一种用于扩散工艺的防爆源瓶的制作方法

1.本发明涉及太阳能电池片制备技术领域，具体为一种用于扩散工艺的防爆源瓶。


背景技术：

2.太阳能、集成电路等半导体行业都需要使用液态pocl3做磷源扩散来形成pn结。磷源置于扩散源瓶中。
3.源瓶内为液态的pocl3，将n2通入液态pocl3中，携带气态的pocl3进入扩散炉完成磷扩散过程。如果源瓶爆炸，导致其内部的pocl3泄露，由于pocl3属无色透明及带有刺激性气味的毒性液体，若源瓶破裂后，其遇到水就会产生剧烈反应生成h3po4和hcl，这种反应生成物以雾状喷发，迅速弥漫在四周，危险性较大。生成的雾状磷酸和盐酸是有毒物品，对呼吸道有刺激，眼睛接触会致灼伤，造成永久性损害，皮肤接触可致严重灼伤。并且磷酸、盐酸是一种腐蚀性物质，对设备、仪器、厂房设施会产生腐蚀。
4.但是如果进气出气管路接反，或者n2进气压力过大，或者出气管路有堵塞等现象，易导致源瓶内气压过大，会导致源瓶爆炸。现有技术中，源瓶的进气管不能根据源瓶内部气压变化自动关闭和开启。


技术实现要素：

5.针对上述存在的技术不足，本发明的目的是提供一种用于扩散工艺的防爆源瓶，自动压力阀不仅能够根据源瓶本体内部气压值自动启闭，避免源瓶爆炸带来的危险，而且能够调节所设定的压力阈值大小，以适用于不同材质的源瓶本体，极具安全性，且实用性高，通用性强。
6.为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案。
7.本发明提供一种用于扩散工艺的防爆源瓶，包括源瓶本体、进气管和出气管，所述进气管上接有能够根据源瓶本体内部气压值自动启闭的自动压力阀，所述自动压力阀竖直固定在源瓶本体的上壁，且自动压力阀与源瓶本体接触的一端与源瓶本体内部相连通。
8.优选地，所述自动压力阀包括活塞管、进阀气管和出阀气管，活塞管呈空心设置，其内部空间为活塞腔，所述进阀气管固定在活塞管侧壁上且与所述活塞腔相连通，所述出阀气管固定在活塞管侧壁上且与所述活塞腔相连通，进阀气管和出阀气管处在同一水平线上布置；所述进阀气管和出阀气管远离活塞腔的端部分别与进气管相连通。
9.优选地，所述活塞腔内部设置有能够升降滑动的活塞杆和固定在活塞杆上的第一密封塞和第二密封塞，第一密封塞和第二密封塞能够紧贴活塞腔内壁滑动且与其密封连接；所述第一密封塞的下端始终位于进阀气管和出阀气管上方，所述第二密封塞的下端始终位于进阀气管和出阀气管下方，第二密封塞的上能够位于进阀气管和出阀气管上方或下方；所述第二密封塞的下壁与源瓶本体内部相连通。
10.优选地，所述活塞杆上端贯穿活塞管上壁设于活塞管上方，所述活塞杆上端设置有配重结构。
11.优选地，所述配重结构包括承载架，所述承载架上设置有若干个砝码，所述砝码的数量能够调节。
12.优选地，所述配重结构包括配重瓶，所述配重瓶侧壁上设置有刻度线。
13.优选地，所述活塞管下端与源瓶本体的上壁螺纹连接。
14.本发明一种用于扩散工艺的防爆源瓶的有益效果具体如下：
15.1、本发明中的自动压力阀能够根据源瓶本体内部气压值自动启闭，源瓶本体压力大于设定的压力阈值时，自动阻断气源进入，源瓶本体压力恢复设定的压力阈值以下时，自动开启气源进入，成功地避免了源瓶爆炸带来的危险。
16.2、由于源瓶本体的材质各不相同，其内部能够承受的压力大小不同，用户可通过修改配重结构的重力大小，来调节设定的压力阈值大小，使本发明适用于不同材质的源瓶本体，以提高本发明的实用性和通用性，进而提高工作效率。
附图说明
17.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为本发明的整体结构示意图；
19.图2为本发明实施例1中自动压力阀开启状态的剖视图；
20.图3为本发明实施例1中自动压力阀闭合状态的剖视图；
21.图4为本发明实施例2中自动压力阀开启状态的剖视图。
22.附图标记说明：
23.1、源瓶本体，2、进气管，3、出气管，4、液态三氯氧磷，5、自动压力阀，6、活塞管，7、进阀气管，8、出阀气管，9、活塞腔，10、活塞杆，11、第一密封塞，12、第二密封塞，13、排气凸管，14、配重结构，15、配重瓶，16、刻度线，17、承载架，18、砝码。
具体实施方式
24.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
25.实施例1：
26.如图1至图3所示，本发明提供了一种用于扩散工艺的防爆源瓶，包括源瓶本体1、进气管2和出气管3，源瓶本体1内部盛放有液态三氯氧磷4，即pocl3，进气管2位于源瓶本体1内部的一端设置于液态三氯氧磷4的液面下方，出气管3位于源瓶本体1内部的一端设置于液态三氯氧磷4的液面上方；n2气源通过进气管2通入源瓶本体1内的液态pocl3中，携带气态的pocl3通过出气管3进入扩散炉完成磷扩散过程。
27.作为本发明进一步的方案：进气管2上接有自动压力阀5，自动压力阀5竖直固定在源瓶本体1的上壁，且自动压力阀5与源瓶本体1接触的一端与源瓶本体1内部相连通，自动
压力阀5能够根据源瓶本体1内部气压值自动启闭。
28.具体的：
29.自动压力阀5包括活塞管6、进阀气管7和出阀气管8，进阀气管7和出阀气管8远离活塞腔9的端部分别与进气管2相连通；
30.其中，活塞管6呈空心设置，其内部空间为活塞腔9，进阀气管7固定在活塞管6侧壁上，出阀气管8固定在活塞管6侧壁上，且进阀气管7与出阀气管8通过活塞腔9相连通，进阀气管7和出阀气管8处在同一水平线上布置，以方便自动压力阀5的开启与闭合。
31.其中，活塞腔9内部设置有能够升降滑动的活塞杆10和固定在活塞杆10上的第一密封塞11和第二密封塞12，第一密封塞11、第二密封塞12的材质为橡胶，第一密封塞11和第二密封塞12能够紧贴活塞腔9内壁滑动且与其密封连接；
32.其中，如图2和图3所示，在第一密封塞11和第二密封塞12跟随过塞杆升降的过程中，第一密封塞11的下端始终位于进阀气管7和出阀气管8上方，第二密封塞12的下端始终位于进阀气管7和出阀气管8下方，第二密封塞12的上能够位于进阀气管7和出阀气管8上方或下方；
33.其中，第二密封塞12的下壁与源瓶本体1内部相连通，源瓶本体1的上壁设置有与其内部相连通的排气凸管13，活塞管6下端与排气凸管13螺纹密封连接；
34.如图2所示，此时源瓶本体1内部气体对第二密封塞12产生的压力不足以使其上升，因此进阀气管7与出阀气管8通过活塞腔9相连通，此时自动压力阀5为开启状态；
35.如图3所示，此时源瓶本体1内部气体对第二密封塞12产生的压力使其沿活塞管6的轴向方向上升，使得第二密封塞12的侧壁同时封堵住了进阀气管7与出阀气管8，进阀气管7与出阀气管8不连通，此时自动压力阀5为闭合状态。
36.作为本发明进一步的方案：活塞杆10上端贯穿活塞管6上壁设于活塞管6上方，活塞杆10上端设置有配重结构14，配重结构14的重力大小能够调节；由于源瓶本体1的材质不同，其内部能够承受的压力大小不同，用户可以根据不同材质的源瓶本体1能够正常工作所能承受的压力范围而以修改配重结构14的重力大小，提高本发明的实用性和通用性，进而提高工作效率。
37.具体的：配重结构14包括配重瓶15，配重瓶15侧壁上设置有刻度线16，配重瓶15的材质为透明材质，比如塑料或者玻璃材质，用户可根据刻度线16数值，观察配重瓶15内部的液体体积，通过向配重瓶15加入一定量的液体来调节配重结构14的重力，进而调节触发自动压力阀5自动启闭的源瓶本体1内气压阈值。
38.工作原理：
39.为了防止因n2进气压力过大等因素使源瓶本体1内气压过大而导致源瓶本体1爆炸的现象，我们设定源瓶本体1内气压阈值为y，即当源瓶本体1内部气压小于y时，如图2所示，此时，源瓶本体1内部气体对第二密封塞12产生的压力不足以使其上升，因此进阀气管7与出阀气管8通过活塞腔9相连通，此时自动压力阀5为开启状态；即当源瓶本体1内部气压大于y时，如图3所示，此时，源瓶本体1内部气体对第二密封塞12产生的压力使其沿活塞管6的轴向方向上升，使得第二密封塞12的侧壁同时封堵住了进阀气管7与出阀气管8，进阀气管7与出阀气管8不连通，此时自动压力阀5为闭合状态，此时避免了n2继续进入源瓶本体1内，防止了源瓶本体1内气压过大而导致源瓶本体1爆炸；
40.当源瓶本体1内气压过再次小于y后，在配重结构14的压力作用下，第二密封塞12下降，进阀气管7与出阀气管8通过活塞腔9再次相连通，自动压力阀5复位为开启状态，实现自动压力阀5自动启闭。
41.实施例2
42.在实施例1的基础上，更改了配重结构14的具体结构，由于源瓶本体1的材质不同，其内部能够承受的压力大小不同，用户可以根据不同材质的源瓶本体1能够正常工作所能承受的压力范围而以修改配重结构14的重力大小，提高本发明的实用性和通用性，进而提高工作效率。
43.具体参见图4，配重结构14包括承载架17，承载架17上设置有若干个砝码18，砝码18的数量能够调节；我们通过在承载架17放置不同数量的砝码18来调节配重结构14的重力，进而调节触发自动压力阀5自动启闭的源瓶本体1内气压阈值。
44.显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。