晶圆清洗恒温药水输送系统的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，特别涉及一种晶圆清洗恒温药水输送系统。


背景技术：

2.晶圆在制造过程中，会被不断加工成形以及抛光处理，而晶圆表面也会与各种有机物、粒子及金属接触而产生的污染物。因此，晶圆制造过程中，晶圆清洗也十分重要。
3.晶圆清洗时会配置特定的清洗药水，来提高清洗效率。而清洗药水一般需要工作在特定温度下以保证最佳洗净效果与最小损伤的平衡，而清洗药水的温度不好控制，药水无法保持恒温，使得晶圆的清洗效果存在差异，也影响清洗质量。


技术实现要素：

4.为了解决上述问题，本实用新型提供了晶圆清洗恒温药水输送系统，可以使得清洗药水保持恒温状态，保证清洗质量。
5.为此，本实用新型的技术方案是：晶圆清洗恒温药水输送系统，包括热水供应设备、热水循环管路、药液管和双层管路；所述热水循环管路的进口、出口均与热水供应设备相连接；所述双层管路包括同轴设置的内管和外管，双层管路两端各设有一连接件，连接件包括第一连接块和第二连接块，两者固定为一体；所述第一连接块上设有贯穿的第一安装孔，第一安装孔外侧连接药液管，内侧连接内管，且药液管、内管互相连通；所述第二连接块为中空结构，设有连通的第一热水接口和第二热水接口，第一热水接口通过管路连接热水供应设备，第二热水接口连接外管；其中一侧药液管连接喷头。
6.本实用新型设置了双层管路，内管与药液管相连通，用于输送药水，外管与热水循环管路相连通，用于输送热水，热水供应设备源源不断地供应温度符合要求的热水，且热水为循环流动模式，保证外管内的温度稳定；药水从内管一端进入，在内管流动时被热水包围，通过热交换，药水温度升高，从内管另一端流出，经喷头喷射而出，方便冲洗晶圆。
7.优选地，所述第一连接块与第二连接块通过螺栓固定连接，两者之间设有密封圈；所述第一连接块的第一安装孔分为大头端与小头端，且第一安装孔内部设有螺纹结构，大头端与小头端互相连通；所述第二连接块内部设供热水流通的腔体，第一热水接口和第二热水接口通过腔体相连通。连接件设置成双层进入模式，药液管与内管在第一连接块内完成连通，热水循环管路与外管在第二连接块内完成连通，既避免药水与热水混合，又方便药水被热水加热。
8.优选地，所述药液管分为进液管和喷淋管，两个连接件的第一安装孔小头端均连接内管，第一连接件上的第一安装孔大头端连接进液管，第二连接件上的第一安装孔大头端连接喷淋管，喷淋管末端设有喷头。双层管路的内管一端连接进液管，另一端连接喷淋管，进液管连接药水箱，药水被泵送入进液管内，被外管热水加热后，立即从喷淋管的喷头喷出恒温药水，提高清洗效率。
9.优选地，所述热水循环管路还包括热水出水管和热水回流管；所述热水供应设备
连接热水出水管和热水回流管，热水出水管连接第一连接件的第一热水接口，热水回流管连接第二连接件的第一热水接口，热水出水管、热水回流管均与双层管路的外管相连通。双层管路的外管一端连接热水出水管，另一端连接热水回流管，热水循环流动，保证外管内的热水温度恒定，从而使得喷射的药水恒温。
10.优选地，所述热水供应设备包括热水箱和循环泵，热水箱与循环泵相连接，循环泵连接热水循环管路；所述热水箱内设有加热件和温控器。热水箱用于提供热水，加热件工作时发热，可以加热水，温控器用于检测热水箱的热水温度，保证热水温度恒定；循环泵用于将热水送入双层管路的外管内。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：设置了双层管路，内管用于输送药水，外管用于输送热水，药水通过与热水的热交换而升温，且热水为循环流动模式，保证外管内的温度稳定，从而使得药水恒温，保证最佳洗净效果与最小损伤的平衡，提高晶圆的清洗效率和清洗质量。
附图说明
12.以下结合附图和本实用新型的实施方式来作进一步详细说明
13.图1为本实用新型的结构示意图；
14.图2为图1的局部放大图；
15.图3为本实用新型的结构剖视图；
16.图4为图3的a点放大图；
17.图5为图3的b点放大图；
18.图6为本实用新型连接件的结构剖视图。
19.图中标记为：热水箱1、加热件11、温控器12、循环泵2、热水出水管3、热水回流管4、药液管5、进液管51、喷淋管52、喷头53、双层管路6、内管61、外管62、第一连接件71、第二连接件72、第一连接块73、第二连接块74、密封圈75、第一安装孔76、腔体77、第一热水接口78、第二热水接口79、第一接头81、第二接头82、第三接头83、第四接头84、第五接头85、第六接头86、第七接头87、第八接头88。
具体实施方式
20.在本实用新型的描述中，需要说明的是，对于方位词，如有术语“中心”，“横向(x)”、“纵向(y)”、“竖向(z)”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本实用新型的具体保护范围。
21.此外，如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征，在本实用新型描述中，“数个”、“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
22.参见附图。本实施例所述晶圆清洗恒温药水输送系统，包括热水箱1、循环泵2、热
水出水管3、热水回流管4、药液管5和双层管路6；所述热水箱1内设有加热件11和温控器12。热水箱1用于提供热水，加热件11工作时发热，可以加热水，温控器12用于检测热水箱的热水温度，保证热水温度恒定；循环泵2的进口连接热水箱1，出口连接热水出水管3，循环泵用于从热水箱内抽吸热水，将其送入双层管路内。药液管5分为进液管51和喷淋管52，进液管51连接药水箱，喷淋管52末端设有喷头53，用于喷射恒温药水。
23.所述双层管路6包括同轴设置的内管61和外管62，内管61为药水输送通道，内管61与外管62之间的环形通道为热水输送通道；所述双层管路6两端分别设有第一连接件71和第二连接件72，第一连接件和第二连接件结构一致，对称设置在双层管路两侧，连接件包括第一连接块73和第二连接块74，所述第一连接块与第二连接块通过螺栓固定连接，两者之间设有密封圈75。
24.所述第一连接块73上设有贯穿的第一安装孔76，第一安装孔分为大小头，且第一安装孔内部设有螺纹结构，大头端与小头端互相连通；第一连接件71上的第一安装孔大头端通过第一接头81连接进液管51，第一连接件71上的第一安装孔小头端通过第二接头82连接内管61一端；第二连接件72上的第一安装孔小头端通过第三接头83连接内管61另一端；第二连接件72上的第一安装孔大头端通过第四接头84连接喷淋管52。药水被泵送入进液管51内，被外管热水加热后，立即从喷淋管52的喷头53喷出恒温药水，提高清洗效率。
25.所述第二连接块74内部设供热水流通的腔体77，第二连接块74下方设有第一热水接口78，侧面设有第二热水接口79，第一热水接口78和第二热水接口79通过腔体77相连通。第一连接件71的第一热水接口通过第五接头85连接热水出水管3，第一连接件的第二热水接口通过第六接头86连接双层管路6的外管62一端，第二连接件72的第二热水接口通过第七接头87连接双层管路的外管62另一端，第二连接件72的第一热水接口通过第八接头88连接热水回流管4，热水出水管3、热水回流管4均与双层管路6的外管相连通。双层管路的外管一端连接热水出水管，另一端连接热水回流管，热水循环流动，保证外管内的热水温度恒定，从而使得喷射的药水恒温。
26.使用时，热水箱1内的水被加热至设定温度后，被循环泵2抽吸，送入热水出水管3，再经由第一连接件71的第一热水接口、腔体、第二热水接口送入双层管路的外管62内，即内管与外管之间的环形管道内；热水在从外管另一端流入第二连接件72内，经由第二连接件的第二热水接口、腔体、第一热水接口，流入热水回流管4，最终回流至热水箱1内加热，重复利用。
27.同时，进液管51连接药水箱，药水被泵送入进液管内，再经由第一连接件71的第一连接块被送入双层管路的内管61内，再从内管61另一端流入第二连接件72的第一连接块内，再流入喷淋管52内，最终从喷头53喷出恒温药水，对晶圆进行冲洗。
28.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。