晶圆清洗恒温药水输送系统的制作方法

技术特征：
1.晶圆清洗恒温药水输送系统，其特征在于：包括热水供应设备、热水循环管路、药液管和双层管路；所述热水循环管路的进口、出口均与热水供应设备相连接；所述双层管路包括同轴设置的内管和外管，双层管路两端各设有一连接件，连接件包括第一连接块和第二连接块，两者固定为一体；所述第一连接块上设有贯穿的第一安装孔，第一安装孔外侧连接药液管，内侧连接内管，且药液管、内管互相连通；所述第二连接块为中空结构，设有连通的第一热水接口和第二热水接口，第一热水接口通过管路连接热水供应设备，第二热水接口连接外管；其中一侧药液管连接喷头。2.如权利要求1所述的晶圆清洗恒温药水输送系统，其特征在于：所述第一连接块与第二连接块通过螺栓固定连接，两者之间设有密封圈；所述第一连接块的第一安装孔分为大头端与小头端，且第一安装孔内部设有螺纹结构，大头端与小头端互相连通；所述第二连接块内部设供热水流通的腔体，第一热水接口和第二热水接口通过腔体相连通。3.如权利要求2所述的晶圆清洗恒温药水输送系统，其特征在于：所述药液管分为进液管和喷淋管，两个连接件的第一安装孔小头端均连接内管，第一连接件上的第一安装孔大头端连接进液管，第二连接件上的第一安装孔大头端连接喷淋管，喷淋管末端设有喷头。4.如权利要求1所述的晶圆清洗恒温药水输送系统，其特征在于：所述热水循环管路还包括热水出水管和热水回流管；所述热水供应设备连接热水出水管和热水回流管，热水出水管连接第一连接件的第一热水接口，热水回流管连接第二连接件的第一热水接口，热水出水管、热水回流管均与双层管路的外管相连通。5.如权利要求1所述的晶圆清洗恒温药水输送系统，其特征在于：所述热水供应设备包括热水箱和循环泵，热水箱与循环泵相连接，循环泵连接热水循环管路；所述热水箱内设有加热件和温控器。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆清洗恒温药水输送系统，包括热水供应设备、热水循环管路、药液管和双层管路；所述热水循环管路的进口、出口均与热水供应设备相连接；所述双层管路包括同轴设置的内管和外管，双层管路两端各设有一连接件，连接件包括第一连接块和第二连接块，第一连接块上设有贯穿的第一安装孔，第一安装孔外侧连接药液管，内侧连接内管，且药液管、内管互相连通；所述第二连接块为中空结构，设有连通的第一热水接口和第二热水接口，第一热水接口连接热水供应设备，第二热水接口连接外管。本实用新型设置了双层管路，药水通过与热水的热交换而升温，药水恒温可以保证最佳洗净效果与最小损伤的平衡。效果与最小损伤的平衡。效果与最小损伤的平衡。


技术研发人员：陈志平 范亚飞 叶家焱
受保护的技术使用者：允哲半导体科技（浙江）有限公司
技术研发日：2022.09.08
技术公布日：2023/2/23