层叠部件的制作方法

技术特征：
1.一种层叠部件，具有：波长850nm处的直线透射率为80％以上的玻璃部件，在所述玻璃部件上的包含树脂的接合层，以及在所述接合层上的si－sic部件，所述si－sic部件的20～200℃的平均线膨胀系数α为2.85～4.00ppm/℃。2.根据权利要求1所述的层叠部件，其中，所述玻璃部件的20～200℃的平均线膨胀系数β为1.50～5.00ppm/℃。3.根据权利要求1或2所述的层叠部件，其中，所述玻璃部件用氧化物基准的摩尔百分率表示时包含55.0～85.0摩尔％的sio2、1.5～14.5摩尔％的al2o3、3.0～14.0摩尔％的b2o3和0～3.5摩尔％的p2o5，所述玻璃部件中的所述sio2、所述al2o3、所述b2o3和所述p2o5的含量的合计用氧化物基准的摩尔百分率表示时为70.0～97.0％。4.根据权利要求3所述的层叠部件，其中，所述玻璃部件中包含的所述b2o3的含量为8.5摩尔％以下。5.根据权利要求1～4中任一项所述的层叠部件，其中，所述玻璃部件用氧化物基准的摩尔百分率表示时包含0～13.0摩尔％的na2o。6.根据权利要求1～5中任一项所述的层叠部件，其中，所述玻璃部件用氧化物基准的摩尔百分率表示时包含0.0001～0.0115摩尔％的fe2o3。7.根据权利要求1～6中任一项所述的层叠部件，其中，所述玻璃部件的波长850nm处的直线透射率为90％以上。8.根据权利要求1～7中任一项所述的层叠部件，其中，所述玻璃部件的厚度为2～40mm，所述si－sic部件的厚度为0.5～15mm。9.根据权利要求1～8中任一项所述的层叠部件，其中，所述si－sic部件的20℃时的热导率为190～300w/m
·
k。10.根据权利要求1～9中任一项所述的层叠部件，其中，由所述si－sic部件的20～200℃的平均线膨胀系数α减去所述玻璃部件的20～200℃的平均线膨胀系数β而得的值的绝对值|α－β|为2.00ppm/℃以下。11.根据权利要求1～10中任一项所述的层叠部件，其中，所述si－sic部件的杨氏模量为300～420gpa。12.根据权利要求1～11中任一项所述的层叠部件，其中，所述si－sic部件的金属si含有比率为8～60质量％。13.根据权利要求1～12中任一项所述的层叠部件，其中，所述树脂的耐热温度为120～300℃。14.根据权利要求1～13中任一项所述的层叠部件，其中，所述接合层的20～200℃的平均线膨胀系数γ为2～200ppm/℃。15.根据权利要求1～14中任一项所述的层叠部件，其中，密度为2.40～2.85g/cm3。16.根据权利要求1～15中任一项所述的层叠部件，其中，翘曲量为0.25mm以下。17.根据权利要求1～16中任一项所述的层叠部件，其中，进一步具有：设置于所述si－sic部件上的第2接合层，以及
介由所述第2接合层与所述si－sic部件接合的第2si－sic部件。

技术总结
本发明涉及一种层叠部件，其具有：波长850nm处的直线透射率为80％以上的玻璃部件、在玻璃部件上的包含树脂的接合层、以及在接合层上的Si－SiC部件，Si－SiC部件的20～200℃的平均线膨胀系数α为2.85～4.00ppm/℃。的平均线膨胀系数α为2.85～4.00ppm/℃。


技术研发人员：塙优 小川修平 稻叶诚二 山本宏行
受保护的技术使用者：AGC株式会社
技术研发日：2021.06.02
技术公布日：2023/1/31