有用于晶圆片定位的定位环(16)。8.根据权利要求1所述的一种石英晶圆片热抛光装置，其特征在于：所述喷头(4)通过导管与外部供气点火装置连通。

技术总结
本实用新型公开了一种石英晶圆片热抛光装置，涉及石英片生产领域，包括设备台、驱动电机和喷头；设备台上转动设置有用于晶圆片放置的放置台，且放置台上开设有若干个吸附孔位，真空发生器的抽气端与放置台相连通，且通过吸附孔位进行抽气；设备台上还固定有连接框架，连接框架上滑动有活动板，活动板与喷头连接，且喷头与放置台的位置相互配合。设备台上设置有与驱动电机的输出端相连接的驱动件，驱动件用于驱动喷头往复移动和放置台的旋转。本实用新型通过设置的真空发生器和驱动件，能够保证晶圆片热抛光过程中的稳定性，同时使晶圆片和喷头在抛光过程中分别旋转和移动，提高抛光的均匀性和效率。均匀性和效率。均匀性和效率。


技术研发人员：闫宝福
受保护的技术使用者：东海县拓能半导体材料有限公司
技术研发日：2022.09.05
技术公布日：2023/3/28