一种单晶硅硅片双面磨削装置的制作方法

1.本实用新型涉及磨削技术领域，尤其涉及一种单晶硅硅片双面磨削装置。


背景技术：

2.单晶硅通常指的是硅原子以一种排列形式形成的物质，而单晶硅棒在在切割后端面粗糙，往往通过端面磨床进行磨削加工，端面磨床由转动的磨削盘和放置单晶硅棒的托盘组成，但是，由于托盘的限制，单晶硅棒在放入托盘后，仅有一端漏出，导致单晶硅棒需进行两次磨削，效率较低。
3.因此，需要一种能够在室内使用的小型的单晶硅硅片双面磨削装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，解决上述背景技术中提出的问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种单晶硅硅片双面磨削装置，包括架体，所述架体上下两侧分别设置有用于磨削的下磨削组件和上磨削组件，且架体侧壁通过连接杆连接有固定托盘，所述固定托盘内部开设有插孔，且固定托盘上方开设有腔室，所述腔室内部通过传动组件连接有挤压件，且挤压件侧壁通过滑动组件连接有挤压杆；
6.所述传动组件包括开设于挤压件内部的螺纹槽，且螺纹槽内部螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块底部连接有轴承连接于固定托盘的转杆。
7.优选的，所述挤压件设置为正四棱台，所述挤压件的顶部和底部的边长之比为10：1，且腔室的形状和挤压件相互匹配。
8.优选的，所述滑动组件包括开设于挤压件侧壁的滑槽，且滑槽内部滑动连接有安装于挤压杆的滑块。
9.优选的，所述挤压杆贴合于挤压件的一侧设置为匹配于挤压件侧壁的倾斜状，且挤压杆另一端设置为圆弧状。
10.优选的，所述挤压杆圆弧状的一侧呈粗糙状设计。
11.优选的，所述转杆底部连接有握把，且握把外边缘开设有弧形凹槽。
12.与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，
13.本实用新型中，通过设置有固定托盘，改变了传统的托盘形式，在单晶硅棒安装完成后实现两端皆露出，从而配合下磨削组件和上磨削组件完成对单晶硅棒的双面磨削，提升加工效率。
附图说明
14.图1示出了根据本实用新型实施例提供的立体结构示意图；
15.图2示出了根据本实用新型实施例提供的固定托盘处立体结构示意图；
16.图3示出了根据本实用新型实施例提供的固定托盘处立体剖视结构示意图。
17.图例说明：
18.110、架体；120、下磨削组件；130、上磨削组件；210、连接杆；220、固定托盘；230、插孔；240、腔室；250、挤压件；251、滑槽；252、滑块；
19.260、挤压杆；270、螺纹槽；280、螺纹块；290、转杆；291、握把。
具体实施方式
20.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
21.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
22.如图1-3所示，本实用新型实施例中：一种单晶硅硅片双面磨削装置，包括架体110，架体110上下两侧分别设置有用于磨削的下磨削组件120和上磨削组件130，下磨削组件120和上磨削组件130皆为现有的磨削技术，由输出电机和磨削盘组成，且架体110侧壁通过连接杆210连接有固定托盘220，固定托盘220内部开设有插孔230，且固定托盘220上方开设有腔室240，腔室240内部通过传动组件连接有挤压件250，且挤压件250侧壁通过滑动组件连接有挤压杆260；
23.传动组件包括开设于挤压件250内部的螺纹槽270，且螺纹槽270内部螺纹连接有螺纹块280，螺纹块280底部连接有轴承连接于固定托盘220的转杆290。
24.在具体操作时，将单晶硅棒插入插孔230内部，使得单晶硅棒底部贴合于下磨削组件120上表面，而后转动握把291，即可带动转杆290和螺纹块280转动，通过螺纹块280螺纹连接于螺纹槽270的作用，即可带动挤压件250向下移动，从而推动挤压杆260向插孔230内部移动，完成对单晶硅棒的固定，配合上方的上磨削组件130完成对单晶硅棒的双面磨削，通过设置有固定托盘220，改变了传统的托盘形式，在单晶硅棒安装完成后实现两端皆露出，从而配合下磨削组件120和上磨削组件130完成对单晶硅棒的双面磨削，提升加工效率，并且该装置适用于直径不同的单晶硅棒，保证适用性。
25.挤压件250设置为正四棱台，挤压件250的顶部和底部的边长之比为10：1，且腔室240的形状和挤压件250相互匹配。
26.通过上述设计，工人能够同时对四组单晶硅棒进行加工，并且不仅限于四组可以根据需要具体设计，提升加工效率。
27.滑动组件包括开设于挤压件250侧壁的滑槽251，且滑槽251内部滑动连接有安装于挤压杆260的滑块252。
28.通过上述设计，当挤压件250在上下传动时，能够带动挤压杆260进行左右传动。
29.挤压杆260贴合于挤压件250的一侧设置为匹配于挤压件250侧壁的倾斜状，通过改设计，避免挤压件250和挤压杆260之间的相对移动产生阻碍，且挤压杆260另一端设置为圆弧状，能够增加挤压杆260和单晶硅棒的接触面积，挤压杆260圆弧状的一侧呈粗糙状设计，增加挤压杆260和单晶硅棒之间的摩擦力。
30.转杆290底部连接有握把291，且握把291外边缘开设有弧形凹槽，工人握持握把291即可省力的转动转杆290。
31.综上，本实用新型的工作原理为：安装时，将单晶硅棒插入插孔230内部，使得单晶硅棒底部贴合于下磨削组件120上表面，而后转动握把291，即可带动转杆290和螺纹块280转动，通过螺纹块280螺纹连接于螺纹槽270的作用，即可带动挤压件250向下移动，从而推动挤压杆260向插孔230内部移动，完成对单晶硅棒的固定，配合上方的上磨削组件130完成对单晶硅棒的双面磨削。
32.以上，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。


技术特征：
1.一种单晶硅硅片双面磨削装置，包括架体(110)，其特征在于：所述架体(110)上下两侧分别设置有用于磨削的下磨削组件(120)和上磨削组件(130)，且架体(110)侧壁通过连接杆(210)连接有固定托盘(220)，所述固定托盘(220)内部开设有插孔(230)，且固定托盘(220)上方开设有腔室(240)，所述腔室(240)内部通过传动组件连接有挤压件(250)，且挤压件(250)侧壁通过滑动组件连接有挤压杆(260)；所述传动组件包括开设于挤压件(250)内部的螺纹槽(270)，且螺纹槽(270)内部螺纹连接有螺纹块(280)，所述螺纹块(280)底部连接有轴承连接于固定托盘(220)的转杆(290)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅硅片双面磨削装置，其特征在于：所述挤压件(250)设置为正四棱台，所述挤压件(250)的顶部和底部的边长之比为10：1，且腔室(240)的形状和挤压件(250)相互匹配。3.根据权利要求2所述的一种单晶硅硅片双面磨削装置，其特征在于：所述滑动组件包括开设于挤压件(250)侧壁的滑槽(251)，且滑槽(251)内部滑动连接有安装于挤压杆(260)的滑块(252)。4.根据权利要求3所述的一种单晶硅硅片双面磨削装置，其特征在于：所述挤压杆(260)贴合于挤压件(250)的一侧设置为匹配于挤压件(250)侧壁的倾斜状，且挤压杆(260)另一端设置为圆弧状。5.根据权利要求4所述的一种单晶硅硅片双面磨削装置，其特征在于：所述挤压杆(260)圆弧状的一侧呈粗糙状设计。6.根据权利要求1所述的一种单晶硅硅片双面磨削装置，其特征在于：所述转杆(290)底部连接有握把(291)，且握把(291)外边缘开设有弧形凹槽。

技术总结
本实用新型提供一种单晶硅硅片双面磨削装置，涉及磨削技术领域，包括架体，所述架体上下两侧分别设置有用于磨削的下磨削组件和上磨削组件，且架体侧壁通过连接杆连接有固定托盘，所述固定托盘内部开设有插孔，且固定托盘上方开设有腔室，所述腔室内部通过传动组件连接有挤压件，且挤压件侧壁通过滑动组件连接有挤压杆；所述传动组件包括开设于挤压件内部的螺纹槽，且螺纹槽内部螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块底部连接有轴承连接于固定托盘的转杆。本实用新型通过设置有固定托盘，改变了传统的托盘形式，在单晶硅棒安装完成后实现两端皆露出，从而配合下磨削组件和上磨削组件完成对单晶硅棒的双面磨削，提升加工效率。提升加工效率。提升加工效率。


技术研发人员：杨定勇 张力峰 邹文龙
受保护的技术使用者：扬州晶樱光电科技有限公司
技术研发日：2022.09.01
技术公布日：2023/2/23